气浮滑环及具有该气浮滑环的设备的制作方法

本技术涉及静压气体支承领域，特别是涉及一种气浮滑环及具有该气浮滑环的设备。

背景技术：

1、气浮滑环作为旋转运动设备的重要组成，广泛应用于旋转运动台，机械臂，机器人，旋转加工设备的旋转关节上，其作为一种电气器件，负责连接和传送旋转物体的信号、电流。其主要作用为设备在360度连续旋转情况下，保证气压、液循环、真空、电源、信号等不中断。

2、现有技术中的气浮滑环，由于需要实现芯轴和轴套之间气浮转动，因此输送液体或气体过程中会导致气体液体容易散逸至芯轴和轴套之间，从而导致输送液体或气体的泄漏，且污染气浮滑环以及具有气浮滑环的设备。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有技术中的气浮滑环，由于需要实现芯轴和轴套之间气浮转动，因此输送液体或气体过程中会导致气体液体容易散逸至芯轴和轴套之间，从而导致输送液体或气体的泄漏，且污染气浮滑环以及具有气浮滑环的设备的问题，提供一种气浮滑环及具有该气浮滑环的设备。

2、本技术一实施例提供一种气浮滑环，包括：

3、芯轴，所述芯轴的侧壁开设有沿其轴向排列的多个第一开口，所述芯轴朝向设备的一端开设有多个第二开口，所述芯轴内部开设有多个第一通道，多个所述第一开口、多个所述第二开口、多个所述第一通道一一对应地连通；

4、轴套，所述轴套套设于所述芯轴，并与所述芯轴间隙设置，所述轴套的外侧壁开设有沿所述芯轴的轴向排列的多个第一环槽，每个所述第一环槽的底壁均开设有多个第一通孔；所述轴套的外侧壁开设有沿所述芯轴的轴向排列的至少两个第二环槽，任意相邻的两所述第二环槽之间仅有一个所述第一环槽，每个所述第二环槽的底壁均开设有多个第二通孔，多个所述第一环槽通过各自的所述第一通孔与多个所述第一开口一一对应地连通，每个所述第二环槽通过各自的所述第二通孔与所述轴套和所述芯轴之间的间隙连通；

5、外壳，所述外壳套设于所述轴套外侧并与所述轴套的外壁的抵接，开设有多个第三通孔和多个第四通孔，多个第三通孔一一对应地与多个所述第一环槽连通，多个所述第四通孔一一对应地与多个所述第二环槽连通。

6、上述的气浮滑环在使用过程中，芯轴在轴套内转动，其中一个第三通孔、与该第三通孔对应的第一环槽、该第一环槽上开设的多个第一通孔，与该环槽连通的旋转中的第一开口、该第一开口对应的第一通道和第二开口，形成了供设备使用的输送通道。其中一个第四通孔、与该第四通孔对应的第二环形槽、该第二环形槽上开设的第二通孔形成气体静压通道，从第四通孔冲入一定压强的气体，并通过上述的气体静压通道进入芯轴和轴套之间的缝隙，从而使得芯轴与轴套之间实现非接触式转动配合，降低了实物摩擦（如轴承形式的滚珠滑动摩擦），从而提高了气浮滑环的使用寿命，同时在需要向设备输送液体或气体时，可以实现在相对静止的壳体处输入液体或气体，并通过上述的输送通道输送至于芯轴开设第二开口的一端的设备处，供设备使用，同时由于任意一个第一环槽沿芯轴的轴向的两侧均开设有一个第二环槽，因此可以使得液体由轴套上的第一通孔进入芯轴上的第一开口时，沿芯轴轴向的两侧均具有一定压强的气体，使得液体尽可能完全地进入输送通道，而不会在芯轴和轴套之间散逸，避免了液体的泄漏。

