一种光刻胶温度调节装置的制作方法

本技术涉及光刻，尤其涉及一种光刻胶温度调节装置。

背景技术：

1、涂光刻胶是光刻工艺中至关重要的一步，涂光刻胶的质量对光刻质量和产品质量都有很大的影响，因此在涂光刻胶时，要保证光刻胶的温度在预设温度范围内来保证涂胶质量，因此需要对光刻胶的温度进行调节。

2、可以通过温控水与光刻胶管路接触，来调节光刻胶管路中光刻胶的温度。在调节光刻胶温度的过程中，需要水泵加压温控水，来克服管路中的流动阻力，还要克服高度差。

3、因此，温控水流动过程中，需要施加较大的压力，导致管路可能因较大的压力而损坏，导致管路破损漏液。并且，如果管路破损漏液后，没有传感器报警停机，水泵会继续为温控水加压，继续调节光刻胶的温度，直到温控水的水箱因水位过低而报警，无法及时发现漏液问题，导致较多温控水流失。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种光刻胶温度调节装置，以解决在对光刻胶进行温度调节时，管路可能因较大的压力而损坏，导致管路破损漏液的问题。

2、本实用新型提供了一种光刻胶温度调节装置，光刻胶温度调节装置包括：压力调节模块、第一开关阀、水箱、水泵和热交换器；

3、所述第一开关阀的第一端与所述压力调节模块连接，所述第一开关阀的第二端与溢流管路的第一端连接，所述溢流管路的第二端与所述水箱的溢流口连接；所述压力调节模块配置为在所述第一开关阀开启时，对所述水箱的空气压力进行调节，以使所述水箱的空气压强为预设压强；所述水箱内存储有温控水；

4、所述水泵连接于所述水箱的出口与所述热交换器的第一入口之间，所述水泵配置为将所述水箱的温控水传输至所述热交换器；

5、所述热交换器的第二入口与第一冷却水管路连接，所述热交换器配置为将所述水箱的温控水与所述第一冷却水管路的冷却水进行热交换，并将热交换后的温度调节水经过热交换管路传输至所述水箱的入口，以使所述温度调节水与光刻胶管路接触，以对所述光刻胶管路中的光刻胶进行温度调节。

6、可选地，所述压力调节模块包括抽真空泵。

7、可选地，所述压力调节模块包括引射器；所述光刻胶温度调节装置还包括压缩气体管路和排气管路；

8、所述引射器连接于所述压缩气体管路与所述排气管路之间，所述引射器配置为在所述压缩气体管路中的压缩气体进入所述引射器时，抽取所述水箱中的气体至所述排气管路。

9、可选地，所述光刻胶温度调节装置还包括第二开关阀；

10、所述第二开关阀设置于所述压缩气体管路上，所述第二开关阀配置为所述第二开关阀导通时，将所述压缩气体管路中的压缩气体传输至所述引射器。

11、可选地，所述光刻胶温度调节装置还包括水位管路；

12、所述水位管路的第一端与所述第一开关阀的第二端连接，所述水位管路的第二端与所述溢流管路连接，所述水位管路的第三端与所述水箱连接。

13、可选地，所述光刻胶温度调节装置还包括压力检测模块；

14、所述压力检测模块设置于水位管路上。

15、可选地，所述压力检测模块包括压力计。

16、可选地，所述光刻胶温度调节装置还包括密封盖；

17、所述密封盖配置为在向所述水箱补充温控水后，对所述水箱的补水口进行密封。

18、可选地，所述光刻胶温度调节装置还包括密封圈；

19、所述密封圈设置于所述密封盖内。

20、可选地，所述光刻胶温度调节装置还包括第二冷却水管路；

21、所述热交换器的第一出口与所述热交换管路连接；

22、所述热交换器的第二出口与所述第二冷却水管路连接，所述热交换器配置为将热交换后的冷却水排出至所述第二冷却水管路。

23、本实用新型实施例的技术方案，通过设置第一开关阀和压力调节模块，在对光刻胶进行温度调节之前，即在水泵挤压温控水之前，开启第一开关阀和压力调节模块，压力调节模块对水箱的空气压力进行调节，使得水箱的空气压强为预设压强。预设压强较小，例如远小于大气压强，从而使得水箱的空气压强较小，即温控水的空气压力较小，使得后续在对光刻胶进行温度调节时，水泵对温控水加压后，温控水的压力也不会过高，不会对管路造成损坏，可以有效避免管路破裂而漏液，避免无法及时发现漏液问题，导致较多温控水流失的问题。并且，温控水流经的管路和热交换管路如果因机械磨损有小孔或渗漏时，在外界大气压强的作用下温度调节水不向外渗露，而是形成负压，外部的空气被吸入温控水流经的管路和热交换管路，因此极大降低了液漏对管路造成腐蚀等损坏的可能性，可以有效避免管路破裂而漏液。通过设置第一开关阀，在压力调节模块对水箱的空气压强进行调节后，可以关闭第一开关阀，使得水箱与外界大气隔离，从而使得水箱的空气压强维持在预设压强，有利于保证管路的压力不会较高，即保证管路不会破裂，有效的保护了管路和光刻胶温度调节装置。

24、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种光刻胶温度调节装置，其特征在于，包括：压力调节模块、第一开关阀、水箱、水泵和热交换器；

2.根据权利要求1所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述压力调节模块包括引射器；所述光刻胶温度调节装置还包括压缩气体管路和排气管路；

4.根据权利要求3所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述光刻胶温度调节装置还包括第二开关阀；

5.根据权利要求1所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述光刻胶温度调节装置还包括水位管路；

6.根据权利要求5所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述光刻胶温度调节装置还包括压力检测模块；

7.根据权利要求6所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述压力检测模块包括压力计。

8.根据权利要求1所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述光刻胶温度调节装置还包括密封盖；

9.根据权利要求8所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述光刻胶温度调节装置还包括密封圈；

10.根据权利要求1所述的光刻胶温度调节装置，其特征在于，所述光刻胶温度调节装置还包括第二冷却水管路；

技术总结本技术公开了一种光刻胶温度调节装置。该装置包括：压力调节模块、第一开关阀、水箱、水泵和热交换器；第一开关阀与压力调节模块连接，第一开关阀与溢流管路连接，溢流管路与水箱的溢流口连接；压力调节模块配置为在第一开关阀开启时，对水箱的空气压力进行调节，使水箱的空气压强为预设压强；水泵连接于水箱的出口与热交换器的第一入口之间；热交换器配置为将水箱的温控水与第一冷却水管路的冷却水进行热交换，将热交换后的温度调节水经过热交换管路传输至水箱的入口，对光刻胶管路中的光刻胶进行温度调节。本技术的技术方案避免了管路破裂后温控水向外渗漏，且避免了光刻胶温度调节装置的管路因压力较大而容易破裂的问题。技术研发人员：王大喜受保护的技术使用者：英诺赛科（苏州）半导体有限公司技术研发日：20231116技术公布日：2024/6/18