带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法与流程

本发明属于集成电路制造技术领域，特别是涉及一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法。

背景技术：

带有铁磁芯的螺线电感有旭东用途，譬如，磁通门传感器、微型变压器等等。目前，带有铁磁芯的螺线电感主要是通过漆包线在铁磁芯上绕制而成，而这种螺线电感的电感值一致性较差。

随着技术的发展，目前也有基于mems技术来制备螺线电感，目前基于mems技术制备的螺线电感一般是采用电镀或倒装焊的方式来实现，但这种工艺比较复杂，不适合批量生产。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法用于解决现有技术中的螺线电感存在的电感值一致性较差的问题，以及制备工艺比较复杂，不适合批量生产的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：

1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；

2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；

3)提供第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于所述第一基底与所述第二基底之间的凹槽形成容纳孔；所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；

4)于所述第一基底及所述第二基底内形成螺旋槽孔，所述螺旋槽孔位于所述容纳孔外围，且与所述容纳孔之间具有间距，所述螺旋槽孔自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；

5)于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；

6)提供铁磁芯，将所述铁磁芯插入至所述容纳孔内。

可选地，步骤2)中，于所述第一基底的第一表面形成所述凹槽的同时，还于所述第一基底的第一表面形成若干个定位盲孔，若干个所述定位盲孔定义出步骤4)中形成的所述螺旋槽孔的长度及宽度。

可选地，步骤3)中，所述第二基底与所述第一基底键合后，所述容纳孔至所述第一基底第二表面的距离与所述容纳孔至所述第二基底第二表面的距离相同。

可选地，步骤3)中提供的所述第二基底的第一表面形成有凹槽。

可选地，步骤4)包括如下步骤：

4-1)于所述第二基底内形成若干个沿所述容纳孔长度方向平行间隔排布的第一槽孔，所述第一槽孔包括第一沟槽及与所述第一沟槽相连通的第一通孔；其中，所述第一沟槽位于所述第二基底第二表面且沿所述容纳孔宽度方向横跨所述容纳孔；所述第一通孔位于所述容纳孔两侧，与所述第一沟槽两端相连通且自所述第一沟槽延伸至所述第二基底第一表面；

4-2)于所述第一基底内形成若干个沿所述容纳孔长度方向平行间隔排布的第二槽孔，所述第二槽孔包括第二沟槽及与所述第二沟槽相连通的第二通孔；其中，所述第二沟槽位于所述第一基底第二表面且沿所述容纳孔宽度方向横跨所述容纳孔；所述第二通孔位于所述容纳孔两侧，与所述第二沟槽两端相连通且自所述第二沟槽延伸至所述第一基底第一表面；

所述第二通孔与所述第一通孔一一对应连通，若干个所述第一槽孔与若干个所述第二槽孔共同构成所述螺旋槽孔。

可选地，步骤4-1)中，于所述第二基底内形成所述第一槽孔的同时，于所述第二基底的第二表面形成第一电极孔、第二电极孔及第一电极连线沟槽，所述第一电极孔经由所述第一电极连线沟槽与所述螺旋槽孔的一端相连通；步骤4-2)中，于所述第一基底内形成所述第二槽孔的同时，于所述第一基底的第二表面形成第三电极孔、第四电极孔及第二电极连线沟槽，所述第四电极孔经由所述第二电极连线沟槽与所述螺旋槽孔的另一端相连通；所述第三电极孔与所述第一电极孔相连通，所述第四电极孔与所述第二电极孔相连通；步骤5)中，形成所述螺旋线圈的同时于所述第一电极孔内形成第一电极、于所述第二电极孔内形成第二电极、于所述第三电极孔内形成第三电极、于所述第四电极孔内形成第四电极、于所第一电极连线沟槽内形成第一电极连线并于所述第二电极连线沟槽内形成第二电极连线。

