一种单晶硅片分选检测工作台的制作方法
- 国知局
- 2024-07-29 11:02:46
本技术涉及分选检测工作台,具体为一种单晶硅片分选检测工作台。
背景技术:
1、单晶硅片,即硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,在生产的过程中,需要度单晶硅片的表面有机物、电阻率、压阻系数、表面粗糙度以及反射率能性能进行检测,并且将质量达标与质量不达标的单晶硅片分选;
2、目前有些行业在生产过程中,采用手持检测头的方式对单晶硅片进行检测,然后再分选处理,将不合格和合格的硅片进行分类,导致测量效率低,工人劳动量大,为此,提出一种单晶硅片分选检测工作台。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片分选检测工作台,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶硅片分选检测工作台,包括操作台和运输皮带,所述操作台的上表面对称焊接有两个支撑板,两个所述支撑板之间分别通过轴承连接有主动轴和从动轴,所述操作台的上表面右侧安装有主电机,所述主动轴的后端贯穿所述支撑板且与所述主电机的输出轴端固定连接,所述主动轴的外侧壁焊接有主动辊,所述从动轴的外侧壁焊接有从动辊,所述主动辊与所述从动辊通过所述运输皮带传动连接,所述操作台的上表面后侧焊接有支撑架,所述支撑架的上表面固定连接有支撑臂,所述支撑臂的前表面焊接有安装板,所述安装板的下表面安装有硅片检测仪,所述操作台的上表面前侧焊接有固定柱,所述固定柱的上表面安装有旋转柱,所述旋转柱的上表面焊接有旋转臂,所述旋转臂的上表面安装有微型气泵,所述微型气泵的吸气口连接有连接管,所述连接管贯穿所述旋转臂的下表面且安装有吸盘,所述操作台的上表面前侧安装有plc控制器。
3、作为本技术方案的进一步优选的:所述固定柱的下表面开设有安装槽,所述安装槽的下表面安装有旋转电机,所述旋转电机的输出轴端与所述旋转柱的下表面固定连接。
4、作为本技术方案的进一步优选的:所述固定柱的上表面设有导向槽,所述旋转柱的下表面焊接有导向环,所述导向槽的内侧壁与所述导向环的外侧壁滑动连接。
5、作为本技术方案的进一步优选的:两个所述支撑板之间通过轴承均匀连接有连接轴,所述连接轴的外侧壁焊接有托辊。
6、作为本技术方案的进一步优选的:所述操作台的前表面固定连接有收集箱。
7、作为本技术方案的进一步优选的:所述收集箱的下表面粘接有橡胶垫片,所述吸盘的下表面粘接有橡胶圈。
8、作为本技术方案的进一步优选的:所述操作台的上表面左侧开设有废弃槽,所述废弃槽的下方设有回收桶。
9、作为本技术方案的进一步优选的:所述操作台的下表面均匀焊接有支腿。
10、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过将单晶硅片放置在运输皮带右侧,然后启动主电机带动主动轴和主动辊转动,从而将硅片运输至硅片检测仪的下方进行检测,当硅片检测仪检测到单晶硅片为合格产品时,启动微型气泵,将合格产品吸附在吸盘上,控制旋转臂,将合格产品转动至成品处,而不合格的产品随着运输皮带输送至操作台之外,从而能够快速的对硅片进行检测和分选,提高了测量效率,降低工人劳动量。
技术特征:1.一种单晶硅片分选检测工作台,包括操作台(1)和运输皮带(2),其特征在于:所述操作台(1)的上表面对称焊接有两个支撑板(3),两个所述支撑板(3)之间分别通过轴承连接有主动轴(4)和从动轴(5),所述操作台(1)的上表面右侧安装有主电机(6),所述主动轴(4)的后端贯穿所述支撑板(3)且与所述主电机(6)的输出轴端固定连接,所述主动轴(4)的外侧壁焊接有主动辊(7),所述从动轴(5)的外侧壁焊接有从动辊(8),所述主动辊(7)与所述从动辊(8)通过所述运输皮带(2)传动连接,所述操作台(1)的上表面后侧焊接有支撑架(9),所述支撑架(9)的上表面固定连接有支撑臂(10),所述支撑臂(10)的前表面焊接有安装板(11),所述安装板(11)的下表面安装有硅片检测仪(12),所述操作台(1)的上表面前侧焊接有固定柱(13),所述固定柱(13)的上表面安装有旋转柱(14),所述旋转柱(14)的上表面焊接有旋转臂(15),所述旋转臂(15)的上表面安装有微型气泵(16),所述微型气泵(16)的吸气口连接有连接管(17),所述连接管(17)贯穿所述旋转臂(15)的下表面且安装有吸盘(18),所述操作台(1)的上表面前侧安装有plc控制器(19)。
2.根据权利要求1所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:所述固定柱(13)的下表面开设有安装槽(20),所述安装槽(20)的下表面安装有旋转电机(21),所述旋转电机(21)的输出轴端与所述旋转柱(14)的下表面固定连接。
3.根据权利要求2所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:所述固定柱(13)的上表面设有导向槽(22),所述旋转柱(14)的下表面焊接有导向环(23),所述导向槽(22)的内侧壁与所述导向环(23)的外侧壁滑动连接。
4.根据权利要求3所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:两个所述支撑板(3)之间通过轴承均匀连接有连接轴(24),所述连接轴(24)的外侧壁焊接有托辊(25)。
5.根据权利要求3所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:所述操作台(1)的前表面固定连接有收集箱(26)。
6.根据权利要求5所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:所述收集箱(26)的下表面粘接有橡胶垫片(27),所述吸盘(18)的下表面粘接有橡胶圈(28)。
7.根据权利要求6所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:所述操作台(1)的上表面左侧开设有废弃槽(29),所述废弃槽(29)的下方设有回收桶(30)。
8.根据权利要求6所述的单晶硅片分选检测工作台,其特征在于:所述操作台(1)的下表面均匀焊接有支腿(31)。
技术总结本技术涉及分选检测工作台技术领域,具体为一种单晶硅片分选检测工作台,包括操作台和运输皮带,所述操作台的上表面对称焊接有两个支撑板,两个所述支撑板之间分别通过轴承连接有主动轴和从动轴。本技术通过将单晶硅片放置在运输皮带右侧,然后启动主电机带动主动轴和主动辊转动,从而将硅片运输至硅片检测仪的下方进行检测,当硅片检测仪检测到单晶硅片为合格产品时,启动微型气泵,将合格产品吸附在吸盘上,控制旋转臂,将合格产品转动至成品处,而不合格的产品随着运输皮带输送至操作台之外,从而能够快速的对硅片进行检测和分选,提高了测量效率,降低工人劳动量。技术研发人员:管家辉,杨振华,季富华受保护的技术使用者:弘元绿色能源股份有限公司技术研发日:20231109技术公布日:2024/6/30本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240725/134398.html
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