一种高真空机组的制作方法

本技术涉及真空设备的应用，具体涉及一种高真空机组。

背景技术：

1、正常的生产设备腔体小，运行中装载一台进口机械泵即可达到所需真空要求。如今设备更新换代，产品使用量需求增大，则需增大腔体对产品的生产进行一定的提升，则需再此设备上加装一套高真空机组装置来达到抽真空目的，减少了抽真空运行的时间，也为生产的产品的品质提供了一个保障。

技术实现思路

1、针对现有技术中所存在的不足，本实用新型提供一种高真空机组，本机组可对腔体进行快速的抽去内部空气，使腔体达到一定的真空度，真空度的要求对生产中产品的起着尤为重要的作用，此机组应用范围广，针对高要求的设备机器产品起着尤为重要的作用。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下的技术方案：

3、一种高真空机组，包括机械泵，所述机械泵连接有第一接腔体口处，所述罗茨泵与分子泵相连接，所述分子泵上设有第二接腔体口处和电动挡板阀。

4、进一步的，所述罗茨泵与分子泵连接,是通过波纹管与密封圈配合且卡箍将其固定。

5、进一步的，所述机械泵上方安装有过滤设备。

6、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

7、本机组可对腔体进行快速的抽去内部空气，使腔体达到一定的真空度，减少了抽真空运行的时间，也为生产的产品的品质提供了一个保障，同时此机组应用范围广，针对高要求的设备机器产品起着尤为重要的作用。

技术特征：

1.一种高真空机组，包括机械泵（1），其特征在于，所述机械泵（1）连接有第一接腔体口处（8），罗茨泵（3）与分子泵（2）相连接，所述分子泵（2）上设有第二接腔体口处（9）和电动挡板阀（4）。

2.根据权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于，所述罗茨泵（3）与分子泵（2）连接，是通过波纹管（5）与密封圈配合且卡箍（6）将其固定。

3.根据权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于，所述机械泵（1）上方安装有过滤设备（7）。

技术总结本技术提供一种高真空机组，包括机械泵，机械泵连接有第一接腔体口处，罗茨泵与分子泵相连接，分子泵上设有第二接腔体口处和电动挡板阀，罗茨泵与分子泵连接通过波纹管与密封圈配合且卡箍将其固定。本机组可对腔体进行快速的抽去内部空气，使腔体达到一定的真空度，减少了抽真空运行的时间，也为生产的产品的品质提供了一个保障，同时此机组应用范围广，针对高要求的设备机器产品起着尤为重要的作用。技术研发人员：请求不公布姓名,孙力浩受保护的技术使用者：上海三朗纳米技术有限公司技术研发日：20230822技术公布日：2024/7/11