腐蚀性气体混合物填充容器及腐蚀性气体组合物的制作方法

本发明涉及一种腐蚀性气体混合物填充容器及腐蚀性气体组合物。

背景技术：

1、用于液化气体及压缩气体的储存及输送的容器通常由钢和合金等金属构成，在各种产业中用于气体的储存及供给。在液化气体中，近年来硫化氢和二氧化硫等腐蚀性气体在半导体制造工艺中的需求增加，但由于腐蚀性气体具有对金属的腐蚀性，会腐蚀密闭容器，因此该性质有可能引起气体中的微量金属杂质的问题，在半导体制造工艺中可能成为问题。作为该课题的解决方案，有通过限制所填充的腐蚀性气体的杂质浓度来对密闭容器和配管赋予耐蚀性的例子。例如，在下述专利文献1中，提出了通过将气相的水分浓度设为0.001摩尔ppm以上且小于75摩尔ppm的硫化氢混合物而使密闭容器不易腐蚀。并且，在下述专利文献2中，提出了通过将气相的水分浓度设为0.005摩尔ppm以上且小于5000摩尔ppm的二氧化硫混合物来抑制金属腐蚀。

2、以往技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：国际公开第2017-221594号

5、专利文献2：国际公开第2021-182045号

技术实现思路

1、发明要解决的技术课题

2、然而，上述专利文献1中记载的硫化氢混合物及上述专利文献2中记载的二氧化硫混合物具有以下所示的课题。

3、即，关于上述专利文献1中记载的硫化氢混合物及上述专利文献2中记载的二氧化硫混合物，是以在由通常已知对硫化氢及二氧化硫具有耐蚀性的不锈钢构成的密闭容器中的使用为前提，而并非不受密闭容器的金属材质的限制而使用。换言之，在使用上述硫化氢混合物或二氧化硫混合物的情况下，密闭容器由除了不锈钢以外的金属材质构成的情况下，密闭容器有可能发生腐蚀。

4、本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种即使在将密闭容器的金属材质设为除了不锈钢以外的材质的情况下，也能够抑制由腐蚀性气体混合物引起的密闭容器的腐蚀的腐蚀性气体混合物填充容器及腐蚀性气体组合物。

5、用于解决技术课题的手段

6、本发明人为了解决上述课题而反复进行深入研究的结果，发现通过在将腐蚀性气体混合物中的气相的水分浓度设为特定的范围，并且将密闭容器的圆柱体部的内表面的表面粗糙度的最大高度设为特定的范围，能够解决上述课题。

7、即，本发明的一方面提供一种腐蚀性气体混合物填充容器，其具备：金属制密闭容器；及腐蚀性气体混合物，填充于上述密闭容器内且包含腐蚀性气体及气相的水分，其中，上述腐蚀性气体混合物中的上述水分的浓度为400摩尔ppm以下，上述密闭容器包含圆柱体部，上述圆柱体部的内表面的表面粗糙度的最大高度为50μm以下。另外，本发明中的圆柱体部遵从jis b0190：2010中记载的定义。

8、根据上述腐蚀性气体混合物填充容器，即使在将密闭容器的金属材质设为除了不锈钢以外的材质的情况下，也能够抑制由腐蚀性气体混合物引起的密闭容器的腐蚀。

9、另外，根据本发明，即使在将密闭容器的金属材质设为除了不锈钢以外的材质的情况下，也能够抑制由腐蚀性气体混合物引起的密闭容器的腐蚀的原因尚不明确，但本发明人推测这是由于以下原因。

10、即，在腐蚀性气体混合物中的水分的浓度为400摩尔ppm以下的情况下，通过将密闭容器的圆柱体部的内表面的表面粗糙度的最大高度设为50μm以下，腐蚀性气体混合物中的水分变得不易被捕捉到圆柱体部的内表面的凹部，即使被捕捉到也变得容易脱离。因此，溶解于水分中的腐蚀性气体的量减少，由水分与腐蚀性气体的反应引起的腐蚀性物质的生成得到抑制。这样，本发明人推测即使在将密闭容器的金属材质设为除了不锈钢以外的材质的情况下，也可能抑制密闭容器的腐蚀。

11、并且，本发明的另一方面提供一种从上述腐蚀性气体混合物填充容器中取出而获得的腐蚀性气体组合物。

12、根据填充于上述密闭容器内的腐蚀性气体混合物，能够抑制包含圆柱体部、且圆柱体部的内表面的表面粗糙度的最大高度为50μm以下的金属制密闭容器的腐蚀。因此，即使在将密闭容器的金属材质设为除了不锈钢以外的材质的情况下，也能够抑制密闭容器的腐蚀。因此，通过抑制密闭容器的腐蚀能够抑制腐蚀性气体混合物中混入金属成分。因此，从腐蚀性气体混合物填充容器中取出而获得的腐蚀性气体组合物在要求金属成分的含量少的半导体制造工艺等中有用。

13、在上述腐蚀性气体混合物填充容器中，优选上述腐蚀性气体混合物中的上述水分的浓度为110摩尔ppm以下，上述圆柱体部的上述内表面的表面粗糙度的最大高度为6μm以下。

14、在上述腐蚀性气体混合物填充容器中，上述腐蚀性气体混合物中的上述水分的浓度更优选为10摩尔ppm以下。

15、在上述腐蚀性气体混合物填充容器中，上述腐蚀性气体混合物中的上述水分的浓度进一步优选为1摩尔ppm以下。

16、在上述腐蚀性气体混合物填充容器中，构成上述密闭容器的金属可以包含合金钢。

17、上述合金钢可以是锰钢或铬钼钢。

18、在上述腐蚀性气体混合物填充容器中，上述腐蚀性气体可以是硫系气体。

19、上述硫系气体可以是硫化氢或二氧化硫。

20、发明效果

21、根据本发明，提供一种即使在将密闭容器的金属材质设为除了不锈钢以外的材质的情况下，也能够抑制由腐蚀性气体混合物引起的密闭容器的腐蚀的腐蚀性气体混合物填充容器及腐蚀性气体组合物。

技术特征：

1.一种腐蚀性气体混合物填充容器，其具备：

2.根据权利要求1所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

3.根据权利要求2所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

4.根据权利要求3所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

5.根据权利要求4所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

6.根据权利要求1所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

7.根据权利要求6所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

9.根据权利要求8所述的腐蚀性气体混合物填充容器，其中，

10.一种腐蚀性气体组合物，其通过从权利要求1所述的腐蚀性气体混合物填充容器取出而获得。

技术总结腐蚀性气体混合物填充容器具备密闭容器及填充于密闭容器内且包含腐蚀性气体的气体。在腐蚀性气体混合物填充容器中，气体中的气相的水分浓度为400摩尔ppm以下，密闭容器包含具有金属层的圆柱体部，该金属层具有与腐蚀性气体混合物接触的内表面，圆柱体部的金属层的内表面的表面粗糙度的最大高度为50μm以下。技术研发人员：酒井良一郎,山内宏贵受保护的技术使用者：住友精化株式会社技术研发日：技术公布日：2024/7/15