可选地，步骤3)与步骤4)之间还包括于所述第一基底的第二表面及所述第二基底的第二表面形成氧化层的步骤。

可选地，步骤1)与步骤2)之间还包括于所述第一基底的第二表面形成氧化层的步骤；步骤3)与步骤4)之间还包括于所述第二基底的第二表面形成氧化层的步骤。

可选地，步骤4)与步骤5)之间还包括于所述螺旋槽孔侧壁形成隔离氧化层的步骤。

可选地，步骤5)中，采用微型铸造工艺于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈。

可选地，步骤5)包括如下步骤：

5-1)提供第一盖板及第二盖板，并将所述第一盖板及所述第二盖板分别贴置于所述第一基底的第二表面及所述第二基底的第二表面；所述第一盖板内形成有与所述螺旋槽孔相连通的灌装通孔；

5-2)将热熔化的合金经由所述灌装通孔压入所述螺旋槽孔内，所述热熔化的合金填满所述螺旋槽孔；

5-3)将所述热熔化的合金固化以形成所述螺旋线圈；

5-4)去除所述第一盖板及所述第二盖板。

本发明还提供一种带有铁磁芯的螺线电感，所述带有铁磁芯的螺线电感包括：

第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；

第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；所述第二基底键合于所述第一基底的第一表面，所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；所述第一基底与所述第二基底之间形成有容纳孔；

螺旋线圈，位于所述第一基底及所述第二基底内，且位于所述容纳孔的外围，与所述容纳孔之间具有间距；所述螺旋线圈自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；

铁磁芯，插入至所述容纳孔内。

可选地，所述第二基底的厚度小于所述第一基底的厚度，所述容纳孔至所述第一基底第二表面的距离与所述容纳孔至所述第二基底第二表面的距离相同。

可选地，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括氧化层及隔离氧化层，所述氧化层位于所述第一基底的第二表面及所述第二基底的第二表面，所述隔离氧化层位于所述螺旋线圈与所述第一基底及所述第二基底之间。

可选地，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括：

第一电极，位于所述第二基底的第二表面；

第二电极，位于所述第二基底的第二表面；

第三电极，位于所述第一基底的第二表面，且与所述第一电极相连接；

第四电极，位于所述第一基底的第二表面，且与所述第二电极相连接；

第一电极连线，位于所述第二基底的第二表面，一端与所述第一电极相连接，另一端与所述螺旋线圈的一端相连接；

第二电极连线，位于所述第一基底的第二表面，一端与所述第四电极相连接，另一端与所述螺旋线圈的另一端相连接。

如上所述，本发明的一种带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法，具有以下有益效果：

本发明制备的带有铁磁芯的螺线电感的电感值具有较好的一致性，本发明带有铁磁芯的螺线电感的制备方法比较简单，适于批量化生产。

附图说明

图1显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法的流程图。

图2显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤1)所得结构的端面视图。

图3显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤1)所得结构的侧视图。

图4显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤2)所得结构的端面视图。

图5显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤2)所得结构的侧视图。

图6及图8显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤3)所得结构的端面视图。

图7及图9显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤3)所得结构的侧视图。

图10、图12及图14显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤4)所得结构的端面视图。

图11、图13及图15显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤4)所得结构的侧视图。

图16及图17显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤5)对应结构的爆炸结构示意图。

图18显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤5)所得结构的端面视图。

图19显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤5)所得结构的侧视图。

图20显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤6)对应结构的爆炸结构示意图。

图21显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤6)所得结构的端面视图。

图22显示为本发明实施例一中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤6)所得结构的侧视图。

图23显示为本发明实施例三中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤1)所得结构的端面视图。

图24显示为本发明实施例三中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤1)所得结构的侧视图。

图25显示为本发明实施例三中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤2)所得结构的端面视图。

图26显示为本发明实施例三中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤2)所得结构的侧视图。

图27显示为本发明实施例四中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤3)所得结构的端面视图。

图28显示为本发明实施例四中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤3)所得结构的侧视图。

图29显示为本发明实施例六中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤3)所得结构的端面视图。

图30显示为本发明实施例六中提供的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法步骤3)所得结构的侧视图。

