PCW系统的供水端和回水端管路的制作方法

本发明涉及pcw，更为具体地，涉及一种pcw系统的供水端和回水端管路。

背景技术：

1、在晶圆生产工艺中，cvd(chemicalvapordeposition，化学气相沉积)工艺装置中，pcw(processcoolingwater，工艺冷却水)系统，主要用于生产工艺设备的冷却，pcw系统的冷水由供水端输出，通过供水管路输送，进行热交换后，温水沿回水管路，流到回水端，流回水箱。

2、但是，现有技术中，供水端和回水端均在总管上安装有开关阀，不能单独调节每个分支管的流量，不能及时控制每个分支管的通断，不能了解供应水和回水的流量及温度，在供应水泄漏时需要人员观察到后手动关阀，不能及时断开供应水的供给，不便于控制pcw系统。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种pcw系统的供水端和回水端管路，能够单独控制每个分支管，及时监测供水、回水的温度和流量，调节供水的流量。

2、本发明提供的一种pcw系统的供水端和回水端管路，包括连接在供水端的供水歧管和连接在回水端的回水歧管，在所述供水歧管的每个分支管上均设置有流量调节元件和第一阀门，在所述供水歧管的总管上设置有第一手动阀；在所述回水歧管的每个分支管上均设置有第二阀门、流量检测元件和温度检测元件，在所述回水歧管的总管上设置有第二手动阀。

3、在所述供水歧管的总管上设置有截止阀，沿供水方向所述第一手动阀和所述截止阀依次设置。

4、在pcw系统中管道连接位置均设置有漏水传感器，所述漏水传感器与所述截止阀电性连接。

5、在所述管道连接位置设置有托架，所述漏水传感器设置在所述托架上。

6、所述流量检测元件和所述温度检测元件，为具有显示屏的回水流量温度一体式传感器。

7、所述第二阀门设置在所述回水歧管的分支管的出水端口，沿回水流向所述第二阀门和所述回水流量温度一体式传感器依次设置。

8、在所述供水歧管的每个分支管上均设置有具有显示屏的供水流量温度一体式传感器。

9、所述第一阀门和第二阀门均为停止阀。

10、所述第一手动阀和所述第二手动阀均为具有锁具或密码的闸阀。

11、利用上述根据本发明的pcw系统的供水端和回水端管路，在供水歧管、回水歧管的每个分支管上均设置有流量检测元件、温度检测元件，在供水歧管的每个分支管上均设置有流量调节元件和第一阀门，在回水歧管的每个分支管上均设置有第二阀门，能够单独控制每个分支管的供水和回水，读取每个供水、回水分支管的流量和温度，在供水歧管的总管上设置有截止阀，在整个pcw系统有泄漏点时能够及时截断供水。本发明增强了对pcw系统的供水端和回水端管路的每个分支的控制和了解，提高了pcw系统的工作效率和灵活性。

12、为了实现上述以及相关目的，本发明的一个或多个方面包括后面将详细说明并在权利要求中特别指出的特征。下面的说明以及附图详细说明了本发明的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本发明的原理的各种方式中的一些方式。此外，本发明旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。

技术特征：

1.一种pcw系统的供水端和回水端管路，包括连接在供水端的供水歧管和连接在回水端的回水歧管，其特征在于，

2.如权利要求1所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，在所述供水歧管的总管上设置有截止阀，沿供水方向所述第一手动阀和所述截止阀依次设置。

3.如权利要求2所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，在pcw系统中管道连接位置均设置有漏水传感器，所述漏水传感器与所述截止阀电性连接。

4.如权利要求3所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，在所述管道连接位置设置有托架，所述漏水传感器设置在所述托架上。

5.如权利要求1所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，所述流量检测元件和所述温度检测元件，为具有显示屏的回水流量温度一体式传感器。

6.如权利要求5所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，所述第二阀门设置在所述回水歧管的分支管的出水端口，沿回水流向所述回水流量温度一体式传感器和所述第二阀门依次设置。

7.如权利要求1所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，在所述供水歧管的每个分支管上均设置有具有显示屏的供水流量温度一体式传感器。

8.如权利要求1所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，所述第一阀门和第二阀门均为停止阀。

9.如权利要求1所述的pcw系统的供水端和回水端管路，其特征在于，所述第一手动阀和所述第二手动阀均为具有锁具或密码的闸阀。

技术总结本发明提供了一种PCW系统的供水端和回水端管路，包括连接在供水端的供水歧管和连接在回水端的回水歧管，在所述供水歧管的每个分支管上均设置有流量调节元件和第一阀门，在所述供水歧管的总管上设置有第一手动阀；在所述回水歧管的每个分支管上均设置有第二阀门、流量检测元件和温度检测元件，在所述回水歧管的总管上设置有第二手动阀。利用本发明能够单独控制每个分支管，及时监测供水、回水的温度和流量，调节供水的流量。技术研发人员：金洙千,吴泰润,金秀宪,郑盈箕,车世旭,李踵荣,黄允净,朴哲官,柳相晩,尹仁相,玄暻受保护的技术使用者：盛吉盛（韩国）半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/4