一种基于机器视觉技术的半导体芯片检测设备的制作方法

本发明涉及芯片检测领域，特别涉及一种基于机器视觉技术的半导体芯片检测设备。

背景技术：

1、芯片，也称为集成电路，是一种微型电子器件或部件。芯片是半导体元件产品的统称，通常制造在半导体晶圆表面上。芯片内部集成了晶体管、二极管、电阻、电容和电感等电子元件及布线，通过特定的加工工艺，如光刻、掺杂和cmp(化学机械抛光)等技术制成。这些技术使得芯片能够执行特定的电路或系统功能，如运算和存储等，广泛应用于计算机、手机、军事和民用电子设备中。芯片的原材料主要是单晶硅，硅是地壳内第二丰富的元素，也是半导体制造产业的基础。

2、传统芯片检测往往是企业制造出芯片然后将其送至专业的检测部门进行检测，缺少一体化整机来完成芯片检测工作，而市面上已有的一些芯片检测装置只能用于小批量地检测芯片，还需要工人时刻进行看护操作，使用非常不便，若是需要连续性检测就需要送至专门的检测部门，不仅增加了生产的成本，且运输过程中还可能造成芯片损坏。

3、因此，提出一种基于机器视觉技术的半导体芯片检测设备来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种基于机器视觉技术的半导体芯片检测设备，以解决上述缺少检测自动化整机，检测成本高，无法大批量检测的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于机器视觉技术的半导体芯片检测设备，包括工作壳体，所述工作壳体具有底部安装板，所述底部安装板的一侧安装有送料部件，所述底部安装板远离送料部件的一侧安装有出料部件，所述工作壳体靠近送料部件的一侧固定安装有送料盒体，所述送料盒体的内部滑动卡设有多个芯片收纳盒，所述底部安装板的中部转动安装有防静电有机玻璃板，所述底部安装板的上表面固定安装有第一机械臂部件、第二机械臂部件、第三机械臂部件，所述第二机械臂部件位于送料部件和防静电有机玻璃板之间，所述第一机械臂部件和第三机械臂部件均位于防静电有机玻璃板和出料部件之间，所述工作壳体的内部上表面固定安装有移动座板，所述移动座板的下方安装有输送盖体部件，所述底部安装板上安装有芯片检测部件，所述送料部件远离出料部件的一段延伸至工作壳体的外部，所述出料部件远离送料部件的一段也延伸至工作壳体的外部，所述出料部件延伸出工作壳体的一段下方设有第二输送带部件，所述第二输送带部件与外部储存设备进行连接。

3、优选的，所述送料部件包括第一送料转动板，所述第一送料转动板固定安装在底部安装板上，所述第一送料转动板的上表面转动安装有第二送料转动板，所述第二送料转动板上开设有四个呈环形阵列分布的第二槽体，所述芯片收纳盒刚好卡合在第二槽体的内部，所述第一送料转动板上开设有与其中一个第二槽体对应的第一槽体，所述芯片收纳盒刚好可以穿过第一槽体，所述第一送料转动板上内嵌有多个与第二槽体对应的第一磁铁，所述送料盒体的底端开口与其中一个第二槽体重合，所述工作壳体远离送料盒体的一侧固定安装有终端支撑架，所述终端支撑架的末端固定安装有电脑终端，所述芯片检测部件包括第一检测部件和第二检测部件，所述第一检测部件和第二检测部件分别位于防静电有机玻璃板的上方和下方，所述芯片检测部件和电脑终端构成机器视觉，所述底部安装板的下表面固定安装有支撑壳体，所述支撑壳体的内部固定安装有运输挡板，所述运输挡板的中部安装有第一输送带部件，所述第一输送带部件的一端位于送料部件的下方，所述第一输送带部件远离送料部件的一端位于出料部件的下方，所述支撑壳体的内部固定安装有抬升部件，所述抬升部件位于第一输送带部件靠近出料部件的一端。

4、优选的，所述出料部件包括第一出料转动板，所述第一出料转动板固定安装在底部安装板上，所述第一出料转动板的上表面转动安装有第二出料转动板，所述第二出料转动板上开设有四个均匀分布的第五槽体，所述第一出料转动板上开设与其中一个第五槽体对应的第三槽体，所述第一出料转动板上开设有与其中一个第五槽体对应的第四槽体，所述第三槽体和第四槽体相互对称，所述第一出料转动板上内嵌安装有多个与第五槽体对应的第二磁铁，所述芯片收纳盒可以穿过第三槽体并完美卡合在第五槽体的内部。