元件标号说明

10第一基底

11凹槽

111容纳孔

12第二基底

13螺旋槽孔

131第一槽孔

1311第一沟槽

1312第一通孔

132第二槽孔

1321第二沟槽

1322第二通孔

14螺旋线圈

15铁磁芯

16盲孔

17第一电极孔

171第一电极

18第二电极孔

181第二电极

19第三电极孔

191第三电极

20第四电极孔

201第四电极

21第一电极连线沟槽

211第一电极连线

22氧化层

23隔离氧化层

24第一盖板

241灌装通孔

25第二盖板

s1～s6步骤

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图26。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，虽图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

实施例一

请参阅图1，本发明提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：

1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；

2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；

3)提供第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于所述第一基底与所述第二基底之间的所述凹槽形成容纳孔；所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；

4)于所述第一基底及所述第二基底内形成螺旋槽孔，所述螺旋槽孔位于所述容纳孔外围，且与所述容纳孔之间具有间距，所述螺旋槽孔自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；

5)于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；

6)提供铁磁芯，将所述铁磁芯插入至所述容纳孔内。

在步骤1)中，请参阅图1中的s1步骤及图2至图3，提供第一基底10，所述第一基底10包括相对的第一表面及第二表面。

作为示例，所述第一基底10可以为硅片(普通硅片或高阻硅片)、玻璃片或陶瓷片等等；优选地，本实施例中，所述第一基底10为硅片。

在步骤2)中，请参阅图1中的s2步骤及图4至图5，于所述第一基底10的第一表面形成凹槽11。

作为示例，可以采用光刻刻蚀工艺于所述第一基底10的第一表面形成所述凹槽11。

作为示例，于所述第一基底10的第一表面形成所述凹槽11的同时，还于所述第一基底10的第一表面形成若干个定位盲孔16，若干个所述定位盲孔16定义出步骤4)中形成的所述螺旋槽孔的长度及宽度。

需要说明的是，本发明中，可以在所述第一基底10内同时加工多个所述带有铁磁芯的螺线电感，加工完成后划片分开插入铁磁芯即可，此时，可以在所述第一基底10内同时加工多个所述凹槽11，图4至图5仅示意出一个所述凹槽11，该方案中，在制作所述螺旋线圈之后，插入所述铁磁芯之间需要完成划片，划片后，所述凹槽11的一端需要裸露在外，以便于所述铁磁芯经由所述凹槽11的一端插入至所述凹槽11内。当然，也可以在所述第一基底10一次仅加工一个所述凹槽11，此时，可以为所述凹槽11的一端直接裸露在外，也可以在加工厚通过切片使得所述凹槽11的一端裸露在外，以便于所述铁磁芯可以从所述凹槽11的一端插入至所述凹槽11内。

在步骤3)中，请参阅图1中的s3步骤及图6至图7，提供第二基底12，所述第二基底12包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底12与所述第一基底10键合在一起，以使得位于所述第一基底10与所述第二基底12之间的所述凹槽11形成容纳孔111；所述第二基底12的第一表面与所述第一基底10的第一表面为键合面。

作为示例，所述第二基底12的第一表面为平面，所述第二基底12与所述第一基底10键合后，位于所述第一基底10表面的所述凹槽11形成所述容纳孔111。

作为示例，所述第二基底12的厚度小于所述第一基底10的厚度，以确保所述第二基底12与所述第一基底10键合后，所述容纳孔111至所述第一基底10第二表面的距离与所述容纳孔111至所述第二基底12第二表面的距离相同，即所述容纳孔111位于所述第一基底10与所述第二基底12键合后的键合结构的正中间。在一示例中，所述第一基底10的厚度可以为425微米，所述第二基底12的厚度可以为300微米；但在实际示例中并不以此为限。

作为示例，所述第二基底12可以为硅片(普通硅片或高阻硅片)、玻璃片或陶瓷片等等；优选地，本实施例中，所述第二基底12为硅片。

所述第二基底12与所述第一基底10键合的具体方法为本领域技术人员所知晓，此处不再累述。

作为示例，如图8及图9所示，步骤3)之后还包括于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面形成氧化层22的步骤。所述氧化层22可以作为后续刻蚀所述第一基底10及刻蚀所述第二基底12的刻蚀阻挡层。

