一种金刚石线锯上砂装置

本技术涉及电镀金刚石线锯设备领域，具体为一种金刚石线锯上砂装置。

背景技术：

1、金刚石线锯是利用复合镀镍工艺（利用电镀设备完成），将金刚石微粉镀覆在金属母线表面而制成的，利用金刚石的硬度特性来加工硅片。

2、现有上砂工艺中的电镀设备包括母槽、子槽、移动的扫砂管和调速电机等。金刚砂能够电镀到母线上的关键在于让金刚砂与母线进行接触。目前最常用的方法是提高母线周围的金刚砂浓度，提高接触概率。

3、但是，上述方法易造成金刚砂在母线上堆积、团聚，可控性较差，而且金刚砂投料量大，成本高。因此，需要一种既能提高母线与金刚砂接触概率，又不造成金刚砂团聚的解决方案。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种金刚石线锯上砂装置，旨在改善现有母线上砂时金刚砂用量较大的问题。

2、本实用新型是这样实现的：一种金刚石线锯上砂装置，包括上下分布的上子槽和下子槽，在子槽内设置有电镀组件，在子槽的端部设置有加磁装置，加磁装置包括上定位架、下定位架和多只圆形磁铁，上定位架和下定位架分别设置在上子槽和下子槽的端部，多只圆形磁铁均分为两组，两组圆形磁铁分别镶嵌在上定位架和下定位架内，且磁性相反。

3、优选的，上定位架和下定位架的上侧面分别与上子槽和下子槽通孔的下侧面齐平，通孔的下侧面高于子槽内混合液的液面。

4、优选的，在子槽的端部还设置有绕线滚筒，绕线滚筒缠绕有母线，母线贯穿通孔进入子槽内，并没入混合液中。

5、优选的，在绕线滚筒的下方设置有集水槽，绕线滚筒的中心轴托置在积水槽上，端部与旋转电机的输出轴连接。

6、优选的，集水槽的长度大于或等于绕线滚筒的长度，宽度大于绕线滚筒的宽度。

7、优选的，在绕线滚筒的上方设置有加湿装置，加湿装置包括喷淋管、液体泵和加湿液，液体泵通过输送管与加湿液和喷淋管连接。

8、优选的，喷淋管设置为t型结构，喷淋管平行绕线滚筒中轴线的部分的长度小于或等于绕线滚筒的长度，且侧壁的下端设置有漏液孔。

9、优选的，绕线滚筒可设置两只或四只，且均分为两组；若每组中有一只绕线滚筒，则母线在上子槽和下子槽内循环移动；若每组中有两只绕线滚筒，则分别对应上子槽和下子槽，母线在其对应的子槽内移动。

10、优选的，电镀组件包括导电杆和多张钛篮，多张钛篮分布在子槽中，且沿着子槽的长度方向均匀分布，钛篮与导电杆的正极相连，且托置有镍块，镍块没入混合液中，导电杆的负极与混合液相连。

11、优选的，在子槽的侧边设置有母槽，母槽和子槽之间均设置有供液管和回液管，供液管上设置有变量泵；在母槽的上端设置有自动滴加系统。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、1、本实用新型设置加磁装置，其可对母线进行充磁，提高上砂效果，降低上砂过程中的用砂量。

14、2、本实用新型实现混合液在子槽和母槽中的循环流通使用，进一步降低了上砂过程中的用砂量。

15、3、本实用新型设置绕线滚筒，可带动母线在子槽内移动，实现上砂处理，增强上砂效果或提高上砂效率。

技术特征：

1.一种金刚石线锯上砂装置，包括上下分布的上子槽(10)和下子槽(9)，在所述子槽内设置有电镀组件，其特征在于，在子槽的端部设置有加磁装置(7)，所述加磁装置(7)包括上定位架(15)、下定位架(16)和多只圆形磁铁(18)，所述上定位架(15)和下定位架(16)分别设置在上子槽(10)和下子槽(9)的端部，多只所述的圆形磁铁(18)均分为两组，两组所述的圆形磁铁(18)分别镶嵌在上定位架(15)和下定位架(16)内，且磁性相反。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，所述上定位架(15)和下定位架(16)的上侧面分别与上子槽(10)和下子槽(9)通孔的下侧面齐平，所述通孔的下侧面高于子槽内混合液的液面。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，在所述子槽的端部还设置有绕线滚筒(4)，所述绕线滚筒(4)缠绕有母线(6)，所述母线(6)贯穿通孔进入子槽内，并没入混合液中。

4.根据权利要求3所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，在所述绕线滚筒(4)的下方设置有集水槽(5)，绕线滚筒(4)的中心轴托置在积水槽上，端部与旋转电机的输出轴连接。

5.根据权利要求4所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，所述集水槽(5)的长度大于或等于绕线滚筒(4)的长度，宽度大于绕线滚筒(4)的宽度。

6.根据权利要求3所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，在所述绕线滚筒(4)的上方设置有加湿装置(11)，所述加湿装置(11)包括喷淋管、液体泵和加湿液，所述液体泵通过输送管与加湿液和喷淋管连接。

7.根据权利要求6所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，所述喷淋管设置为t型结构，所述喷淋管平行绕线滚筒(4)中轴线的部分的长度小于或等于绕线滚筒(4)的长度，且侧壁的下端设置有漏液孔。

8.根据权利要求3所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，所述绕线滚筒(4)可设置两只或四只，且均分为两组，两组绕线滚筒(4)位于子槽的两端；若每组中有一只绕线滚筒(4)，则母线(6)在上子槽(10)和下子槽(9)内循环移动；若每组中有两只绕线滚筒(4)，则分别对应上子槽(10)和下子槽(9)，母线(6)在其对应的子槽内移动。

9.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，所述电镀组件包括导电杆(13)和多张钛篮(12)，多张所述的钛篮(12)分布在子槽中，且沿着子槽的长度方向均匀分布，所述钛篮(12)与导电杆(13)的正极相连，且托置有镍块，所述镍块没入混合液中，所述导电杆(13)的负极与混合液相连。

10.根据权利要求1所述的一种金刚石线锯上砂装置，其特征在于，在所述子槽的侧边设置有母槽(2)，所述母槽(2)和子槽之间均设置有供液管(8)和回液管(14)，所述供液管(8)上设置有变量泵(3)；在所述母槽(2)的上端设置有自动滴加系统(1)。

技术总结本技术公开了一种金刚石线锯上砂装置，包括上下分布的上子槽和下子槽，在所述子槽内设置有电镀组件，在子槽的端部设置有加磁装置，所述加磁装置包括上定位架、下定位架和多只圆形磁铁，所述上定位架和下定位架分别设置在上子槽和下子槽的端部，多只所述的圆形磁铁均分为两组，两组所述的圆形磁铁分别镶嵌在上定位架和下定位架内，且磁性相反；本技术设置加磁装置，其可对母线进行充磁，提高上砂效果，降低上砂过程中的用砂量。技术研发人员：梁浩峻,刘秀珍受保护的技术使用者：郑州大学技术研发日：20230908技术公布日：2024/4/17