一种压电微型泵的制作方法

本发明涉及微型泵，具体涉及一种压电微型泵。

背景技术：

1、压电微型泵一般运用于一些便捷式电子设备，例如一些便捷式血压计、头戴式按摩器等，是一种尺寸相对较小的用于输送正压或提供真空的泵。为了实现小尺寸、高效率和无声运行的预期目标，此类泵必须在非常高的频率下运行，通常约为20khz或更高。为了在高频下运行，泵配备的阀门必须对高频振荡压力做出响应，该振荡压力可以被整流以产生通过泵的净流体流量。

2、现有技术的压电微型泵存在振动腔面积有限的问题，致动器的制动面积小，从而导致振动幅度不足，使得形成的气体压强较小，进而会影响流体压力与流量，因此，亟需一种新的压电微型泵，以解决现有技术存在的一些问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种压电微型泵，以解决现有技术存在的一些问题。

2、为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种压电微型泵，包括：

3、泵本体，所述泵本体带有方形空腔；

4、振动隔离片，所述振动隔离片水平设置在方形空腔的中间位置，将所述方形空腔分隔形成上下两个独立的腔体，上下两个所述腔体的端壁上分别贯穿开设两个孔，其中一个孔开设在腔体的端壁居中位置；

5、单向阀，所述单向阀设置在腔体的其中一个孔上；

6、致动器，所述致动器与振动隔离片的其中一个面贴合，并在贴合面上形成电连接；

7、变形片，所述变形片设置在振动隔离片的另一个面上。

8、进一步地，所述振动隔离片采用弹性材料制成。

9、进一步地，所述振动隔离片是聚氨酯薄膜或pet薄膜，或所述振动隔离片采用聚氨酯薄膜与金属薄板的复合材料制成，或所述振动隔离片采用pet薄膜与金属薄板的复合材料制成。

10、进一步地，所述振动隔离片与致动器贴合的平面区域上具有压力节点处，该压力节点处呈不规则的环形，且所述压力节点处的压力趋向为零，所述压力节点处两边的压力呈相反方向。

11、进一步地，所述单向阀是带泄压功能的薄膜阀门。

12、进一步地，所述单向阀包括：

13、间隔件，所述间隔件带有贯穿其上下两端的阀门区域、泄气区域，所述泄气区域设置在阀门区域的旁侧，且所述泄气区域通过连通区域与阀门区域相连通；

14、板，所述板设置两块，两块所述板分别设置在间隔件的上下侧，两块所述板位于阀门区域的位置分别垂直贯穿开设相对应的第一孔，其中一块板位于泄气区域的位置垂直贯穿开设第三孔；

15、瓣膜，所述瓣膜设置在间隔件与开设有第三孔的板之间，所述瓣膜与开设有第三孔的板位于阀门区域的位置分别垂直贯穿开设相对应的第二孔，所述第二孔偏离所述第一孔设置。

16、进一步地，所述致动器采用压电材料制成。

17、进一步地，所述致动器是方形致动器、多边形致动器或圆形致动器中的任意一种。

18、进一步地，所述致动器的上下两个面分别布置有电极，所述致动器与振动隔离片的贴合面上设置有多个电极，与所述振动隔离片的多个电极形成电连接；

19、其中，所述致动器与振动隔离片的贴合面外侧设置一个环形电极，所述环形电极通过侧边电连接处与致动器另一面的电极连通。

20、采用上述技术方案后，相较于现有的技术具有以下有益效果：方形空腔能够为致动器提供更大的制动面积，从而带来振动幅度的增加，使得形成的气体压强增大，带来更大的流体压力与流量。

技术特征：

1.一种压电微型泵，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的压电微型泵，其特征在于，所述振动隔离片采用弹性材料制成。

3.根据权利要求1所述的压电微型泵，其特征在于，所述振动隔离片是聚氨酯薄膜或pet薄膜，或所述振动隔离片采用聚氨酯薄膜与金属薄板的复合材料制成，或所述振动隔离片采用pet薄膜与金属薄板的复合材料制成。

4.根据权利要求1所述的压电微型泵，其特征在于，所述振动隔离片与致动器贴合的平面区域上具有压力节点处，该压力节点处呈不规则的环形，且所述压力节点处的压力趋向为零，所述压力节点处两边的压力呈相反方向。

5.根据权利要求1所述的压电微型泵，其特征在于，所述单向阀是带泄压功能的薄膜阀门。

6.根据权利要求1或5任一项所述的压电微型泵，其特征在于，所述单向阀包括：

7.根据权利要求1所述的压电微型泵，其特征在于，所述致动器采用压电材料制成。

8.根据权利要求1或7任一项所述的压电微型泵，其特征在于，所述致动器是方形致动器、多边形致动器或圆形致动器中的任意一种。

9.根据权利要求8所述的压电微型泵，其特征在于，所述致动器的上下两个面分别布置有电极，所述致动器与振动隔离片的贴合面上设置有多个电极，与所述振动隔离片的多个电极形成电连接；

技术总结本发明提供一种压电微型泵，泵本体，所述泵本体带有方形空腔；振动隔离片，所述振动隔离片水平设置在方形空腔的中间位置，将所述方形空腔分隔形成上下两个独立的腔体，上下两个所述腔体的端壁上分别贯穿开设两个孔，其中一个孔开设在腔体的端壁居中位置；单向阀，所述单向阀设置在腔体的其中一个孔上；致动器，所述致动器与振动隔离片的其中一个面贴合，并在贴合面上形成电连接；变形片，所述变形片设置在振动隔离片的另一个面上。本发明方形空腔能够为致动器提供更大的制动面积，从而带来振动幅度的增加，使得形成的气体压强增大，带来更大的流体压力与流量。技术研发人员：林汉记,张四海受保护的技术使用者：厦门微能电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/15