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一种真空镀膜装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-27 11:28:42

本技术属于电镀设备,特别涉及一种真空镀膜装置。

背景技术:

1、中国专利文献资料公开了一种真空镀膜装置[申请号:202022553967.6;授权公告号:cn213507180u],其具体结构包括真空镀膜腔和镀膜腔盖,真空镀膜腔底部设有蒸发源,镀膜腔盖位于真空镀膜腔上方,镀膜腔盖底部安装有基片载架夹持装置,镀膜腔盖的左侧固定在支撑板上,支撑板的下方连接着第一升降机构,支撑板的上方设有电机支架,电机支架上安装着转动电机,转动电机输出轴连接到镀膜腔盖。

2、上述的真空镀膜装置能提高真空镀膜效率,节约人力成本,但是该真空镀膜装置只能够对物料自动取放,物料在镀膜装置内固定,不便于对物料表面均匀镀膜,不便于对不同大小的物料进行定位,不便于对不同物料进行镀膜,使用不方便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题,提供了一种便于对物料均匀镀膜、方便对不同大小物料定位镀膜和方便工作人员使用的真空镀膜装置。

2、本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种真空镀膜装置,包括真空电镀箱,所述真空电镀箱的两侧均连通有安装壳,所述真空电镀箱的内腔设置有喷出机构,所述真空电镀箱的顶部连通有固定壳,所述固定壳的内腔设置有定位机构,所述定位机构包括连接柱,所述连接柱的底部设置有自转机构,所述安装壳的前侧通过螺栓连接有控制器,所述真空电镀箱正表面的左侧通过铰链转动连接有箱门。

3、本真空镀膜装置真空电镀箱内部设置喷出机构、定位机构和自转机构,通过喷出机构便于调整喷雾头与放置物料架之间间距,能够便于对物料进行取放,通过定位机构便于调整定位转板与置物板之间间距,能够便于对不同大小物料进行定位,通过自转机构便于带动物料进行自转和公转,能够便于对物料均匀镀膜。

4、在上述的一种真空镀膜装置中,所述喷出机构包括第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆相对的一侧贯穿至安装壳的内腔,所述第一电动伸缩杆相对的一侧通过螺栓连接有连通壳,所述连通壳相对的一侧连通有电镀喷头,所述真空电镀箱的后侧通过螺栓连接有盛料箱,所述盛料箱的后侧通过螺栓连接有抽料泵,所述控制器分别与第一电动伸缩杆和抽料泵电性连接。电镀所需要使用的喷涂液可存储在盛料箱内,便于电镀过程中随时取用,便于电镀装置正常工作。

5、在上述的一种真空镀膜装置中,所述盛料箱顶部的右侧连通有加料管,加料管的顶部螺纹套设有管盖,所述抽料泵的抽料管通过管道与盛料箱连通,所述抽料泵的出料管通过管道与连通壳连通。电镀用的喷涂液可通过加料管添加入盛料箱内,在装置工作过程中,可通过管盖对加料管进行封闭,防止电镀用喷涂液从加料管中洒出。

6、在上述的一种真空镀膜装置中,所述定位机构包括电机,所述电机的底部通过螺栓与固定壳连接,所述电机的传动轴贯穿至固定壳的内腔并通过螺栓与连接柱连接,所述连接柱表面的顶部固定套设有转动板,所述转动板顶部的两侧均贯穿设置有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆的底部通过螺栓连接有下压板,所述连接柱的表面与下压板滑动连接,所述下压板的底部转动连接有定位转板,所述下压板的顶部通过螺栓连接有防护壳,所述控制器分别与电机和第二电动伸缩杆电性连接。在喷涂过程中,通过防护壳对转动板和第二电动伸缩杆进行保护,防止喷涂液附着在转动板和第二电动伸缩杆表面,便于后续第二电动伸缩杆正常使用。

7、在上述的一种真空镀膜装置中,所述自转机构包括支撑板,所述支撑板的顶部通过螺栓与连接柱连接,所述支撑板的顶部转动连接有置物板,所述置物板的底部贯穿至支撑板的内腔并通过螺栓连接有第一齿轮,所述真空电镀箱内腔的底部通过螺栓连接有固定块,所述固定块的顶部通过螺栓连接有第二齿轮,所述第二齿轮与第一齿轮啮合。在置物板和第一齿轮公转过程中,固定块和第二齿轮会带动第一齿轮进行自转,从而通过第一齿轮带动置物板进行自转,便于物料在置物板顶部进行自转。

