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  • 腔门门阀、设备腔以及PVD设备的制作方法

    腔门门阀、设备腔以及PVD设备的制作方法

    本技术涉及太阳能电池制造领域,特别涉及腔门门阀、设备腔以及pvd设备。背景技术:1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池,又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术,......

    腔门门阀、设备腔以及PVD设备的制作方法2024-07-30 8
  • 一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法与流程

    一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法与流程

    本发明涉及溅射镀膜领域,更具体地说,它涉及一种pvd镀膜用ag管靶材制备方法。背景技术:1、金属银具有电阻低、反射率高等优良性能,被大量用于生产电极或反射层的薄层,诸如太阳能电池、液晶显示器等领域。2......

    一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法与流程2024-06-20 19
  • 一种用于PVD加工的螺旋式挂具的制作方法

    一种用于PVD加工的螺旋式挂具的制作方法

    本申请涉及pvd加工,具体为一种用于pvd加工的螺旋式挂具。背景技术:1、物理气相沉积技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体......

    一种用于PVD加工的螺旋式挂具的制作方法2024-06-20 28