封装用的引线定位装置的制作方法

本发明涉及封装技术领域，特别是涉及一种封装用的引线定位装置。

背景技术：

mems传感器封装引线占据器件制造50～80％的成本和工序。可靠地封装引线不仅能有效地保护mems器件，也为mems传感器实现生产应用提供后端可靠的技术支持。mems传感器以微纳加工工艺为主体完成微型敏感元件的制作，mems器件的小尺寸特点利于嵌入式安装，响应速率较快能够快速的感知环境变化。

mems具有集成电路系统的许多优点，同时又集中了多种学科发展尖端成果。mems工艺制备的各式产品是微米至毫米级的具有体积小、重量轻、能耗低、惯性小、谐振频率高和响应时间短的特点的器件。封装的根本目的是以最小的尺寸和重量、最低的成本和简单的结构服务于特定功能环境的一组元器件。mems器件封装主要是为确保系统在相应的应用场景中能更好的发挥作用，总之，mems封装功能包括：

1.机械支撑：由于mems加工工艺的特殊性，器件为易损元件，因此需要特定的机械结构设计保护器件在安装、工作、存储和运输过程中避免热火机械冲击、振动、高速运动和灰尘等影响。

2.环境隔离：主要分为机械隔离和电磁隔离。将mems元器件装入封装外壳内保护器件不受外部器械损坏。通过封装填充处理，减少在工业应用场景中电池干扰的影响，保证采集信号的准确性。

3.提供与外界系统或媒介连接的端口：将mems器件的信号转接引出，方便数据采集和信号处理。

通过焊线转接的方式将mems器件上的信号延长至下一级信号接收处或转接点完成引线封装。引线的牢固性决定了器件的可靠性和信号稳定性，是mems器件封装工艺中至关重要的步骤。由于mems器件普遍较小，且器件敏感易碎，手动操作的引线定位可能降低引线成品率并限制引线效率。因此急需一款简化引线定位操作的实验装置。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种封装用的引线定位装置，用于解决现有技术中引线和mems传感器封装不方便的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种封装用的引线定位装置，包括：

支撑台，

引线固定机构，所述引线固定机构安装在所述支撑台上，所述引线固定机构包括引线牵引组、引线切断组和引线固定组，所述引线牵引组用于将引线牵引并经过引线切断组，然后引线的末端固定到所述引线固定组上；

mems传感器固定机构，所述mems传感器固定机构包括旋转平台和真空泵，所述旋转平台上设有若干通孔，所述真空泵用于在所述通孔位置产生负压，所述通孔位置用于吸附mems传感器，所述引线固定组安装在所述旋转平台上，所述通孔位置和所述引线固定组位置一一对应，且所述通孔位置位于所述引线固定组的内侧。

可选的，所述引线牵引组至少包括一对输送辊和第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述输送辊转动。

可选的，所述引线切断组包括切刀和第二驱动件，所述第二驱动件驱动所述切刀切断所述引线。

可选的，所述引线固定机构固定安装在一个立臂上，或者所述引线固定机构转动安装在所述立臂上。

可选的，所述引线固定组通过弹性锁定结构、螺栓锁定结构或者卡扣锁定结构对引线进行夹持。

可选的，所述旋转平台通过底座和立轴配合转动安装在所述支撑台上，所述立轴为空心轴，所述真空泵的通气管道轴向穿过所述空心轴。

可选的，所述真空泵通过多个支管分别和所述通孔连通；

或者，所述旋转平台为中空封闭结构，所述通孔和所述旋转平台内部连通，所述真空泵通过通气管道和所述旋转平台的内部连通。

可选的，所述立轴上设有限位组，所述立轴和所述限位组配合形成单向转动结构。

可选的，所述限位组为棘轮棘爪机构；

或者所述限位组为单向轴承。

可选的，所述立轴的转动通过手动驱动；

或者，所述立轴的转动通过第三驱动件驱动，所述第三驱动件直接驱动所述立轴或者所述第三驱动件通过传动组传动后驱动所述立轴转动。

如上所述，本发明的封装用的引线定位装置，至少具有以下有益效果：

通过多引线的自动牵引、切断和固定，能够让传感器在封装时更加的方便，通过负压的方式实现对mems传感器的固定，其不会对mems传感器造成损伤，同时由于mems传感器比较小，其也方便对mems传感器的夹持，且夹持可靠，通过旋转平台的设置，使得能够实现对多个mems传感器在同一个位置和引线进行封装作业，此装置用在实验的小批量封装操作时，其具有结构简单操作方便的特点。

附图说明

图1显示为本发明的封装用的引线定位装置的俯向示意图。

图2显示为本发明的封装用的引线定位装置的侧向示意图。

图3显示为本发明的封装用的引线定位装置的立体示意图。

元件标号说明：支撑台1，引线固定机构2，mems传感器固定机构3，引线牵引组21，引线切断组22，引线固定组23，旋转平台31，真空泵32，通孔311，mems传感器4，立臂20，底座311，立轴312，棘轮棘爪机构3121，第三驱动件3122。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