在步骤4)中，请参阅图1中的s4步骤及图10至图15，于所述第一基底10及所述第二基底12内形成螺旋槽孔13，所述螺旋槽孔13位于所述容纳孔111外围，且与所述容纳孔111之间具有间距，所述螺旋槽孔13自所述容纳孔111一端延伸至所述容纳孔111另一端。

作为示例，步骤4)包括如下步骤：

4-1)于所述第二基底12内形成若干个沿所述容纳孔111长度方向平行间隔排布的第一槽孔131，所述第一槽孔131包括第一沟槽1311及与所述第一沟槽1311相连通的第一通孔1312；其中，所述第一沟槽1311位于所述第二基底12第二表面且沿所述容纳孔111宽度方向横跨所述容纳孔111；所述第一通孔1312位于所述容纳孔111两侧，与所述第一沟槽1311两端相连通且自所述第一沟槽1311延伸至所述第二基底12第一表面，如图10及图11所示；

4-2)于所述第一基底10内形成若干个沿所述容纳孔111长度方向平行间隔排布的第二槽孔132，所述第二槽孔132包括第二沟槽1321及与所述第二沟槽1321相连通的第二通孔1322；其中，所述第二沟槽1321位于所述第一基底10第二表面且沿所述容纳孔111宽度方向横跨所述容纳孔111；所述第二通孔1322位于所述容纳孔111两侧，与所述第二沟槽1321两端相连通且自所述第二沟槽1321延伸至所述第一基底10第一表面，如图12及图13所示；

所述第二通孔1322与所述第一通孔1312一一对应连通，若干个所述第一槽孔131与若干个所述第二槽孔132共同构成所述螺旋槽孔13。

作为示例，请结合图16，步骤4-1)中，于所述第二基底12内形成所述第一槽孔131的同时，于所述第二基底12的第二表面形成第一电极孔17、第二电极孔18及第一电极连线沟槽21，所述第一电极孔17经由所述第一电极连线沟槽21与所述螺旋槽孔13的一端相连通；步骤4-2)中，于所述第一基底10内形成所述第二槽孔132的同时，于所述第一基底10的第二表面形成第三电极孔19、第四电极孔20及第二电极连线沟槽(未示出)，所述第四电极孔20经由所述第二电极连线沟槽与所述螺旋槽孔13的另一端相连通；所述第三电极孔19与所述第一电极孔17相连通，所述第四电极孔20与所述第二电极孔18相连通。需要说明的是，图16中的箭头a的方向即为所得结构端面视图的方向，箭头b的方向即为所得结构侧视图的方向。

作为示例，如图14至图15所示，步骤4)之后还包括于所述螺旋槽孔13侧壁形成隔离氧化层23的步骤。具体的，所述第一基底10及所述第二基底12均为硅片时，可以采用但不仅限于热氧化工艺形成所述隔离氧化层23。

在步骤5)中，请参阅图1中的s5步骤及图16至图19，于所述螺旋槽孔13内填充形成螺旋线圈14。

作为示例，可以采用微型铸造工艺于所述螺旋槽孔13内填充形成螺旋线圈14。

具体的，步骤5)包括如下步骤：

5-1)提供第一盖板24及第二盖板25，并将所述第一盖板24及所述第二盖板25分别贴置于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面；所述第一盖板24内形成有与所述螺旋槽孔13相连通的灌装通孔241，对应结构的爆炸图如图16所示；

5-2)将热熔化的合金经由所述灌装通孔241压入所述螺旋槽孔13内，所述热熔化的合金填满所述螺旋槽孔13；具体的，所述灌装通孔241与所述第一电极孔17相对应，热熔化的合金经由所述灌装通孔241依次流经所述第一电极孔17、所述第一电极连线沟槽21、从所述螺旋槽孔13的一端至另一端、所述第二电极连线沟槽及所述第四电极孔20，以填满所述螺旋槽孔13；

5-3)将所述热熔化的合金固化以形成所述螺旋线圈14，如图17所示，形成的所述螺旋线圈14的上表面可以高于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面；

