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一种单晶炉改良型水冷法兰的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-30 13:50:08

本技术涉及法兰,更具体地说,本技术涉及一种单晶炉改良型水冷法兰。

背景技术:

1、单晶炉运行过程中,氩气是主要的冷却气体,水冷法兰就是氩气通向炉内的主要通道,法兰又叫法兰凸缘盘或突缘,法兰是轴与轴之间相互连接的零件,用于管端之间的连接,也有用在设备进出口上的法兰,用于两个设备之间的连接。

2、根据专利申请公开(公告)号:cn216692578u一种水冷法兰,所述法兰本体的内部设有水冷结构,所述水冷结构连接有进水装置和出水装置,所述水冷结构包括第一冷却水槽和第二冷却水槽,所述第一冷却水槽的截面为环形结构,所述第二冷却水槽的截面为半圆形结构,该结构能够提升冷却水的利用率。

3、但是上述装置在使用过程中会出现以下问题:该法兰的下方开辟孔洞,将氩气直接从内壁处吹入炉内,炉内中间的温度会向上浮动,容易造成挥发物上返至喉口处,被迫停炉处理,影响了装置的使用。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷,本实用新型提供一种单晶炉改良型水冷法兰,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

3、一种单晶炉改良型水冷法兰,包括法兰本体,所述法兰本体的内部设置有水冷机构,所述法兰本体的表面贯穿开设有多个螺栓孔,多个所述螺栓孔的内部均设置有螺钉,所述螺钉的顶部设置有螺母,所述法兰本体的表面设置有对吹机构,所述对吹机构包括开设在法兰本体表面的多个透气孔,多个所述透气孔的内部均开设有卡槽,所述卡槽的内部设置有第一过滤网,采用上述技术方案,便于使得可以通过法兰本体实现对吹的效果。

4、作为上述技术方案的进一步描述:所述水冷机构包括开设在法兰本体内部的第一冷却水槽和第二冷却水槽,所述第一冷却水槽的截面为环形结构,所述第二冷却水槽的截面为半圆形结构,所述第一冷却水槽的直径大于第二冷却水槽,采用上述技术方案,便于对法兰本体进行冷却。

5、作为上述技术方案的进一步描述:所述第一冷却水槽和第二冷却水槽之间相连通,所述第一冷却水槽的一端连接有进水管,所述第二冷却水槽连接有出水管,所述进水管和出水管的外部均设置有电镀锌层,所述进水管和出水管的内部设置有防腐涂层,采用上述技术方案,便于对法兰本体进入冷却水。

6、作为上述技术方案的进一步描述:所述第一冷却水槽的一端连接有加长槽,所述第一冷却水槽和第二冷却水槽内壁的两侧分别设有第一扰流板和第二扰流板,所述第一扰流板和第二扰流板交错设置,采用上述技术方案,延长水流经过法兰的时间。

7、作为上述技术方案的进一步描述:所述进水管和出水管的内部均设置有过滤机构,两个所述过滤机构分别包括设置在进水管和出水管内部的连接框,所述连接框的内部设置有第二过滤网,所述连接框的顶部设置有盖板,两个所述盖板分别与进水管和出水管相连接,所述盖板的顶部设置有拉板,所述拉板的横截面设置为t型,采用上述技术方案,便于对进入的水槽内部的水进行过滤。

8、本实用新型的技术效果和优点:

9、1、通过设置对吹机构,通过在法兰的内壁中间开设的透气孔来实现氩气的对吹,起到炉内冷却的效果,也杜绝了单晶炉在长时间运行中返气成晶效果差的问题,并且通过透气孔内部设置的第一过滤网对其进行过滤,防止杂质通过透气孔进入到单晶炉内部,影响了单晶炉内部的使用效果;

10、2、通过设置水冷机构和过滤机构的配合使用,进水管进水后,冷却水会在法兰盘中停留较长的时间,同时,在第一冷却水槽上加设有加长槽,冷却水能够在法兰中停留较长的时间,冷却水能能够携带更多的热量,从而能够节省冷却水的用量,并且通过进水管和出水管中的第二过滤网能够有效阻止杂质将进入冷水水槽中。

技术特征:

1.一种单晶炉改良型水冷法兰,包括法兰本体(1),其特征在于:所述法兰本体(1)的内部设置有水冷机构,所述法兰本体(1)的表面贯穿开设有多个螺栓孔,多个所述螺栓孔的内部均设置有螺钉(2),所述螺钉(2)的顶部设置有螺母(3),所述法兰本体(1)的表面设置有对吹机构。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉改良型水冷法兰,其特征在于:所述对吹机构包括开设在法兰本体(1)表面的多个透气孔(4),多个所述透气孔(4)的内部均开设有卡槽,所述卡槽的内部设置有第一过滤网(5)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉改良型水冷法兰,其特征在于:所述水冷机构包括开设在法兰本体(1)内部的第一冷却水槽(6)和第二冷却水槽(7),所述第一冷却水槽(6)的截面为环形结构,所述第二冷却水槽(7)的截面为半圆形结构,所述第一冷却水槽(6)的直径大于第二冷却水槽(7)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉改良型水冷法兰,其特征在于:所述第一冷却水槽(6)和第二冷却水槽(7)之间相连通,所述第一冷却水槽(6)的一端连接有进水管(8),所述第二冷却水槽(7)连接有出水管(9),所述进水管(8)和出水管(9)的外部均设置有电镀锌层,所述进水管(8)和出水管(9)的内部设置有防腐涂层。

5.根据权利要求3所述的一种单晶炉改良型水冷法兰,其特征在于:所述第一冷却水槽(6)的一端连接有加长槽(10),所述第一冷却水槽(6)和第二冷却水槽(7)内壁的两侧分别设有第一扰流板(11)和第二扰流板(12),所述第一扰流板(11)和第二扰流板(12)交错设置。

6.根据权利要求4所述的一种单晶炉改良型水冷法兰,其特征在于:所述进水管(8)和出水管(9)的内部均设置有过滤机构,两个所述过滤机构分别包括设置在进水管(8)和出水管(9)内部的连接框(13),所述连接框(13)的内部设置有第二过滤网(14),所述连接框(13)的顶部设置有盖板(15),两个所述盖板(15)分别与进水管(8)和出水管(9)相连接,所述盖板(15)的顶部设置有拉板(16),所述拉板(16)的横截面设置为t型。

技术总结本技术公开了一种单晶炉改良型水冷法兰,具体涉及法兰技术领域,包括法兰本体,所述法兰本体的内部设置有水冷机构,所述法兰本体的表面贯穿开设有多个螺栓孔,多个所述螺栓孔的内部均设置有螺钉,所述螺钉的顶部设置有螺母,所述法兰本体的表面设置有对吹机构。本技术通过在法兰的内壁中间开设的透气孔来实现氩气的对吹,起到炉内冷却的效果,再通过透气孔内部设置的第一过滤网对其进行过滤,防止杂质通过透气孔进入到单晶炉内部,并且通过水冷机构对法兰本体进行降温,冷却水能能够携带更多的热量,从而能够节省冷却水的用量。技术研发人员:常武东,赵江辉,王江,董瑞,王志成,杨洪玉受保护的技术使用者:乌海市京运通新材料科技有限公司技术研发日:20231220技术公布日:2024/7/25

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