请参阅图1至图3。须知，本说明书附图所示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

以下各个实施例仅是为了举例说明。各个实施例之间，可以进行组合，其不仅仅限于以下单个实施例展现的内容。

请参阅图1至图3，本发明提供一种封装用的引线定位装置的实施例，包括：支撑台1、引线固定机构2和mems传感器固定机构3，所述引线固定机构2安装在所述支撑台1上，所述引线固定机构2包括引线牵引组21、引线切断组22和引线固定组23，所述引线牵引组21用于将引线牵引并经过引线切断组22，然后引线的末端固定到所述引线固定组23上；所述mems传感器固定机构3包括旋转平台31和真空泵32，所述旋转平台31上设有若干通孔311，在图1中，一个mems传感器4对应了三个通孔311，所述真空泵32用于在所述通孔311位置产生负压，所述通孔311位置用于吸附mems传感器4，所述引线固定组23安装在所述旋转平台31上，所述通孔311位置和所述引线固定组23位置一一对应，且所述通孔311位置位于所述引线固定组23的内侧。通过多引线的自动牵引、切断和固定，能够让传感器在封装时更加的方便，通过负压的方式实现对mems传感器4的固定，其不会对mems传感器4造成损伤，同时由于mems传感器4比较小，其也方便对mems传感器4的夹持，且夹持可靠，通过旋转平台31的设置，使得能够实现对多个mems传感器4在同一个位置和引线进行封装作业，此装置用在实验的小批量封装操作时，其具有结构简单操作方便的特点。引线和mems传感器4相对固定以后，再在连接位置进行点胶作业，具体的点胶作业可以是手动点胶，也可以是自动化点胶。

本实施例中，请参阅图1至图3，所述引线牵引组21至少包括一对输送辊和第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述输送辊转动。输送辊形成对辊结构，输送辊转动时将引线向前输送。引线可以从引线滚筒上引出然后穿过输送辊之间。

本实施例中，请参阅图1至图3，所述引线切断组22包括切刀和第二驱动件，所述第二驱动件驱动所述切刀切断所述引线。第二驱动件可以选择为气缸、电机或者液压缸等结构，当一个传感器的mems传感器4和引线进行焊接时，需要将对应的引线的部分从整条引线上分割下来。

本实施例中，请参阅图1至图3，所述引线固定机构2固定安装在一个立臂20上。立臂20能让引线在引出到mems传感器4位置时能够处于水平位置。

本实施例中，请参阅图1至图3，所述引线固定机构2转动安装在所述立臂20上。通过转动安装，能够方便对引线筒的更换，同时在更换过程中不会和mems传感器4固定机构产生干涉。

本实施例中，所述引线固定组23通过弹性锁定结构、螺栓锁定结构或者卡扣锁定结构对引线进行夹持。通过各种结构能够对引线进行固定，使得引线和mems传感器4相对位置固定。具体弹性锁定结构、螺栓锁定结构或者卡扣锁定结构的实现方式有多种变形，本领域技术人员能够根据情况进行设计，其实现不存在技术难度，故此处不再赘述。

本实施例中，请参阅图1至图3，所述旋转平台31通过底座311和立轴312配合转动安装在所述支撑台1上，所述立轴312为空心轴，所述真空泵32的通气管道轴向穿过所述空心轴。此种结构能够让旋转平台31在旋转过程中，真空泵32的通气管始终处于连通状态，且真空泵32可以固定在支撑台1上。可选的，所述真空泵32通过多个支管分别和所述通孔311连通；此时真空本出来有一个总管，总管分出若干支管，总管和支管之间可以通过旋转接头连接，使得支管在和旋转平台31一起转动时，能够实时和主管保持连通。旋转接头本身为现有技术，本领域技术人员能够在根据需求选择。

本实施例中，可选的，所述旋转平台31为中空封闭结构，所述通孔311和所述旋转平台31内部连通，所述真空泵32通过通气管道和所述旋转平台31的内部连通。在旋转平台31转动时，通气管道不转动，实施保持和旋转平台31内部的连通状态，为了实现更好的密封，可以在通气管道和旋转平台31连通处设置转动密封结构，转动密封结构为现有技术，本领域技术人员能够在根据需求选择，比如在通气管道末端设置一个挡片结构，挡片挡住立轴312末端和通气管道末端的间隙，从而更容易产生负压，对mems传感器4的吸附能力更好。

本实施例中，请参阅图1至图3，所述立轴312上设有限位组，所述立轴312和所述限位组配合形成单向转动结构。可选的，如图3中，所述限位组为棘轮棘爪机构3121；所述限位组还可以为单向轴承。单向转动结构能够减少旋转平台31的晃动，使得mems传感器4和引线能够在封装时更加可靠。

本实施例中，所述立轴312的转动通过手动驱动；

本实施例中，请参阅图1至图3，所述立轴312的转动通过第三驱动件3122驱动，第三驱动件3122可以选择为电机，所述第三驱动件3122直接驱动所述立轴312或者所述第三驱动件3122通过传动组传动后驱动所述立轴312转动。传动组具体可以选择为齿轮传动、链轮链条传动或皮带传动等。

综上所述，本发明通过多引线的自动牵引、切断和固定，能够让传感器在封装时更加的方便，通过负压的方式实现对mems传感器4的固定，其不会对mems传感器4造成损伤，同时由于mems传感器4比较小，其也方便对mems传感器4的夹持，且夹持可靠，通过旋转平台31的设置，使得能够实现对多个mems传感器4在同一个位置和引线进行封装作业，此装置用在实验的小批量封装操作时，其具有结构简单操作方便的特点。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。