一种网带式气氛氧化炉及再氧化方法与流程

本发明属于气氛炉，具体涉及一种网带式气氛氧化炉及再氧化方法。

背景技术：

1、随着mlcc可靠性和集成度的提升，mlcc广泛应用于包括军用、民用电子行业，市场规模约占整个陶瓷电容器的93％。mlcc制程工艺复杂，其中烧结工艺的优劣，决定了mlcc产品性能的优劣。为了降低mlcc生产成本，目前大多民用mlcc采用ni内电极制作，因此，需要在还原气氛(一般为n2+h2+h2o)中烧成。而mlcc的烧结过程在气氛炉中进行，一般烧结温度在1100℃～1350℃之间。由于是高温烧结，为了防止氧化等，烧结炉里面需要填充氮气/氢气。烧结的关键就是炉膛内的温度与其均匀一致性，还有就是应在一个热动态平衡中进行，空气应充分流动，使瓷体的晶相生长均匀与致密。

2、因此，在烧结的过程中，需要一直向气氛炉中各个不同的温区吹入设定的气体来让不断移动的mlcc可以保证烧结的质量，而由于气氛炉上设置的多个温区的温度依次上升，即，在相邻两温区之间的温度相差较大，而在烧结的过程中需要对各个温区的温度进行精准的控制，同时在烧结过程中需要将烧结产生的废气进行排出。因此，在mlcc的烧结过程中，会不断将烧结产生的废气排出的同时还需要对各个温区之间喷入不同的气体来保证烧结的质量，同时还需要控制各个温区的温度保持稳定，而由于相邻两温区的温度存在着差异，同时吹入的气体同样会带走温区内的温度，因此，这就导致了在对温区内的温度进行控温时需要经常对加热元件的输出功率进行调整来满足对温区温度的控制。

技术实现思路

1、为解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种网带式气氛氧化炉及再氧化方法，解决了现有的mlcc在烧结过程中需要频繁的调整加热元件来控制温区温度的稳定性的问题。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：一种网带式气氛氧化炉，包括加热机构、上料机构、气氛检测器、排气机构和吹气机构，所述上料机构安装于加热机构的上料端，所述加热机构内设有若干依次连接的温区，相邻所述温区之间均竖直设置有隔热板，所述隔热板内设有空腔且其底部的相对两侧均开设有进气槽，所述气氛检测器用于检测各个温区内的气氛含量，所述吹气机构根据气氛检测器的检测结果控制吹气的气氛量，所述进气槽与空腔连通，所述吹气机构安装于加热机构的下料端并向各个温区内进行吹气，所述排气机构安装于加热机构顶面且排气端与空腔连通，所述排气机构的排气端与吹气机构的吹气端的管壁相抵接，所述排气机构通过进气槽将温区内的气体进行排出。

3、作为本发明的一种优选技术方案，所述隔热板的相对两侧壁均设有保温层。

4、作为本发明的一种优选技术方案，所述加热机构包括机架、工作台面、上发热元件和下发热元件，所述上发热元件和下发热元件上均设有温度检测器并根据温度检测器的检测结果调整发热效率，所述上发热元件设置于工作台面的上方，所述下发热元件设置于工作台面的下方，所述上发热元件与各个温区一一对应设置，所述下发热元件由若干个发热区构成，若干所述发热区依次连接设置于工作台面的下方并与上发热元件一一对应设置。

5、作为本发明的一种优选技术方案，所述上发热元件和下发热元件沿工作台面轴线方向均匀分为三块加热区，三块所述加热区均由若干发热丝组成，若干所述发热丝沿工作台面的轴线方向均匀的排列，若干所述发热丝均可根据温度检测器独立控制发热效率。

6、作为本发明的一种优选技术方案，所述吹气机构包括气氛控制器和进气管道，所述气氛控制器与进气管道连通，所述进气管道在每一温区内均设有两段出气端，一段出气端位于温区的上部从上向下竖直吹气，另一出气端位于工作台面下方，所述工作台面上在每一温区中部位置开设有若干进气孔，所述进气口与进气管道的位于工作台面下方的出气端连通。

7、作为本发明的一种优选技术方案，所述排气机构设有多个，多个所述排气机构分别设置与每一温区上方并与空腔连通，所述排气机构包括排气管和进气咀，所述排气管的底端与空腔连通，所述进气咀安装于排气管的顶端。

8、作为本发明的一种优选技术方案，所述排气管的顶部还设置有温度检测孔，所述温度检测孔位于进气咀下方。

9、作为本发明的一种优选技术方案，还包括加湿组件，所述加湿组件安装于机架下料端的底部，所述加湿组件同于向设定的温区内喷洒水溶液。

10、作为本发明的一种优选技术方案，所述上料机构包括传输网带、两隔绝帘和超声清洗器，所述传输网带用于将产品以设定的速度在加热机构内移动，所述传输网带的顶面位于工作台面的上方，两所述隔绝帘分别位于加热机构的上料端和下料端，所述超声清洗器安装于加热机构上料端的下方并用于对传输网带进行清洗。

