一种微调装置的制作方法

本技术涉及精密机械与仪器，尤其涉及一种微调装置。

背景技术：

1、随着科学技术的发展，在光学和机械制造等技术领域中迫切需要高精度的微调平台用以对待测样品以某一方向或两个方向进行微量俯仰和倾斜，以满足不同的加工和操作需求。

2、现有的手动倾斜台通常采用弧形滑轨的滑动方式进行角度调整，进而不仅导致整机结构设计较为复杂且加工难度大，使用弧形滑轨还会造成成本较高，并且滑轨精度要求较高，安装及调整工艺繁琐。

3、因此，需要提供一种改进的微调装置，以解决上述现有技术问题至少之一。

技术实现思路

1、本技术提供了一种微调装置包括基座、载台、第一调节机构和第二调节机构；所述载台与所述基座活动连接，且所述载台能够相对所述基座摆动；所述基座内设置有第一通道和第二通道，所述第一调节机构至少部分容置于所述第一通道内，所述第一调节机构能够沿所述第一通道移动，进而能够推动所述载台相对所述基座绕第一轴向摆动；所述第二调节机构至少部分容置于所述第二通道内，所述第二调节机构能够沿所述第二通道移动，进而推动所述载台相对所述基座绕第二轴向摆动；所述第一轴向与所述第二轴向正交设置。

2、进一步地，所述第一通道的两端贯穿所述基座且分别设置于所述基座的侧壁和顶面，所述第一通道能够使推动所述第一调节机构移动的作用力转换为竖直方向的作用于所述载台的推力；所述第二通道的两端贯穿所述基座且分别设置于所述基座的侧壁和顶面，所述第二通道能够使推动所述第二调节机构移动的作用力转换为竖直方向的作用于所述载台的推动力。

3、进一步地，所述第一通道为第一曲线通道；所述第二通道为第二曲线通道。

4、进一步地，所述第一通道包括依次连通设置的第一通道段、第一弧形过渡段和第二通道段；所述第二通道包括依次连通设置的第三通道段、第二弧形过渡段和第四通道段。

5、进一步地，所述基座包括基座本体、第一连接块和第二连接块；所述第一连接块和所述第二连接块均可拆卸连接在所述基座本体上。

6、进一步地，所述第一通道的至少部分开设于基座本体内，所述基座本体和所述第一连接块连接后形成所述第一通道的通道空间，以供所述第一调节机构移动；所述第二通道的至少部分开设于所述基座本体内，所述基座本体和所述第二连接块连接后形成所述第二通道的通道空间，以供所述第二调节机构移动。

7、进一步地，所述第一通道段的第一端开设于所述基座本体内，所述第一通道段的第二端、所述第一弧形过渡段和所述第二通道段均开设于所述第一连接块内，所述基座本体和所述第一连接块连接后，所述第一通道段、所述第一弧形过渡段和所述第二通道段连通形成所述第一通道；所述第三通道段开设于所述基座本体内，所述第二弧形过渡段和所述第四通道段均开设于所述第二连接块内，所述基座本体和所述第二连接块连接后，所述第三通道段、所述第二弧形过渡段和所述第四通道段连通形成所述第二通道。

8、进一步地，所述第一调节机构包括第一微调组件和第一移动组件，第二调节机构包括第二微调组件和第二移动组件；所述第一微调组件和所述第二微调组件分别与所述基座本体可拆卸的固定连接；所述第一微调组件与所述第一移动组件传动连接；在所述第一微调组件的带动下，所述第一移动组件能够沿所述第一通道移动；所述第二微调组件与所述第二移动组件传动连接；在所述第二微调组件的带动下，所述第二移动组件能够沿所述第二通道移动。

9、进一步地，所述第一移动组件包括依次布置的至少一个第一传动块、至少一个第一传动球和至少一个第二传动块；所述至少一个第一传动块能够配合于所述第一通道段，所述至少一个第一传动球与所述第一弧形过渡段配合，所述至少一个第二传动块能够配合于所述第二通道段。

10、进一步地，所述第一微调组件和所述第二微调组件设置在所述基座的同一侧。

11、进一步地，所述第二移动组件包括依次布置的至少一个第二传动球、至少一个第三传动块、至少一个第三传动球和至少一个第四传动块；所述至少一个第二传动球和所述至少一个第三传动块能够配合于所述第三通道段，所述至少一个第三传动球与所述第二弧形过渡段配合，所述至少一个第四传动块能够配合于所述第四通道段。