5、优选的，所述芯片收纳盒包括收纳盒体，所述收纳盒体的内部具有多个均匀分布的安置槽，所述收纳盒体的上方盖合有收纳盖板，所述收纳盖板的上表面内嵌有两个对称的第二铁磁块，所述收纳盖板的中部一体成型有把手，所述收纳盒体的下表面中部固定安装有第一铁磁块。

6、优选的，所述第一检测部件和第二检测部件的一端均固定安装在底部安装板上，所述第一检测部件和第二检测部件靠近防静电有机玻璃板的一端均固定安装有第一支撑板，两个所述第一支撑板的相对侧均固定安装有环形led灯，所述环形led灯的中部设有第二工业相机，所述第二工业相机固定安装在第一支撑板上。

7、优选的，所述第一机械臂部件、第二机械臂部件、第三机械臂部件均包括机械臂底座，所述机械臂底座固定安装在底部安装板上，所述机械臂底座的上表面转动安装有多节机械臂，所述多节机械臂远离机械臂底座的一端安装有吸盘和第一工业相机，所述吸盘的一侧固定安装有记号笔。

8、优选的，所述移动座板的下表面开设有移动滑槽，所述移动滑槽的内部固定安装有均匀分布的多个轮齿，所述移动座板的下表面中部开设有移动槽，所述输送盖体部件包括第一安装板，所述第一安装板滑动卡设在移动槽内部，所述第一安装板的下表面中部固定安装有第一固定柱，所述第一固定柱的下端固定安装有第一连接筒，所述第一固定柱的下段转动安装有连杆，所述连杆远离第一固定柱的一端固定安装有第四电机，所述第四电机的驱动端固定安装有齿轮，所述齿轮位于移动滑槽的内部并与轮齿啮合，所述第一连接筒的下端转动安装有第二安装板，所述第一连接筒的内部固定安装有换向电机，所述换向电机的驱动端固定安装在第二安装板上，所述第二安装板的上表面四角位置均固定安装有第五电机，所述第二安装板的下方设有抓取板，所述第五电机的驱动端均固定安装有卷线轮，所述卷线轮上收卷有连接绳，所述连接绳远离卷线轮的一端固定安装在抓取板上，所述抓取板的中部固定安装有两个与第二铁磁块对应的电磁铁。

9、优选的，所述抬升部件包括电动推杆，所述电动推杆固定安装在支撑壳体的内部底面，所述电动推杆的驱动端固定安装有推动板，所述推动板的一侧下表面固定安装有两个对称的挡块。

10、优选的，所述支撑壳体的内部底面固定安装有第一电机、第二电机、第三电机，所述第一电机的驱动端贯穿第一送料转动板并固定安装在第二送料转动板的中部，所述第二电机的驱动端固定安装在防静电有机玻璃板的中部，所述第三电机的驱动端贯穿第一出料转动板并固定安装在第二出料转动板的中部。

11、优选的，所述工作壳体的一侧铰接有检修柜门，所述送料盒体的一侧铰接有装料柜门，所述支撑壳体的一侧固定安装有空气过滤装置，所述空气过滤装置的进气端通过进气管道与支撑壳体的内部连通，所述空气过滤装置的输出端通过出气管道与支撑壳体的内部连通，所述支撑壳体的下表面固定安装有多个支撑脚。

12、本发明的技术效果和优点：

13、1、通过设置送料盒体、送料部件和出料部件，使得该装置完全实现自动化检测，无需人工看管机器，只需要保证送料盒体内部的芯片收纳盒充足即可，大大降低了人工成本，使得该机器可以减少停机时间、大批量、连续性地进行芯片检测；

14、2、通过设置输送盖体部件和第一输送带部件，使得该装置可以自动取下用完的芯片收纳盒，并将上一个循环用完的芯片收纳盒输送至收纳区域，并自动取下芯片收纳盒盖板，将其盖合在收纳完成的芯片收纳盒上，无需工人提前打开盒体盖板，避免装置移动对芯片造成损伤，提升该装置的安全性，实现全自动化操作；

15、3、通过设置记号笔，使得第一机械臂部件和第三机械臂部件分别用于吸取不同的芯片，可以将芯片按照成品和次品进行分类，并在安置槽上留下记号，使得该装置可以无需工作人员看管，在加工后也无需调动视频影像也能直观地了解哪些是缺陷产品，自动将次品和成品进行分层储存，提高装置的实用性；

16、4、通过设置空气过滤装置，使得该装置内部可以时刻保持清洁，防止环境问题影响芯片的检测，且空气过滤装置带动装置内部空气循环，增加了该装置的散热速率，使得该装置连续工作时间大大增加，提高检测能力。