一种真空泵返油降解装置

本发明涉及一种真空泵返油降解装置，对于使用利用真空泵油润滑、密封的真空泵的真空系统，可使用本装置抑制真空泵油蒸汽反流至真空室或后级泵组。

背景技术：

1、机械泵或离心泵通常采用真空泵油用于润滑和密封，该类抽气泵运行过程中所挥发的真空泵油易沿抽气管道反流至真空室，造成真空室的污染并影响其他设备的运行。针对上述问题，根据相关学术论文与技术手册，通常采用冷阱、吸附阱以及升华阱等方法解决上述问题，此类方法利用低温以及吸附等原理，使抽气管道中的真空泵油蒸汽沉积于阱中，达到净化真空泵油蒸汽的目的。上述方法需要定期对冷凝面或吸附材料进行再生或更换，维护方法复杂且维护成本高。

技术实现思路

1、本发明从利用可工作于较低气压的感性耦合射频离子源，串接于真空泵油蒸汽反流至真空室的抽气管道中，利用等离子体放电过程中的高温电子破坏真空泵油蒸汽的长碳链分子，使其降解为难沉积易抽离的低分子物质。

2、本发明是通过以下技术方案实现的：

3、一种基于感性耦合射频离子源的真空泵返油降解装置，由放电腔室、激励线圈以及射频功率源等部件构成，将放电腔室串接于真空泵连接真空室的抽气管道中，当需要其工作时，将放电基底气体通入至放电腔室中，同时射频功率源输出射频功率，通过激励线圈在放电腔体中激发等离子体，等离子体中的高温、高密度的电子撞击真空泵油蒸汽的长碳链中的碳碳键，碳碳键吸收能量裂解成为难沉积易抽离的低分子物质，其反应过程如下式：

4、

5、

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7、通过上述过程实现真空泵油蒸汽的降解。

8、进一步，该装置工作于0.05-100 pa的较低气压下，使用基底气体抬升抽气管道气压以使放电能够顺利进行。

9、进一步，放电基地气体进气方向与抽气方向一致。

10、本发明的有益效果是：

11、（1）、通过感性耦合射频等离子体处理真空泵油蒸汽，使其转变为易抽离物质，极大程度地限制了真空泵油蒸汽反流至真空室；

12、（2）、相比于其他真空泵油蒸汽拦截或吸附设备，其结构简单，成本低廉，可随开随用；

13、（3）、相比于其他真空泵油蒸汽拦截或吸附设备，其维护周期长，正常使用情况下不需要材料的再生过程或者吸附材料的更换。

技术特征：

1.一种真空泵返油降解装置，所述装置由放电腔室、激励线圈以及射频功率源组成，其特征在于：非导电、耐高温材质放电腔室串接于机械泵或离心泵与真空室连接的抽气管道，在机械泵或离心泵启停过程中，通过向放电腔室中通入低气压放电基底气体，射频功率源输出射频功率至激励线圈，在放电腔室中产生感性耦合射频等离子体，利用等离子体中的高温电子碰撞真空泵油蒸汽的长碳链，使真空泵油易沉积的长碳链大分子转变为易抽离的低分子物质。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：该装置为感性耦合射频等离子体放电。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：该装置工作于0.05-100 pa的较低气压下，使用基底气体抬升抽气管道气压以使放电能够顺利进行。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：放电基地气体进气方向与抽气方向一致。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，射频功率源输出射频功率，其频率位于1mhz-13.56 mhz之间，功率处于20 w-50 kw。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，激励线圈为螺旋式结构，由内部中空铜管绕制而成，其绕制圈数为10-100匝。

技术总结本发明公开了一种真空泵返油降解装置，由放电腔体、激励线圈以及射频功率源等部分组成，通过向放电腔体通入放电基底气体并产生等离子体，利用等离子体中高温、高密度的自由电子撞击真空泵油蒸汽分子中的碳碳键，将真空泵油的大分子转化为难沉积易抽离的低分子物质。该装置能够有效阻止真空泵油蒸汽反流至真空室，相较于一般的真空泵油蒸汽冷凝或者吸附装置，其具有结构简单、造价成本低、随开随用、维护周期长、正常使用过程中不需要更换部件等优点。技术研发人员：蒋才超,刘波,刘智民,陈世勇,潘军军,刘胜,谢远来受保护的技术使用者：中国科学院合肥物质科学研究院技术研发日：技术公布日：2024/7/23