12、进一步地，所述第三通道段上设有第三弧形过渡段，所述至少一个第二传动球与所述第三弧形过渡段配合。

13、进一步地，所述第一传动块远离所述第一微调组件的一端设置有第一圆弧段；所述第三传动块远离所述第二微调组件的一端设置有第二圆弧段。

14、进一步地，所述第一圆弧段所对应的弦长与所述第一传动球的直径相同设置；所述第二圆弧段所对应的弦长与所述第二传动球的直径相同设置。

15、进一步地，所述第一传动块靠近所述第一微调组件的一端为平面或者曲面；所述第三传动块靠近所述第二微调组件的一端为平面或者曲面。

16、进一步地，所述第一微调组件和所述第二微调组件分别设置在所述基座的相邻两侧。

17、进一步地，所述第二移动组件包括依次布置的至少一个第三传动块、至少一个第三传动球和至少一个第四传动块；所述至少一个第三传动块能够配合于所述第三通道段，所述至少一个第三传动球与所述第二弧形过渡段配合，所述至少一个第四传动块能够配合于所述第四通道段。

18、进一步地，所述第一通道开设于所述基座本体的第一侧壁，所述基座本体和所述第一连接块连接形成所述第一通道的通道空间；所述第二通道开设于所述基座本体的第二侧壁，所述基座本体和所述第二连接块连接形成所述第二通道的通道空间。

19、进一步地，微调装置还包括至少两个复位组件；所述复位组件包括复位连接件和复位弹性组件；所述复位弹性组件设置在所述复位连接件上，所述复位连接件的两端分别与所述载台和所述基座限位连接；所述复位弹性组件能够提供复位弹力，使所述载台复位至初始位置。

20、进一步地，所述复位连接件包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件与所述第二连接件可拆卸固定连接；所述载台上设置有与所述第一连接件配合连接的第一限位槽；所述基座上设置有与所述第二连接件配合连接的第二限位槽；所述第一连接件和所述第二连接件两者至少择一的设置有所述复位弹性组件。

21、进一步地，所述复位弹性组件包括第一复位弹性组件和第二复位弹性组件，所述第一复位弹性组件套设在所述第一连接件上，所述第二复位弹性组件套设在所述第二连接件上。

22、进一步地，所述基座设有第一抵接部，第一抵接部开设有第一通孔，所述第一通孔的直径小于所述第一复位弹性组件的直径且大于所述第一连接件的直径；所述载台上设有第二抵接部，所述第二抵接部开设有第二通孔，所述第二通孔的直径小于所述第二复位弹性组件的直径且大于所述第二连接件的直径。

23、进一步地，微调装置还包括转动连接件；所述转动连接件置于所述基座与所述载台之间，且通过所述转动连接件，所述载台能够相对所述基座摆动；所述转动连接件的几何中心与所述载台的承载面中心同轴。

24、进一步地，所述载台上设置有第一限位部和第二限位部；所述第一移动组件的抵接端设有第一配合结构，所述第一配合结构用于与所述第一限位部限位配合；所述第二移动组件的抵接端设有第二配合结构，所述第二配合结构用于与所述第二限位部限位配合。

25、进一步地，所述第一限位部和所述第一配合结构装配形成球铰结构；和/或者，所述第二限位部和所述第二配合结构装配形成球铰结构。

26、进一步地，所述载台上可拆卸的设置有第一限位块和第二限位块；所述第一限位部设置在所述第一限位块上，所述第二限位部设置在所述第二限位块上。

27、本技术提供的一种微调装置，至少具有如下技术效果：

28、本技术中的微调装置包括一种微调装置包括基座、载台、第一调节机构和第二调节机构；所述载台与所述基座活动连接，且所述载台能够相对所述基座摆动；所述基座内设置有第一通道和第二通道，所述第一调节机构至少部分容置于所述第一通道内，所述第一调节机构能够沿所述第一通道移动，进而能够推动所述载台相对所述基座绕第一轴向摆动；所述第二调节机构至少部分容置于所述第二通道内，所述第二调节机构能够沿所述第二通道移动，进而推动所述载台相对所述基座绕第二轴向摆动；所述第一轴向与所述第二轴向呈角度设置；本技术通过在基座内部设置第一通道，第一调节机构沿第一通道移动的过程中，能够推动载台相对基座绕第一轴向摆动；同理，在基座内部设置第二通道的方式，第二调节机构沿第二通道移动的过程中，能够推动载台相对基座绕第二轴向摆动，能够实现了对载台的承载面的水平度的调整，提高了调整的可靠性，且装置结构简单紧凑，易于操作，制造成本低。