5-4)去除所述第一盖板24及所述第二盖板25。

作为示例，步骤5)中，形成所述螺旋线圈14的同时于所述第一电极孔17内形成第一电极171、于所述第二电极孔18内形成第二电极181、于所述第三电极孔19内形成第三电极191、于所述第四电极孔20内形成第四电极201、于所第一电极连线沟槽21内形成第一电极连线211并于所述第二电极连线沟槽内形成第二电极连线(未示出)。

在步骤6)中，请参阅图1中的s6步骤及图20至图22，提供铁磁芯15，将所述铁磁芯15插入至所述容纳孔111内。

需要说明的是，如前所述，如所述容纳孔111形成于所述第一基底10内，需要先进行切片以裸露出所述容纳孔111的一端，该步骤中，将所述铁磁芯15经由所述容纳孔111裸露的一端插入至所述容纳孔111内。

实施例二

请结合图2至图19继续参阅图20至图22，本发明还提供一种带有铁磁芯的螺线电感，所述带有铁磁芯的螺线电感包括：

第一基底10，所述第一基底10包括相对的第一表面及第二表面；

第二基底12，所述第二基底12包括相对的第一表面及第二表面；所述第二基底12键合于所述第一基底10的第一表面，所述第二基底12的第一表面与所述第一基底10的第一表面为键合面；所述第一基底10与所述第二基底12之间形成有容纳孔111；

螺旋线圈14，所述螺旋线圈14位于所述第一基底10及所述第二基底12内，且位于所述容纳孔111的外围，与所述容纳孔111之间具有间距；所述螺旋线圈14自所述容纳孔111一端延伸至所述容纳孔111另一端；

铁磁芯15，插入至所述容纳孔111内。

作为示例，所述第一基底10可以为硅片(普通硅片或高阻硅片)、玻璃片或陶瓷片等等；优选地，本实施例中，所述第一基底10为硅片。

作为示例，所述第二基底12可以为硅片(普通硅片或高阻硅片)、玻璃片或陶瓷片等等；优选地，本实施例中，所述第二基底12为硅片。

作为示例，所述第一基底10的第一表面形成有凹槽11，所述第二基底12的第一表面为平面，所述第二基底12与所述第一基底10键合在一起后，位于所述第一基底10第一表面的所述凹槽11形成所述容纳孔111。

作为示例，所述第二基底12的厚度小于所述第一基底10的厚度，以确保所述第二基底12与所述第一基底10键合后，所述容纳孔111至所述第一基底10第二表面的距离与所述容纳孔111至所述第二基底12第二表面的距离相同，即所述容纳孔111位于所述第一基底10与所述第二基底12键合后的键合结构的正中间。在一示例中，所述第一基底10的厚度可以为425微米，所述第二基底12的厚度可以为300微米；但在实际示例中并不以此为限。

作为示例，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括氧化层22，所述氧化层22位于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面。所述氧化层22可以为但不仅限氧化硅层。

作为示例，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括隔离氧化层23，所述隔离氧化层23位于所述螺旋线圈14与所述第一基底10及所述第二基底12之间。所述隔离氧化层23可以为但不仅限于氧化硅层。

作为示例，所述带有铁磁芯的螺线电感还包括：第一电极171，所述第一电极171位于所述第二基底12的第二表面；第二电极181，所述第二电极181位于所述第二基底12的第二表面；第三电极191，所述第三电极191位于所述第一基底10的第二表面，且与所述第一电极171相连接；第四电极201，所述第四电极201位于所述第一基底10的第二表面，且与所述第二电极181相连接；第一电极连线21，所述第一电极连线21位于所述第二基底12的第二表面，一端与所述第一电极171相连接，另一端与所述螺旋线圈14的一端相连接；第二电极连线(未示出)，所述第二电极连线位于所述第一基底10的第二表面，一端与所述第四电极201相连接，另一端与所述螺旋线圈14的另一端相连接。

