腔门门阀、设备腔以及PVD设备的制作方法

本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及腔门门阀、设备腔以及pvd设备。

背景技术：

1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。

2、在异质结太阳能电池制造中，需要通过物理气相沉积(physical vapordeposition，pvd)设备进行pvd工艺，从而在经pecvd工艺形成的p型非晶硅及n型非晶硅上沉积透明导电膜(tco)。

3、pvd设备镀膜线通常为连续多腔体结构，通过腔门门阀将各腔体隔开实现各工位真空梯度变化，来减少基片进出腔体时对工艺区真空度的影响。参见图1，其为现有技术的腔门门阀实施例的组成结构示意图。如图1所示，现有技术的腔门门阀包括气缸(未图示)、曲柄(未图示)、动力引入装置10、门板11、多个卡爪12以及门轴13，门轴13与门板11通过多个卡爪12固定连接，气缸输出轴与曲柄相连接，气缸带动曲柄并通过动力引入装置10驱动门轴13带动门板11转动以打开或关闭设备腔(例如pvd设备腔)上的通道口。

4、随着市场对设备产能、性价比的要求越来越高，基片或硅片越来越宽，腔体上供承载基片的通过的通道口越来越长，门轴13也就越来越长。相应的，为了保证足够的强度及刚性，门轴13直径也需要大幅增加，例如增大到70-80mm。这样门轴13的长度重量都大幅增加，导致加工困难，安装维护不便。另外，在加热温度较高的应用场合，典型的腔门门阀还需额外配置冷却及遮蔽装置，来控制门轴温度避免热膨胀，系统更加复杂且不经济。

5、因此，如何提供一种腔门门阀、设备腔以及pvd设备，以大幅减少门轴的长度重量，便于加工与安装维护，还可适应较高加热温度引起的热膨胀，并可免除额外配备冷却及遮蔽装置，节省成本，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种腔门门阀，其包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门轴段的多个轴承座。

2、在一实施例中，所述联轴器包括键块、第一固定件、第二固定件以及连接件，所述键块的两端分别设置在相邻门轴段相对开设的开口中，所述第一固定件、第二固定件分别固定在相邻的两个门轴段上，所述连接件的两端分别与所述第一固定件、第二固定件相连接。

3、在一实施例中，所述门板与所述门轴段之间通过多个卡爪固定，每个轴承座两侧分别设置一个卡爪。

4、在一实施例中，所述门板在打开位与关闭位之间的旋转角度为90度。

5、在一实施例中，所述轴承座包括座体以及用于将门轴段固定在所述座体中的第三固定件，所述座体包括轴孔、设置在所述轴孔中用于容纳所述门轴段的衬套以及与第三固定件相匹配的固定孔。

6、在一实施例中，所述门轴组件包括第一门轴段、第二门轴段、第一动力引入装置、第二动力引入装置、第一联轴器、第二联轴器、第三联轴器，所述第一门轴段与第二门轴段通过第一联轴器连接，所述第一门轴段与第一动力引入装置之间通过第二联轴器连接，所述第二门轴段与第二动力引入装置之间通过第三联轴器连接。

7、在一实施例中，每个门轴段的直径范围为45-50mm，长度范围为50-100cm。

8、在一实施例中，所述驱动模块包括气缸以及与气缸输出轴相连接的曲柄。

9、本实用新型还提供一种设备腔，其包括设置在腔壁上的通道口以及用于打开或关闭所述通道口的腔门门阀，所述腔门门阀为如上中任一个实施例所述的腔门门阀。

10、本实用新型还提供一种pvd设备，所述pvd设备包括一个或多个如上所述的设备腔。

11、与现有技术中腔门门阀的门轴未分段使得门轴直径较大相比，本实用新型的腔门门阀包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门轴段的多个轴承座。本实用新型能够大幅减少门轴的长度重量，便于加工与安装维护，还可适应较高加热温度引起的热膨胀，并可免除额外配备冷却及遮蔽装置，节省成本。

技术特征：

1.一种腔门门阀，其包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，其特征在于，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门轴段的多个轴承座。

2.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述联轴器包括键块、第一固定件、第二固定件以及连接件，所述键块的两端分别设置在相邻门轴段相对开设的开口中，所述第一固定件、第二固定件分别固定在相邻的两个门轴段上，所述连接件的两端分别与所述第一固定件、第二固定件相连接。

3.根据权利要求2所述的腔门门阀，其特征在于，所述门板与所述门轴段之间通过多个卡爪固定，每个轴承座两侧分别设置一个卡爪。

4.根据权利要求3所述的腔门门阀，其特征在于，所述门板在打开位与关闭位之间的旋转角度为90度。

5.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述轴承座包括座体以及用于将门轴段固定在所述座体中的第三固定件，所述座体包括轴孔、设置在所述轴孔中用于容纳所述门轴段的衬套以及与第三固定件相匹配的固定孔。

6.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述门轴组件包括第一门轴段、第二门轴段、第一动力引入装置、第二动力引入装置、第一联轴器、第二联轴器、第三联轴器，所述第一门轴段与第二门轴段通过第一联轴器连接，所述第一门轴段与第一动力引入装置之间通过第二联轴器连接，所述第二门轴段与第二动力引入装置之间通过第三联轴器连接。

7.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，每个门轴段的直径范围为45-50mm，长度范围为50-100cm。

8.根据权利要求1所述的腔门门阀，其特征在于，所述驱动模块包括气缸以及与气缸输出轴相连接的曲柄。

9.一种设备腔，其包括设置在腔壁上的通道口以及用于打开或关闭所述通道口的腔门门阀，其特征在于，所述腔门门阀为权利要求1至8中任一项所述的腔门门阀。

10.一种pvd设备，其特征在于，所述pvd设备包括一个或多个如权利要求9所述的设备腔。

技术总结本技术提供腔门门阀以及设备腔。所述腔门门阀包括驱动模块、门板以及门轴组件，所述门轴组件与所述门板固定连接并由驱动模块驱动带动所述门板转动以打开或关闭设备腔上的通道口，所述门轴组件包括多个门轴段、用于将多个门轴段连接起来的联轴器以及用于支撑门轴段的多个轴承座。本技术能大幅减少门轴的长度重量，便于加工与安装维护，还可适应较高加热温度引起的热膨胀，并可免除额外配备冷却及遮蔽装置，大幅节省成本。技术研发人员：常昱受保护的技术使用者：理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司技术研发日：20231212技术公布日：2024/7/25