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电抛光装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-27 11:58:19

本申请涉及电镀,具体而言,涉及一种电抛光装置。

背景技术:

1、在对导电薄膜的铜膜进行电镀的过程中,需要使用导电辊对铜膜进行导电,在电镀时,导电辊上也会镀上铜,若导电辊上镀铜积累过多,形成在所述导电辊上的镀铜层会刺破或划伤铜膜,从而大幅降低了导电薄膜产品的良品率,因此,需要定期对导电辊表面的镀铜层进行清理,保持导电辊表面的光滑。

2、现有对导电辊的清理方式为机械打磨抛光,这种抛光方式得到的导电辊表面的光滑度有限,对导电辊的抛光耗时长、损耗大,影响导电辊的使用寿命。电抛光是在电解溶液中通过电解作用,来提高工件的表面的光洁度的一种方法。虽然电抛光相比于机械抛光光泽度更好、速度更快,但是现有的电抛光装置主要为一些小工件悬挂抛光的装置,主要通过对待电抛光的工件进行吊装,从而将悬挂吊装的工件浸入电解溶液中。但导电辊体积重量均较大,难以通过悬挂的方式对其进行电抛光,因此当前的电抛光装置无法满足对导电辊进行电抛光的需求。

技术实现思路

1、本申请的主要目的在于提供一种电抛光装置,以至少解决背景技术中提到的机械打磨抛光的方式得到的导电辊表面的光滑度有限,对导电辊的抛光耗时长、损耗大的问题。

2、根据本申请的一个方面,提供了一种电抛光装置,包括:

3、支撑架;

4、电抛光部,所述电抛光部安装于所述支撑架上,所述电抛光部设置有容置槽和阴极件,所述容置槽用于盛放电解溶液,所述阴极件位于所述容置槽内,所述容置槽至少用于容置导电辊并使所述导电辊与所述电解溶液接触。

5、进一步地,还包括:

6、转动连接组件,所述转动连接组件设置于所述容置槽沿第一方向的至少一端,所述导电辊通过所述转动连接组件连接于所述容置槽内并与所述容置槽的内壁之间具有预定间隙;

7、驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述导电辊绕自身轴线旋转。

8、进一步地,所述导电辊具有延伸出所述容置槽的第一端,所述转动连接组件包括:

9、轴承座,所述轴承座设置于所述容置槽沿所述第一方向的一端;

10、轴承,所述第一端通过所述轴承安装于所述轴承座上并延伸出所述轴承座与所述驱动机构连接。

11、进一步地,所述导电辊具有延伸出所述容置槽的第一端,所述驱动机构包括:

12、电机,所述电机安装于所述支撑架上,所述电机包括输出轴;

13、传动连接组件,所述传动连接组件连接于所述输出轴和所述第一端之间。

14、进一步地,所述传动连接组件包括:

15、同步带;

16、带轮,所述带轮包括两个,其中一个所述带轮设置于所述第一端,另一所述带轮设置于所述输出轴上,所述同步带套设于所述带轮上。

17、进一步地,所述电抛光部还设置有进出液口,所述进出液口包括多个,多个所述进出液口设置于所述容置槽的不同位置并与所述容置槽连通。

18、进一步地,还包括:

19、储液箱,至少一个所述进出液口通过连接管道与所述储液箱连通,所述储液箱用于存储所述容置槽中的所述电解溶液。

20、进一步地,还包括:

21、射流喷嘴,所述射流喷嘴设置于所述容置槽内。

22、进一步地,所述容置槽的槽底为弧形槽,且所述弧形槽的圆心位于所述导电辊上。

23、进一步地,所述电抛光部还包括:

24、防护罩,所述防护罩扣盖于所述容置槽上。

25、相对于现有技术而言,本申请的技术方案至少具备如下技术效果:

26、本申请提供的电抛光装置,可将导电辊放置于电抛光部的容置槽内以与容置槽中盛放的电解溶液接触,然后将阴极件与电源负极连接,导电辊作为阳极与电源的正极连接后即可实现对导电辊进行电抛光,从而在电解溶液作用下溶解掉导电辊表面的金属膜层。抛光后的导电辊在微观下观测到的表面更加光滑,避免导电辊对导电薄膜造成损伤。电抛光速度快,节省了导电辊清洁抛光的时间,提高生产效率。并且,电抛光后导电辊的损失在3μm左右,对导电辊的损伤小,延长了导电辊的使用寿命。

技术特征:

1.一种电抛光装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的电抛光装置,其特征在于,还包括:

3.根据权利要求2所述的电抛光装置,其特征在于,所述导电辊(30)具有延伸出所述容置槽(21)的第一端(31),所述转动连接组件(40)包括:

4.根据权利要求2所述的电抛光装置,其特征在于,所述导电辊(30)具有延伸出所述容置槽(21)的第一端(31),所述驱动机构(50)包括:

5.根据权利要求4所述的电抛光装置,其特征在于,所述传动连接组件包括:

6.根据权利要求1所述的电抛光装置,其特征在于,所述电抛光部(20)还设置有进出液口,所述进出液口包括多个,多个所述进出液口设置于所述容置槽(21)的不同位置并与所述容置槽(21)连通。

7.根据权利要求6所述的电抛光装置,其特征在于,还包括:

8.根据权利要求6所述的电抛光装置,其特征在于,还包括:

9.根据权利要求1至8任一所述的电抛光装置,其特征在于,所述容置槽(21)的槽底为弧形槽(211),且所述弧形槽(211)的圆心位于所述导电辊(30)上。

10.根据权利要求1至8任一所述的电抛光装置,其特征在于,所述电抛光部(20)还包括:

技术总结本技术公开了一种电抛光装置,该电抛光装置包括支撑架以及电抛光部,电抛光部安装于支撑架上,电抛光部设置有容置槽和阴极件,容置槽用于盛放电解溶液,阴极件位于容置槽内,容置槽至少用于容置导电辊并使导电辊与电解溶液接触。本技术解决了机械打磨抛光的方式得到的导电辊表面的光滑度有限,对导电辊的抛光耗时长、损耗大的问题。技术研发人员:臧世伟受保护的技术使用者:深圳金美新材料科技有限公司技术研发日:20231116技术公布日:2024/7/9

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