8、在上述的一种真空镀膜装置中,所述支撑板的底部通过螺栓连接有连接杆,所述真空电镀箱内腔的底部通过螺栓连接有滑轨,所述连接杆的底部贯穿至滑轨的内腔并通过螺栓连接有滑块。在支撑板转动过程中,滑轨会对滑块进行限位导向,同时滑块的顶部通过连接杆与支撑板进行连接,能够便于支撑板稳定转动。

9、与现有技术相比,本真空镀膜装置结构设计合理,便于使物料进行公转和自转,便于对物料均匀镀膜,方便对不同大小物料定位镀膜和方便工作人员使用。

技术特征:

1.一种真空镀膜装置,包括真空电镀箱(1),其特征在于:所述真空电镀箱(1)的两侧均连通有安装壳(2),所述真空电镀箱(1)的内腔设置有喷出机构(25),所述真空电镀箱(1)的顶部连通有固定壳(8),所述固定壳(8)的内腔设置有定位机构(26),所述定位机构(26)包括连接柱(13),所述连接柱(13)的底部设置有自转机构(27),所述安装壳(2)的前侧通过螺栓连接有控制器(24),所述真空电镀箱(1)正表面的左侧通过铰链转动连接有箱门(23)。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置,其特征在于:所述喷出机构(25)包括第一电动伸缩杆(3),所述第一电动伸缩杆(3)相对的一侧贯穿至安装壳(2)的内腔,所述第一电动伸缩杆(3)相对的一侧通过螺栓连接有连通壳(4),所述连通壳(4)相对的一侧连通有电镀喷头(5),所述真空电镀箱(1)的后侧通过螺栓连接有盛料箱(6),所述盛料箱(6)的后侧通过螺栓连接有抽料泵(7),所述控制器(24)分别与第一电动伸缩杆(3)和抽料泵(7)电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜装置,其特征在于:所述盛料箱(6)顶部的右侧连通有加料管,加料管的顶部螺纹套设有管盖,所述抽料泵(7)的抽料管通过管道与盛料箱(6)连通,所述抽料泵(7)的出料管通过管道与连通壳(4)连通。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置,其特征在于:所述定位机构(26)包括电机(9),所述电机(9)的底部通过螺栓与固定壳(8)连接,所述电机(9)的传动轴贯穿至固定壳(8)的内腔并通过螺栓与连接柱(13)连接,所述连接柱(13)表面的顶部固定套设有转动板(10),所述转动板(10)顶部的两侧均贯穿设置有第二电动伸缩杆(11),所述第二电动伸缩杆(11)的底部通过螺栓连接有下压板(12),所述连接柱(13)的表面与下压板(12)滑动连接,所述下压板(12)的底部转动连接有定位转板(19),所述下压板(12)的顶部通过螺栓连接有防护壳,所述控制器(24)分别与电机(9)和第二电动伸缩杆(11)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置,其特征在于:所述自转机构(27)包括支撑板(14),所述支撑板(14)的顶部通过螺栓与连接柱(13)连接,所述支撑板(14)的顶部转动连接有置物板(15),所述置物板(15)的底部贯穿至支撑板(14)的内腔并通过螺栓连接有第一齿轮(16),所述真空电镀箱(1)内腔的底部通过螺栓连接有固定块(17),所述固定块(17)的顶部通过螺栓连接有第二齿轮(18),所述第二齿轮(18)与第一齿轮(16)啮合。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜装置,其特征在于:所述支撑板(14)的底部通过螺栓连接有连接杆(20),所述真空电镀箱(1)内腔的底部通过螺栓连接有滑轨(21),所述连接杆(20)的底部贯穿至滑轨(21)的内腔并通过螺栓连接有滑块(22)。

技术总结本技术提供了一种真空镀膜装置,属于电镀设备技术领域,它解决了现有真空镀膜装置不便于对物料表面均匀镀膜等问题。本真空镀膜装置包括真空电镀箱,真空电镀箱的两侧均连通有安装壳,真空电镀箱的内腔设置有喷出机构,真空电镀箱的顶部连通有固定壳,固定壳的内腔设置有定位机构,定位机构包括连接柱,连接柱的底部设置有自转机构,安装壳的前侧通过螺栓连接有控制器,真空电镀箱正表面的左侧通过铰链转动连接有箱门。本技术结构设计合理,便于使物料进行公转和自转,便于对物料均匀镀膜,方便对不同大小物料定位镀膜和方便工作人员使用。技术研发人员:林富旺受保护的技术使用者:玉环市钛真真空设备有限公司技术研发日:20231007技术公布日:2024/5/16

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