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腔门门阀、设备腔以及PVD设备的制作方法
本技术涉及太阳能电池制造领域,特别涉及腔门门阀、设备腔以及pvd设备。背景技术:1、薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池,又可称hit或shj太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术,......
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一种PVD镀膜用Ag管靶材制备方法与流程
本发明涉及溅射镀膜领域,更具体地说,它涉及一种pvd镀膜用ag管靶材制备方法。背景技术:1、金属银具有电阻低、反射率高等优良性能,被大量用于生产电极或反射层的薄层,诸如太阳能电池、液晶显示器等领域。2......
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一种用于PVD加工的螺旋式挂具的制作方法
本申请涉及pvd加工,具体为一种用于pvd加工的螺旋式挂具。背景技术:1、物理气相沉积技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体......