一种MEMS柔性引线键合设备的制作方法

本实用新型涉及mems键合设备技术领域，特别是涉及一种mems柔性引线键合设备。

背景技术：

针对当前mems产业化小化量、多品种的特点，以高性能、高适应性、易操作为目标，现有技术中有小型多功能mems柔性引线引线键合机，该设备具有单点焊、深腔焊、植球、线弧控制等多项功能，并可适应pcb板、双列直插管壳、dip、cob等多种封装结构的引线操作，适合科研院所、高校等研究机构以及从事mems传感器产品研发的专业公司在产品研发、打样、定型及小批量制作等过程中使用。

现有技术中小型mems柔性引线引线键合机的操作部分一般都是裸露在外的，操作人员需通过附近搭配的显微视觉系统在显示屏上对其进行操作，在研发和教学等过程中容易产生对键合机的操作部分的造成误触和干扰，人为产生的杂质也容易对键合的质量造成影响。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种mems柔性引线键合设备。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种mems柔性引线键合设备，其安装有可拆卸的防护罩，不影响通风散热的同时，便于对键合操作设备进行详细的观察，在研发和教学等过程中不容易产生对键合机的操作部分造成误触和干扰。

为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：

一种mems柔性引线键合设备，包括主外壳，所述主外壳上连接有键合操作设备，其特征在于，所述主外壳上固定连接有一对限位柱，一对所述限位柱上均转动连接有连接板，一对所述连接板之间固定连接有透明防护罩，所述透明防护罩与键合操作设备和主外壳均匹配，所述透明防护罩远离键合操作设备的一侧壁上开凿移动槽，所述移动槽内滑动连接有凸透镜，所述移动槽包括第一滑槽和第二滑槽，且第一滑槽与第二滑槽交叉分布。

作为本实用新型的进一步改进，所述透明防护罩为亚克力玻璃材料，所述凸透镜为树脂材料。

作为本实用新型的进一步改进，所述连接板上开凿有通孔，且限位柱位于通孔内。

作为本实用新型的进一步改进，所述主外壳上开凿有与透明防护罩的下端相匹配的限位槽，透明防护罩的下端铺设有与限位槽相匹配的防护垫。

作为本实用新型的进一步改进，所述透明防护罩和凸透镜的表面均涂有疏油层。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一滑槽与第二滑槽为垂直分布。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一滑槽和第二滑槽的内壁上均设有抛光层。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中的一种mems柔性引线键合设备，其安装有可拆卸的防护罩，不影响通风散热的同时，便于对键合操作设备进行详细的观察，在研发和教学等过程中不容易产生对键合机的操作部分造成误触和干扰。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一具体实施例中一种mems柔性引线键合设备的透明防护罩开启结构示意图；

图2为本实用新型一具体实施例中一种mems柔性引线键合设备的部分分解示意图；

图3为本实用新型一具体实施例中一种mems柔性引线键合设备的透明防护罩闭合结构示意图；

图4为本实用新型一具体实施例中一种mems柔性引线键合设备的透明防护罩闭合剖面图。

图中：1.主外壳、2.键合操作设备、3.限位柱、4.连接板、5.透明防护罩、6.第一滑槽、7.第二滑槽、8.凸透镜、9.限位槽、10.防护垫、11.通孔。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的各个图示中，为了便于图示，结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分扩大，因此，仅用于图示本实用新型的主题的基本结构。

本文使用的例如“左”、“右”、“左侧”、“右侧”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的设备翻转，则被描述为位于其他单元或特征“右侧”的单元将位于其他单元或特征“左侧”。因此，示例性术语“右侧”可以囊括左侧和右侧这两种方位。设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向)，并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。

参图1～图4所示，本实用新型的一具体实施例中，一种mems柔性引线键合设备，包括主外壳1，主外壳1上连接有键合操作设备2，键合操作设备2用于实现柔性引线键合，主外壳1上固定连接有一对限位柱3，一对限位柱3上均转动连接有连接板4，一对连接板4之间固定连接有透明防护罩5，透明防护罩5与键合操作设备2和主外壳1均匹配，透明防护罩5远离键合操作设备2的一侧壁上开凿移动槽，移动槽内滑动连接有凸透镜8，移动槽包括第一滑槽6和第二滑槽7，且第一滑槽6与第二滑槽7交叉分布。

其中，移动槽用于对凸透镜8的限位，可使凸透镜8可在第一滑槽6和第二滑槽7内移动。

进一步地，透明防护罩5为亚克力玻璃材料，凸透镜8为树脂材料，均具有较好的透光性，不影响教学或研究过程中对键合操作设备2的观察。

进一步地，连接板4上开凿有通孔11，且限位柱3位于通孔11内。

具体地，连接板4和透明防护罩5为一体化结构，具有一定的弹性，通过通孔11和限位柱3的配合可将连接板4卡接在主外壳1上，同时便于拆卸和更换，使用方便

进一步地，主外壳1上开凿有与透明防护罩5的下端相匹配的限位槽9，透明防护罩5的下端铺设有与限位槽9相匹配的防护垫10，可增强透明防护罩5与主外壳1之间的贴合程度。

进一步地，透明防护罩5和凸透镜8的表面均涂有疏油层，用手拨动透明防护罩5和凸透镜8时不易粘附指纹和油污，易于清洁。

进一步地，第一滑槽6与第二滑槽7为垂直分布，设置合理，通过移动凸透镜8可观察到键合操作设备2的主要位置。

进一步地，第一滑槽6和第二滑槽7的内壁上均设有抛光层，可大幅减少凸透镜8在第一滑槽6和第二滑槽7内滑动的阻力。

具体地，凸透镜8靠近透明防护罩5一端的中心位置固定连接有限位块，且限位块位于移动槽内，即可实现对凸透镜8的限位，使凸透镜8不会脱落。

使用时，参图3和图4所示，凸透镜8在重力的作用下位于透明防护罩5的下部，可降低透明防护罩5的重心，对透明防护罩5有更好的稳定作用，透明防护罩5与主外壳1和键合操作设备2之间均有间隙，不易影响散热和通风，当需要对键合操作设备2的局部进行放大观察时，可用手移动凸透镜8至恰当的位置，对键合操作设备2的局部进行放大，凸透镜8有第一滑槽6和第二滑槽7两条路径，便于实现对键合操作设备2的多角度观察，同事透明防护罩5对键合操作设备2具有很好的额防护作用；

参图1所示，需要对键合操作设备2进行调整时，可将透明防护罩5掀起，键合操作设备2即可全部露出，便于操作，透明防护罩5和连接板4的整体可拆卸，也可根据需要将透明防护罩5和连接板4进行拆卸或者更换。

由以上技术方案可以看出，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型中的一种mems柔性引线键合设备，其安装有可拆卸的防护罩，不影响通风散热的同时，便于对键合操作设备进行详细的观察，在研发和教学等过程中不容易产生对键合机的操作部分造成误触和干扰。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。