实施例三

请结合图1至图22参阅图23至图26，本实施例还提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，本实施例中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法与实施例一中所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法大致相同，二者的区别在于：实施例一中，所述第二基底12与所述第一基底10键合之后于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面形成所述氧化层22，而本实施例中，在所述第二基底12与所述第一基底10键合之前分别于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面形成所述氧化层22。

本实施中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法的其他步骤与实施例一中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法对应的步骤相同，具体请参阅实施例一，此处不再累述。

实施例四

请结合图1至图22参阅图27至图28，本实施例还提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，本实施例中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法与实施例一中所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法大致相同，二者的区别在于：实施例一中，所述第二基底12的第一表面为平面，所述第二基底12与所述第一基底10键合之后，位于所述第一基底10第一表面的所述凹槽11形成所述容纳孔111，所述第二基底12的厚度小于所述第一基底10的厚度；而本申请中，所述第一基底10的第一表面及所述第二基底12的第一表面均形成有所述凹槽11，所述第二基底12与所述第一基底10键合后，位于所述第一基底10第一表面的所述凹槽11与位于所述第二基底12第一表面的所述凹槽11共同构成所述容纳孔111，所述第二基底12的厚度与所述第一基底10的厚度相同。

本实施中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法的其他步骤与实施例一中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法对应的步骤相同，具体请参阅实施例一，此处不再累述。

实施例五

请结合图2至图22参阅图27至图28，本实施例还提供一种带有铁磁芯的螺线电感，本实施例中所述带有铁磁芯的螺线电感与实施例二中所述的带有铁磁芯的螺线电感大致相同，二者的区别在于：实施例二中，所述第二基底12的第一表面为平面，所述第二基底12与所述第一基底10键合之后，位于所述第一基底10第一表面的所述凹槽11形成所述容纳孔111，所述第二基底12的厚度小于所述第一基底10的厚度；而本申请中，所述第一基底10的第一表面及所述第二基底12的第一表面均形成有所述凹槽11，所述第二基底12与所述第一基底10键合后，位于所述第一基底10第一表面的所述凹槽11与位于所述第二基底12第一表面的所述凹槽11共同构成所述容纳孔111，所述第二基底12的厚度与所述第一基底10的厚度相同。

本实施中所述带有铁磁芯的螺线电感的其他结构与实施例二中所述带有铁磁芯的螺线电感的其他结构相同，具体请参阅实施例二，此处不再累述。

实施例六

请结合图1至图22及图27至图28参阅图29至图30，本实施例还提供一种带有铁磁芯的螺线电感的制备方法，本实施例中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法与实施例四中所述的带有铁磁芯的螺线电感的制备方法大致相同，二者的区别在于：实施例四中，所述第二基底12与所述第一基底10键合之后于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面形成所述氧化层22；而本实施例中，在所述第二基底12与所述第一基底10键合之前分别于所述第一基底10的第二表面及所述第二基底12的第二表面形成所述氧化层22。

本实施中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法的其他步骤与实施例四中所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法对应的步骤相同，具体请参阅实施例四，此处不再累述。

综上所述，本发明带有铁磁芯的螺线电感及其制备方法，所述带有铁磁芯的螺线电感的制备方法包括如下步骤：1)提供第一基底，所述第一基底包括相对的第一表面及第二表面；2)于所述第一基底的第一表面形成凹槽；3)提供第二基底，所述第二基底包括相对的第一表面及第二表面；将所述第二基底与所述第一基底键合在一起，以使得位于第一基底与第二基底之间的凹槽形成容纳孔；所述第二基底的第一表面与所述第一基底的第一表面为键合面；4)于所述第一基底及所述第二基底内形成螺旋槽孔，所述螺旋槽孔位于所述容纳孔外围，且与所述容纳孔之间具有间距，所述螺旋槽孔自所述容纳孔一端延伸至所述容纳孔另一端；5)于所述螺旋槽孔内填充形成螺旋线圈；6)提供铁磁芯，将所述铁磁芯插入至所述容纳孔内。本发明制备的带有铁磁芯的螺线电感的电感值具有较好的一致性，本发明带有铁磁芯的螺线电感的制备方法比较简单，适于批量化生产。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。