7、在一实施例中，所述气浮滑环还包括多个第一密封圈；

8、相邻的两个所述第一环槽之间开设有第一密封环槽，所述第一密封圈套设于所述第一密封环槽内，并同时与所述外壳和所述轴套抵接。

9、在一实施例中，所述气浮滑环还包括多个第二密封圈；

10、相邻的所述第一环槽和所述第二环槽之间开设有第二密封环槽，所述第二密封圈套设于所述第二密封环槽内，并同时与所述外壳和所述轴套抵接。

11、在一实施例中，所述气浮滑环还包括挡板和第一环形止推；

12、所述第一环形止推的一侧同时与所述外壳和所述轴套连接；

13、所述挡板包括板体和凸起，所述凸起的一端与所述芯轴连接，另一端与所述板体连接，所述凸起插设于所述第一环形止推，所述板体靠近所述芯轴的一侧与所述第一环形止推背离所述轴套的一侧间隙设置。

14、在一实施例中，所述第一环形止推的外侧壁开设有第三开口，所述第一环形止推沿所述芯轴的轴向两侧分别开设有第四开口和第五开口，所述第一环形止推内部开设有第二通道，所述第三开口、所述第四开口以及所述第五开口通过所述第二通道连通。

15、在一实施例中，所述气浮滑环还包括第二环形止推；

16、所述第二环形止推的一侧同时与所述外壳和所述轴套背离所述第一环形止推的一侧连接；

17、所述芯轴伸出所述第二环形止推的侧壁开设有环形凸出部，所述第二环形止推位于所述轴套和所述环形凸出部之间，所述第二环形止推与所述芯轴间隙设置，所述第二环形止推与所述环形凸出部间隔设置。

18、在一实施例中，所述第二环形止推的外侧壁开设有第六开口，所述第二环形止推沿所述芯轴的轴向两侧分别开设有第七开口和第八开口，所述第二环形止推内部开设有第三通道，所述第六开口、所述第七开口以及所述第八开口通过所述第三通道连通。

19、在一实施例中，每个所述第一环槽底壁开设的多个所述第一通孔绕所述轴套的周向均匀排列，每个所述第二环槽底壁开设的多个所述第二通孔绕所述轴套的周向均匀排列。

20、在一实施例中，其中至少两个所述第二开口绕所述芯轴的周向均匀排列，且与芯轴的轴线距离相同。

21、本技术一实施例还包括一种具有气浮滑环的设备，其特征在于，所述具有气浮滑环的设备包括操作部以及所述的气浮滑环；

22、所述芯轴开设有所述第二开口的一端与所述操作部连接。

23、上述的具有气浮滑环的设备在使用过程中，芯轴在轴套内转动，其中一个第三通孔、与该第三通孔对应的第一环槽、该第一环槽上开设的多个第一通孔，与该环槽连通的旋转中的第一开口、该第一开口对应的第一通道和第二开口，形成了供设备使用的输送通道。其中一个第四通孔、与该第四通孔对应的第二环形槽、该第二环形槽上开设的第二通孔形成气体静压通道，从第四通孔冲入一定压强的气体，并通过上述的气体静压通道进入芯轴和轴套之间的缝隙，从而使得芯轴与轴套之间实现非接触式转动配合，降低了实物摩擦（如轴承形式的滚珠滑动摩擦），从而提高了气浮滑环的使用寿命，同时在需要向设备输送液体或气体时，可以实现在相对静止的壳体处输入液体或气体，并通过上述的输送通道输送至于芯轴开设第二开口的一端的设备处，供设备使用，同时由于任意一个第一环槽沿芯轴的轴向的两侧均开设有一个第二环槽，因此可以使得液体由轴套上的第一通孔进入芯轴上的第一开口时，沿芯轴轴向的两侧均具有一定压强的气体，使得液体尽可能完全地进入输送通道，而不会在芯轴和轴套之间散逸，避免了液体的泄漏。

24、具体的，上述的一个第三通孔、与该第三通孔对应的第一环槽、该第一环槽上开设的多个第一通孔，与该环槽连通的旋转中的第一开口、该第一开口对应的第一通道和第二开口，形成了供设备使用的输送通道可以输送液体或气体，也可以通过第三通孔进行抽真空，使得该输送通道对应的第二开口处可以产生真空吸力，从而能够实现对设备上物体的吸附与释放，从而能够提供一种以抽真空形式进行搬运物体的结构，该物体具体可以是晶圆、微小电子器件等。