一种保护真空泵的装置的制作方法

本技术涉及冷阱，特别涉及一种保护真空泵的装置。

背景技术：

1、冷阱是一种装置，置于真空容器和真空泵之间，用于冷凝吸附气体或捕集油气的装置，它通过提供一个非常低温的表面，使分子能够凝聚，并提高真空度，根据降温方式的不同，冷阱一般分为自冷式和外冷式两种类型，自冷式冷阱与制冷机集成为一体，通过制冷机对冷阱进行降温；而外冷式冷阱自身没有降温能力，需要依靠外部冷源用于降温；

2、因此，在进行化工生产时，因乙硼烷易分解成高阶硼烷粉末，容易使真空泵堵塞损坏，需要在真空泵前加装冷阱使乙硼烷凝华于装置底部，减少乙硼烷分解的硼烷粉末对真空泵的损害，但是，由于气体通过一定的压力经过冷阱时，还是会使得部分高阶硼烷粉末进入到冷阱的出气管中，从而使得部分高阶硼烷粉末还是会进入到真空泵内，从而无法达到一个有效的过滤作用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种保护真空泵的装置，可以有效解决背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种保护真空泵的装置，包括机箱，所述机箱前端固定安装有控制器，所述机箱内固定安装有冷阱罐体，所述冷阱罐体上固定安装有顶盖，所述顶盖内固定安装有进气管，位于所述进气管一侧的顶盖还固定安装有出气管，且所述出气管呈l形结构，所述出气管一端延伸至冷阱罐体内下方位置，所述出气管另一端设有初级过滤机构，所述初级过滤机构包括第一连接管与第二连接管以及安装管，所述安装管活动安装在第一连接管与第二连接管之间，所述第一连接管通过一端的法兰与外部的输送管道一端固定连接，所述第二连接管则通过一端的法兰与出气管一端固定连接，所述安装管内一侧火大扭转有安装环。

4、作为本实用新型的进一步优化方案，所述第一连接管外侧固定安装有第一固定环，所述第一固定环一侧上方位置开设有转槽。

5、作为本实用新型的进一步优化方案，所述第二连接管外侧螺纹连接有调节环，所述调节环相对于第一连接管的一侧固定安装有密封环。

6、作为本实用新型的进一步优化方案，所述安装管外侧固定安装有固定块，所述固定块相对于第一固定环一侧固定安装有转轴，所述安装管远离固定块的一侧固定安装有第二固定环，所述第二固定环相对于调节环的一侧开设有密封环，所述安装管两侧还分别卡装有密封圈，所述转轴转动安装在转槽内，所述密封环则穿插安装在密封槽内。

7、作为本实用新型的进一步优化方案，所述安装管内侧固定安装有限位环，所述安装环螺纹连接在位于限位环一侧的安装管内，所述安装环内侧固定安装有滤网。

8、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

9、本实用新型所述的一种保护真空泵的装置，利用冷阱罐体与进气管、出气管可对乙硼烷气体进行降温处理，使得乙硼烷经过冷阱罐体时凝华于冷阱底部，降低对真空泵的损害，另外在出气管一端设置一个可快速拆装的初级过滤机构，能够对进入到冷阱罐体内的乙硼烷气体进行初步的过滤，从而降低冷阱罐体的处理量，提升对乙硼烷气体中粉末过滤效果。

技术特征：

1.一种保护真空泵的装置，包括机箱（1），所述机箱（1）前端固定安装有控制器（2），其特征在于：所述机箱（1）内固定安装有冷阱罐体（3），所述冷阱罐体（3）上固定安装有顶盖（4），所述顶盖（4）内固定安装有进气管（5），位于所述进气管（5）一侧的顶盖（4）还固定安装有出气管（6），且所述出气管（6）呈l形结构，所述出气管（6）一端延伸至冷阱罐体（3）内下方位置，所述出气管（6）另一端设有初级过滤机构（7），所述初级过滤机构（7）包括第一连接管（8）与第二连接管（9）以及安装管（10），所述安装管（10）活动安装在第一连接管（8）与第二连接管（9）之间，所述第一连接管（8）通过一端的法兰与外部的输送管道一端固定连接，所述第二连接管（9）则通过一端的法兰与出气管（6）一端固定连接，所述安装管（10）内一侧火大扭转有安装环（11）。

2.根据权利要求1所述的一种保护真空泵的装置，其特征在于：所述第一连接管（8）外侧固定安装有第一固定环（12），所述第一固定环（12）一侧上方位置开设有转槽（13）。

3.根据权利要求2所述的一种保护真空泵的装置，其特征在于：所述第二连接管（9）外侧螺纹连接有调节环（18），所述调节环（18）相对于第一连接管（8）的一侧固定安装有密封环（19）。

4.根据权利要求3所述的一种保护真空泵的装置，其特征在于：所述安装管（10）外侧固定安装有固定块（14），所述固定块（14）相对于第一固定环（12）一侧固定安装有转轴（15），所述安装管（10）远离固定块（14）的一侧固定安装有第二固定环（16），所述第二固定环（16）相对于调节环（18）的一侧开设有密封环（19），所述安装管（10）两侧还分别卡装有密封圈，所述转轴（15）转动安装在转槽（13）内，所述密封环（19）则穿插安装在密封槽（17）内。

5.根据权利要求1所述的一种保护真空泵的装置，其特征在于：所述安装管（10）内侧固定安装有限位环（20），所述安装环（11）螺纹连接在位于限位环（20）一侧的安装管（10）内，所述安装环（11）内侧固定安装有滤网。

技术总结本技术公开了一种保护真空泵的装置，涉及冷阱技术领域，包括机箱，机箱前端固定安装有控制器，机箱内固定安装有冷阱罐体，冷阱罐体上固定安装有顶盖，顶盖内固定安装有进气管，位于进气管一侧的顶盖还固定安装有出气管，且出气管呈L形结构，出气管一端延伸至冷阱罐体内下方位置，出气管另一端设有初级过滤机构。利用冷阱罐体与进气管、出气管可对乙硼烷气体进行降温处理，使得乙硼烷经过冷阱罐体时凝华于冷阱底部，降低对真空泵的损害，另外在出气管一端设置一个可快速拆装的初级过滤机构，能够对进入到冷阱罐体内的乙硼烷气体进行初步的过滤，从而降低冷阱罐体的处理量，提升对乙硼烷气体中粉末过滤效果。技术研发人员：郑经纬,陈国富,陈学胜,周倍禾,吴超农,翁新增,吴增艳,缪振华,郑泽锋,苏少剑,彭王生受保护的技术使用者：博纯材料股份有限公司技术研发日：20231211技术公布日：2024/7/23