11、基于上述的一种网带式气氛氧化炉，本发明还提出一种网带式气氛氧化炉的再氧化方法，包括以下步骤：

12、s1：获得产品烧结温度曲线；

13、s2：将产品用网盘放置在上料机构上进行循环上料；

14、s3：加热机构根据产品烧结温度曲线设置各个温区温度并根据温度检测器的检测结果来实时调整温区的温度使其符合设定的数值；

15、s4：吹气机构向各个温区竖直向产品上吹入设定气氛，气氛向产品的两侧流动；

16、s5：排气机构通过隔热板将各个温区内的空气进行排出，各温区内的空气从隔热板底部的进气槽进入从而在隔热板之间形成风墙来进行隔热；

17、s6：烧结完成后产品在加热机构的下料端完成下料。

18、本发明的有益效果为：通过吹气机构向加热机构的温区内一直吹入设定好的气氛来完成烧结，同时再通过排气机构将温区内烧结产生的废气进行排出，让温区内在隔热板的位置形成风墙来将相邻两温区进行隔离，使得相邻两温区的温差可以得到有效的控制，同时在吹气机构吹入气氛的过程中，吹气机构的吹气端与排气机构的排气端相抵接，从而让吹气机构吹入的气氛与排气机构排出的气体进行热交换，从而提高吹气机构的吹入气氛的温度，减少吹气机构向温区内吹入气体时导致温区内的温度发生波动的情况，从而影响烧结的质量，解决了现有的mlcc在烧结过程中需要频繁的调整加热元件来控制温区温度的稳定性的问题。

技术特征：

1.一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：包括加热机构、上料机构、气氛检测器、排气机构和吹气机构，所述上料机构安装于加热机构的上料端，所述加热机构内设有若干依次连接的温区，相邻所述温区之间均竖直设置有隔热板，所述隔热板内设有空腔且其底部的相对两侧均开设有进气槽，所述气氛检测器用于检测各个温区内的气氛含量，所述吹气机构根据气氛检测器的检测结果控制吹气的气氛量，所述进气槽与空腔连通，所述吹气机构安装于加热机构的下料端并向各个温区内进行吹气，所述排气机构安装于加热机构顶面且排气端与空腔连通，所述排气机构的排气端与吹气机构的吹气端的管壁相抵接，所述排气机构通过进气槽将温区内的气体进行排出。

2.根据权利要求1所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述隔热板的相对两侧壁均设有保温层。

3.根据权利要求1所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述加热机构包括机架、工作台面、上发热元件和下发热元件，所述上发热元件和下发热元件上均设有温度检测器并根据温度检测器的检测结果调整发热效率，所述上发热元件设置于工作台面的上方，所述下发热元件设置于工作台面的下方，所述上发热元件与各个温区一一对应设置，所述下发热元件由若干个发热区构成，若干所述发热区依次连接设置于工作台面的下方并与上发热元件一一对应设置。

4.根据权利要求3所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述上发热元件和下发热元件沿工作台面轴线方向均匀分为三块加热区，三块所述加热区均由若干发热丝组成，若干所述发热丝沿工作台面的轴线方向均匀的排列，若干所述发热丝均可根据温度检测器独立控制发热效率。

5.根据权利要求3所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述吹气机构包括气氛控制器和进气管道，所述气氛控制器与进气管道连通，所述进气管道在每一温区内均设有两段出气端，一段出气端位于温区的上部从上向下竖直吹气，另一出气端位于工作台面下方，所述工作台面上在每一温区中部位置开设有若干进气孔，所述进气口与进气管道的位于工作台面下方的出气端连通。

6.根据权利要求1所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述排气机构设有多个，多个所述排气机构分别设置与每一温区上方并与空腔连通，所述排气机构包括排气管和进气咀，所述排气管的底端与空腔连通，所述进气咀安装于排气管的顶端。

7.根据权利要求6所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述排气管的顶部还设置有温度检测孔，所述温度检测孔位于进气咀下方。

8.根据权利要求1所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：还包括加湿组件，所述加湿组件安装于机架下料端的底部，所述加湿组件同于向设定的温区内喷洒水溶液。

9.根据权利要求1所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于：所述上料机构包括传输网带、两隔绝帘和超声清洗器，所述传输网带用于将产品以设定的速度在加热机构内移动，所述传输网带的顶面位于工作台面的上方，两所述隔绝帘分别位于加热机构的上料端和下料端，所述超声清洗器安装于加热机构上料端的下方并用于对传输网带进行清洗。

10.一种网带式气氛氧化炉的再氧化方法，用于上述权利要求3至9任意一项所述的一种网带式气氛氧化炉，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结本发明涉及一种网带式气氛氧化炉及再氧化方法，属于气氛炉技术领域。包括加热机构、上料机构、气氛检测器、排气机构和吹气机构，上料机构安装于加热机构的上料端，加热机构内设有若干依次连接的温区，相邻温区之间均竖直设置有隔热板，隔热板内设有空腔且其底部的相对两侧均开设有进气槽，气氛检测器用于检测各个温区内的气氛含量，吹气机构安装于加热机构的下料端并向各个温区内进行吹气，排气机构安装于加热机构顶面且排气端与空腔连通，排气机构的排气端与吹气机构的吹气端的管壁相抵接，排气机构通过进气槽将温区内的气体进行排出，本发明解决了现有的MLCC在烧结过程中需要频繁的调整加热元件来控制温区温度的稳定性的问题。技术研发人员：梁耀国,罗洪生,何树明,郑春花,李日荣,梁永洪受保护的技术使用者：肇庆市宏华电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23