一种用于金刚石生长设备的冷却系统的制作方法

本技术涉及金刚石生长设备领域，尤其涉及一种用于金刚石生长设备的冷却系统。

背景技术：

1、金刚石生长设备是用于将含碳气体甲烷和氢气等混合物在负压和温度800-1100℃条件下的反应器内激发分解出活性碳原子，通过控制沉积生长条件促使活性碳原子在基体上沉积，按照晶种提供的钻石模板排列堆积，交互生长成金刚石晶体。然而，金刚石生长设备包含了不同功能的装置，例如微波源、环行器和反应器等；而不同的装置所带的热量不同；现有的冷却系统主要是将冷却水传送至由低温的设备，冷却水出来后再转移至更高温的设备，虽然可以节省冷却水，但会使系统的线杂乱，不容易管理；现有冷却系统会针对一个装置对应设置一个冷却装置，但这样会导致冷却成本高，也不容易管理，也不容易准确控制冷却效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其通过将每个生长设备的冷却结构分别与冷却输入分流器和冷却输出分流器独立地相连，以形成独立的冷却线路，并在冷却输出分流器设置流量计和温度计，根据流量计和温度计的数值调节调控阀，从而能根据流出的冷却介质的流量和温度调节调控阀的打开比例，进而准确地控制每条冷却线路的冷却效果。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种用于金刚石生长设备的冷却系统，包括：生长设备、冷却输入分流器、冷却输出分流器、冷却进管和冷却出管；

4、所述生长设备的数量为多个，部分所述生长设备为微波电源、微波发生器和反应器中的其中一者，部分所述生长设备设有冷却结构；所述冷却输入分流器设有多个输出端，并于多个输出端分别对应设有调控阀；所述冷却输出分流器设有多个输入端，并于多个输入端分别对应设有流量计和温度计；

5、所述冷却进管的输入端连通于所述冷却输入分流器的输出端，所述冷却进管的输出端连通于所述冷却结构的输入端；

6、所述冷却出管的输入端连通于所述冷却结构的输出端，所述冷却出管的输出端连通于所述冷却输出分流器的输入端。

7、优选地，所述微波发生器还包括：微波源、环行器和环形冷却管；

8、所述微波源和环行器分别设有所述冷却结构；

9、所述冷却进管的输出端连通于所述微波源的所述冷却结构的输入端；所述环形冷却管的输入端连通于所述微波源的所述冷却结构的输出端，所述环形冷却管的输出端连通于所述环行器的所述冷却结构的输入端；所述冷却出管的输入端连通于所述环行器的所述冷却结构的输出端。

10、优选地，所述反应器包括：导波横管和反应容器；

11、所述导波横管的一端连通于所述微波发生器，所述导波横管的另一端连通于所述反应容器；所述导波横管于远离所述反应容器的一侧设有反射口，并于所述反射口设有反射板；所述反射板设有其中一个所述冷却结构。

12、优选地，所述反应器包括：导波横管、反应容器、导波内管和导波外管；

13、所述导波横管的一端连通于所述微波发生器，所述导波横管的另一端安装有所述反应容器；所述导波内管设置于所述导波外管的内圈；所述导波外管的外圈固定于所述导波横管，并伸入于所述反应容器；

14、所述反应容器包括：支撑内台、支撑外台、反应台；

15、所述支撑内台密封安装于所述支撑外台的内部；所述反应台安装于所述支撑内台；所述反应台的表面设有置物区，所述支撑内台的内部于所述置物区的范围设有反应内区；所述支撑内台于所述反应内区的区域形成反应外区；

16、所述导波内管的外圈和所述导波外管的内圈之间形成外冷却通道；所述外冷却通道连通于所述反应外区，两者形成其中一个所述冷却结构；

17、所述导波内管的内圈设有内冷却通道；所述内冷却通道连通于所述反应内区，两者形成其中一个所述冷却结构。

18、更优地，所述支撑外台的内部与外部之间设有夹槽，所述夹槽设有所述冷却结构。

19、优选地，所述支撑外台包括：反应顶盖和反应底座；

20、所述反应顶盖可拆卸地安装于所述反应底座的开口；所述反应顶盖设有所述冷却结构，连接该冷却结构所使用的所述冷却进管和冷却出管为软质管。

21、优选地，部分所述冷却进管设有多个输出端，每个输出端连通于不同的冷却结构。

22、优选地，部分所述调控阀通讯连接于所述流量计和/或温度计。

23、优选地，还包括：液体输出装置；

24、所述液体输出装置的输出端连通于所述冷却输入分流器的输入端。

25、优选地，还包括：液体回收容器；

26、所述液体回收容器的输入端连通于所述冷却输出分流器的输出端。

27、与现有技术相比，上述技术方案中的一个技术方案具有以下有益效果：

28、本方案提供一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其通过将每个生长设备的冷却结构分别与冷却输入分流器和冷却输出分流器独立地相连，以形成独立的冷却线路，并在冷却输出分流器设置流量计和温度计，根据流量计和温度计的数值调节调控阀，从而能根据流出的冷却介质的流量和温度调节调控阀的打开比例，进而准确地控制每条冷却线路的冷却效果，解决了现有金刚石生长设备的冷却步骤繁琐导致冷却效果不佳和冷却后的温度不准确的问题。

技术特征：

1.一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，包括：生长设备、冷却输入分流器、冷却输出分流器、冷却进管和冷却出管；

2.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，所述微波发生器还包括：微波源、环行器和环形冷却管；

3.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，所述反应器包括：导波横管和反应容器；

4.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，所述反应器包括：导波横管、反应容器、导波内管和导波外管；

5.根据权利要求4所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，所述支撑外台的内部与外部之间设有夹槽，所述夹槽设有所述冷却结构。

6.根据权利要求5所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，所述支撑外台包括：反应顶盖和反应底座；

7.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，部分所述冷却进管设有多个输出端，每个输出端连通于不同的冷却结构。

8.根据权利要求1所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，部分所述调控阀通讯连接于所述流量计和/或温度计。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，还包括：液体输出装置；

10.根据权利要求1-8任意一项所述的一种用于金刚石生长设备的冷却系统，其特征在于，还包括：液体回收容器；

技术总结一种用于金刚石生长设备的冷却系统，包括：生长设备、冷却输入分流器、冷却输出分流器、冷却进管和冷却出管；部分生长设备设有冷却结构；冷却输入分流器设有多个输出端，并于多个输出端分别对应设有调控阀；冷却输出分流器设有多个输入端，并于多个输入端分别对应设有流量计和温度计；冷却进管的输入端连通于冷却输入分流器的输出端，冷却进管的输出端连通于冷却结构的输入端；冷却出管的输入端连通于冷却结构的输出端，冷却出管的输出端连通于冷却输出分流器的输入端。本方案解决了现有金刚石生长设备的冷却步骤繁琐导致冷却效果不佳和冷却后的温度不准确的问题。技术研发人员：徐丰,周健泉受保护的技术使用者：佛山市海光智能科技有限公司技术研发日：20231023技术公布日：2024/7/15