一种激光干涉仪灰尘抑制装置的制作方法

本发明涉及测量，具体为一种激光干涉仪灰尘抑制装置。

背景技术：

1、激光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，利用激光光束的干涉原理来测量光程差或表面形貌，其主要组成部分包括激光发射器、分束器、反射镜和检测器，工作原理是将激光光束分为两束，经过样品后再合并，根据干涉现象得出表面高度差或其他参数，通过检测器将干涉信号转换为电信号，再经过数据处理得到测量结果，激光干涉仪具有高精度、非接触式、快速测量等优点，广泛应用于光学、机械加工、电子制造等领域，用于测量表面形貌、薄膜厚度、位移等参数，为工业生产和科研提供了重要的技术支持。

2、现有公开号为cn218424364u的中国专利，一种激光干涉仪除尘装置，涉及测量技术领域，该激光干涉仪除尘装置，包括底座和活动安装在底座底端表面的若干个脚架，若干个所述脚架均匀分布在底座的底端表面，所述底座的顶端表面开设有安装槽，所述安装槽的底端表面开设有环形槽，所述安装槽的内壁活动安装有传动机构，所述底座的底端表面安装有固定机构，所述底座的一侧表面安装有动力传输机构。本实用新型由被动齿轮移动，被动齿轮在移动时会带动其顶端表面活动安装转动杆移动，转动杆在移动时通过连接块带动限位柱进行移动，这时限位柱上安装的连接布会沿着安装槽围绕着激光干涉仪旋转，再由连接布一侧表面安装的毛刷与激光干涉仪进行接触，达到清洁的效果，然而该专利所提出的除尘装置在除尘过程中虽然可以通过擦拭将灰尘擦除，但除尘过程中灰尘始终会附着在毛刷上，在长期使用过程汇总灰尘会附着的越来越严重，最终影响除尘效果，另外该激光干涉仪工作过程中光路中的灰尘无法抑制，为减少微小的灰尘或杂质对光路产生影响，导致测量误差，对空气中灰尘的抑制也非常重要。

3、针对上述问题，为此，提出一种激光干涉仪灰尘抑制装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种激光干涉仪灰尘抑制装置，采用本装置进行工作，从而解决了对激光干涉仪进行除尘操作时，灰尘不易彻底去除以及收集，并且不便对空气中的灰尘进行降尘的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种激光干涉仪灰尘抑制装置，包括支撑机构，支撑机构上方设置有支撑柱，支撑柱上方设置有激光干涉仪主体，激光干涉仪主体外侧设置用于抑尘的抑尘机构；

3、抑尘机构包括隔尘架，隔尘架内部设置有用于清洁激光干涉仪主体的清洁部件，所述清洁部件包括固定连接在隔尘架内壁的电动伸缩杆，电动伸缩杆一端固定连接有清洁板，清洁板一侧固定连接有清洁毛刷，隔尘架内壁开设有滑槽，清洁板滑动连接于滑槽内部，清洁板上表面固定连接有连接软管，电动伸缩杆底面固定连接有气压杆，气压杆底面与连接软管一端固定连接，电动伸缩杆下方设置有用于收集灰尘的集尘部件，所述集尘部件包括固定连接在电动伸缩杆底面的集尘盒，集尘盒一侧滑动连接有集尘板，集尘板一侧固定连接有弹簧，弹簧一端与集尘盒内壁固定连接，集尘板上表面开设有集尘槽，集尘盒一侧固定连接有通气管，通气管一端与气压杆内部相连通，集尘盒一侧固定连接有顶板，顶板一侧固定连接有刷梳。

4、优选的，集尘盒一侧固定连接有缓冲垫，缓冲垫一侧固定连接有闭合板，缓冲垫与闭合板对应设置。

5、优选的，隔尘架上表面固定连接有注水口，隔尘架内部设置有储液室，隔尘架一侧开设有连通槽，隔尘架一侧固定连接有储液板，储液板一侧固定连接有雾化喷头，储液板内部设置有小型水泵。

6、优选的，隔尘架一侧开设有鼓气槽，隔尘架内部设置有风机，风机与鼓气槽对应设置。

7、优选的，抑尘机构还包括安装部件，所述安装部件包括底板，底板上表面固定连接有限位板，限位板一侧开设有限位板，隔尘架底面开设有卡槽，限位板与卡槽对应设置，隔尘架一侧螺纹连接有螺栓，螺栓与螺纹槽b对应设置。

8、优选的，隔尘架一侧转动连接有活动板，活动板一侧开设有螺纹槽c，隔尘架内壁固定连接有鼓气泵，底板上表面开设有贯穿底板的漏尘槽，底板一侧开设有安装槽，底板一侧开设有螺纹槽a，螺纹槽a与螺纹槽c对应设置。

9、优选的，支撑机构包括支撑盘，支撑盘上表面转动连接有转盘，转盘上表面与支撑柱固定连接，支撑柱上表面固定连接有连接盘，连接盘上表面与底板底面固定连接。

10、优选的，支撑盘外侧固定连接有固定板，所述固定板共设置有六组，六组所述固定板两两组合对应设置，两组所述固定板之间固定连接有转轴，转轴外侧转动连接有支架伸缩柱，支架伸缩柱外侧开设有限位孔，支架伸缩柱外侧开设有收缩孔，收缩孔内壁固定连接有弹簧，弹簧一端固定连接有限位凸块，限位凸块与限位孔对应设置，支架伸缩柱一端固定连接有底盘。

