一种电沉积光刻胶精准补加装置的制作方法

本技术涉及光刻胶涂覆，尤其涉及一种电沉积光刻胶精准补加装置。

背景技术：

1、光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂(见光谱增感染料)和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加工基片上。依据使用场景，这里的待加工基片可以是集成电路材料，显示面板材料或者印刷电路板。

2、涂覆装置在实际使用过程中，当加工材料完成涂覆作业后，无法快速将吸盘内的空气进行排放，需要工作人员用力抽拉加工材料才能将加工材料从吸盘上取下，用力过度容易造成加工材料的损坏，从而降低了装置的实用性。

3、现有专利(公告号：cn215986894u)提出了一种光刻胶涂覆装置，包括：工作台，所述工作台的下端外表面连接有注胶筒；具有吸附固定功能的旋转机构，具有吸附固定功能的所述旋转机构与工作台连接，具有吸附固定功能的所述旋转机构包括转动轴杆，所述工作台的上端外表面转动连接有转动轴杆，所述转动轴杆的上端通过转盘固定连接有吸盘，转盘的下端外表面固定连接有橡胶包圈，所述吸盘的外表面固定连接有与其连通的安装筒，安装筒开设有内螺纹，安装筒内螺纹杆的一端固定连接有活塞，所述安装筒的外表面开设有两个对称设置的出气孔，光刻胶涂覆装置具有快速排气方便拿取加工材料的优点。

4、上述光刻胶涂覆装置在使用时具有以下缺点：光刻胶采用注胶筒涂布在电路板表面，当注胶筒内部胶水余量不足时，为了不影响涂覆连续加工所以需要将光刻胶进行持续的补加，但是现在的光刻胶加胶多采用人工进行，而人工加胶难以控制补加精度，当补加过量时光刻胶易溢出，当补加不足时需要工作人员频繁补加，为此，我们提出一种电沉积光刻胶精准补加装置解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种电沉积光刻胶精准补加装置，解决了光刻胶采用注胶筒涂布在电路板表面，当注胶筒内部胶水余量不足时，为了不影响涂覆连续加工所以需要将光刻胶进行持续的补加，但是现在的光刻胶加胶多采用人工进行，而人工加胶难以控制补加精度，当补加过量时光刻胶易溢出，当补加不足时需要工作人员频繁补加的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种电沉积光刻胶精准补加装置，包括注胶筒，所述注胶筒顶部设置有用于对注胶筒内部精准添加光刻胶的补加组件，所述补加组件包括固定安装在注胶筒顶部的支柱，所述支柱的顶部固定安装有称量槽，所述称量槽的内部活动连接有补加筒，所述称量槽的内底壁上固定安装有称重传感器，所述补加筒的底面开设有排胶口，所述排胶口的外部固定安装有连接管，所述连接管顶端与排胶口相连通，所述连接管底端与注胶筒相连通，所述连接管上固定安装有第二电磁阀。

3、优选的，所述称量槽的内底壁开设有多个容纳槽，所述称重传感器嵌设安装在容纳槽的内部，所述称重传感器的顶面与补加筒的底面贴合。

4、优选的，所述补加筒上部的侧壁上固定安装有进胶管，所述进胶管与补加筒相连通，所述进胶管延伸至补加筒外部的一端上固定安装有第一电磁阀。

5、优选的，所述支柱设置有多个，多个所述支柱呈环形阵列固定安装在注胶筒的顶部。

6、优选的，所述补加筒的顶部固定安装有电动推杆，所述电动推杆伸缩端延伸至补加筒内部的一端固定安装有推板，所述推板外周壁与补加筒内壁贴合。

7、优选的，所述推板的外周壁上开设有环形槽，所述环形槽的内部嵌设安装有密封圈，所述密封圈外壁与补加筒内壁贴合。

8、优选的，所述补加筒的顶部固定安装有防护罩，所述防护罩罩设在电动推杆的外部。

9、与相关技术相比较，本实用新型提供的一种电沉积光刻胶精准补加装置具有如下有益效果：

10、本实用新型中，通过液泵将光刻胶泵送至补加筒的内部，通过称重传感器可对补加筒整体的重量进行称量，并通过控制面板可设定称重传感器的载重阈值，随着光刻胶的持续进入补加筒内，会使补加筒的重量持续增长，随之称重传感器称重的数值也在不断增长，当称重传感器称重的数字到达设定的阈值后，进胶管上设置的第一电磁阀关闭，并通过开启第二电磁阀，补加筒内部的光刻胶可通过连接管排入注胶筒的内部，实现光刻胶定量精准添加的效果，防止光刻胶补加过多或过少，且具备自动补加光刻胶的功能，结构简单，操作方便，实用性强。