11、优选的，底盘底面固定连接有缓冲底垫。

12、优选的，支撑盘底面固定连接有底柱，底柱外侧套接有套环，底柱底面固定连接有底限位盘，套环外侧转动连接有连接短杆，连接短杆一端与支架伸缩柱一侧转动连接。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

14、本发明提出的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，通过支撑机构、抑尘机构、清洁部件以及集尘部件的设置，实现了对激光干涉仪除尘时保证基本的清洁效果的同时，可以对清洁毛刷进行实时刮除，防止灰尘附着，并且对刮下的灰尘进行收集，另外通过雾化喷涂配合风机进行喷水鼓气，从而对光路范围进行降尘，达到了对激光干涉仪周围进行全面的抑尘效果的目的。

技术特征：

1.一种激光干涉仪灰尘抑制装置，包括支撑机构(1)，支撑机构(1)上方设置有支撑柱(2)，支撑柱(2)上方设置有激光干涉仪主体(4)，其特征在于：所述激光干涉仪主体(4)外侧设置用于抑尘的抑尘机构(3)；

2.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述集尘盒(361)一侧固定连接有缓冲垫(363)，缓冲垫(363)一侧固定连接有闭合板(366)，缓冲垫(363)与闭合板(366)对应设置。

3.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述隔尘架(32)上表面固定连接有注水口(33)，隔尘架(32)内部设置有储液室，隔尘架(32)一侧开设有连通槽(325)，隔尘架(32)一侧固定连接有储液板(34)，储液板(34)一侧固定连接有雾化喷头(341)，储液板(34)内部设置有小型水泵。

4.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述隔尘架(32)一侧开设有鼓气槽(322)，隔尘架(32)内部设置有风机，风机与鼓气槽(322)对应设置。

5.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述抑尘机构(3)还包括安装部件(31)，所述安装部件(31)包括底板(311)，底板(311)上表面固定连接有限位板(313)，限位板(313)一侧开设有限位板(313)，隔尘架(32)底面开设有卡槽(323)，限位板(313)与卡槽(323)对应设置，隔尘架(32)一侧螺纹连接有螺栓(324)，螺栓(324)与螺纹槽b(314)对应设置。

6.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述隔尘架(32)一侧转动连接有活动板(326)，活动板(326)一侧开设有螺纹槽c(327)，隔尘架(32)内壁固定连接有鼓气泵(328)，底板(311)上表面开设有贯穿底板(311)的漏尘槽(316)，底板(311)一侧开设有安装槽(315)，底板(311)一侧开设有螺纹槽a(312)，螺纹槽a(312)与螺纹槽c(327)对应设置。

7.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述支撑机构(1)包括支撑盘(11)，支撑盘(11)上表面转动连接有转盘(12)，转盘(12)上表面与支撑柱(2)固定连接，支撑柱(2)上表面固定连接有连接盘(21)，连接盘(21)上表面与底板(311)底面固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述支撑盘(11)外侧固定连接有固定板(13)，所述固定板(13)共设置有六组，六组所述固定板(13)两两组合对应设置，两组所述固定板(13)之间固定连接有转轴(131)，转轴(131)外侧转动连接有支架伸缩柱(14)，支架伸缩柱(14)外侧开设有限位孔(141)，支架伸缩柱(14)外侧开设有收缩孔，收缩孔内壁固定连接有弹簧，弹簧一端固定连接有限位凸块(142)，限位凸块(142)与限位孔(141)对应设置，支架伸缩柱(14)一端固定连接有底盘(15)。

9.根据权利要求8所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述底盘(15)底面固定连接有缓冲底垫(151)。

10.根据权利要求1所述的一种激光干涉仪灰尘抑制装置，其特征在于：所述支撑盘(11)底面固定连接有底柱(16)，底柱(16)外侧套接有套环(17)，底柱(16)底面固定连接有底限位盘(19)，套环(17)外侧转动连接有连接短杆(18)，连接短杆(18)一端与支架伸缩柱(14)一侧转动连接。

技术总结本发明涉及测量技术领域，公开了一种激光干涉仪灰尘抑制装置，本发明解决了现有激光干涉仪除尘时灰尘不易去除以及收集的问题，一种激光干涉仪灰尘抑制装置，包括支撑机构，支撑机构上方设置有支撑柱，支撑柱上方设置有激光干涉仪主体，激光干涉仪主体外侧设置用于抑尘的抑尘机构，抑尘机构包括由电动伸缩杆、清洁板、气压杆以及清洁毛刷为主组成的清洁部件，还包括由集尘盒、集尘板、刷梳以及通气管为主组成的集尘部件，清洁板上下移动进行清理，完成基本的清洁操作，毛刷通过刷梳时将灰尘刮下，同时压缩气压杆为集尘盒鼓气将集尘板推出，利用集尘板上的槽对灰尘进行收集，最终实现了保证激光干涉仪除尘的同时对灰尘进行收集的目的。技术研发人员：张宝安受保护的技术使用者：苏州然玓光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/15