11、本实用新型中，通过电动推杆可推动推板竖向移动，推板在向下移动的过程中可推动补加筒内部的光刻胶快速从连接管排至注胶筒的内部，降低了光刻胶流入注胶筒内部的时间，提高光刻胶的补加效率。

技术特征：

1.一种电沉积光刻胶精准补加装置，包括注胶筒(1)，其特征在于，所述注胶筒(1)顶部设置有用于对注胶筒(1)内部精准添加光刻胶的补加组件，所述补加组件包括固定安装在注胶筒(1)顶部的支柱(2)，所述支柱(2)的顶部固定安装有称量槽(3)，所述称量槽(3)的内部活动连接有补加筒(5)，所述称量槽(3)的内底壁上固定安装有称重传感器(4)，所述补加筒(5)的底面开设有排胶口(7)，所述排胶口(7)的外部固定安装有连接管(8)，所述连接管(8)顶端与排胶口(7)相连通，所述连接管(8)底端与注胶筒(1)相连通，所述连接管(8)上固定安装有第二电磁阀(9)。

2.根据权利要求1所述的一种电沉积光刻胶精准补加装置，其特征在于，所述称量槽(3)的内底壁开设有多个容纳槽，所述称重传感器(4)嵌设安装在容纳槽的内部，所述称重传感器(4)的顶面与补加筒(5)的底面贴合。

3.根据权利要求1所述的一种电沉积光刻胶精准补加装置，其特征在于，所述补加筒(5)上部的侧壁上固定安装有进胶管(6)，所述进胶管(6)与补加筒(5)相连通，所述进胶管(6)延伸至补加筒(5)外部的一端上固定安装有第一电磁阀(14)。

4.根据权利要求1所述的一种电沉积光刻胶精准补加装置，其特征在于，所述支柱(2)设置有多个，多个所述支柱(2)呈环形阵列固定安装在注胶筒(1)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种电沉积光刻胶精准补加装置，其特征在于，所述补加筒(5)的顶部固定安装有电动推杆(10)，所述电动推杆(10)伸缩端延伸至补加筒(5)内部的一端固定安装有推板(11)，所述推板(11)外周壁与补加筒(5)内壁贴合。

6.根据权利要求5所述的一种电沉积光刻胶精准补加装置，其特征在于，所述推板(11)的外周壁上开设有环形槽，所述环形槽的内部嵌设安装有密封圈(12)，所述密封圈(12)外壁与补加筒(5)内壁贴合。

7.根据权利要求5所述的一种电沉积光刻胶精准补加装置，其特征在于，所述补加筒(5)的顶部固定安装有防护罩(13)，所述防护罩(13)罩设在电动推杆(10)的外部。

技术总结本技术公开了一种电沉积光刻胶精准补加装置，涉及光刻胶涂覆技术领域，包括注胶筒，所述注胶筒顶部设置有用于对注胶筒内部精准添加光刻胶的补加组件，所述补加组件包括固定安装在注胶筒顶部的支柱，所述支柱的顶部固定安装有称量槽，所述称量槽的内部活动连接有补加筒，所述称量槽的内底壁上固定安装有称重传感器，所述补加筒的底面开设有排胶口，所述排胶口的外部固定安装有连接管，所述连接管顶端与排胶口相连通，所述连接管底端与注胶筒相连通，所述连接管上固定安装有第二电磁阀，本技术中，实现光刻胶定量精准添加的效果，防止光刻胶补加过多或过少，且具备自动补加光刻胶的功能，结构简单，操作方便，实用性强。技术研发人员：陈友志,王振华,蓝星,梁松颖受保护的技术使用者：深圳市志邦科技有限公司技术研发日：20231208技术公布日：2024/7/23