一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构的制作方法
- 国知局
- 2024-07-30 15:03:42
本技术涉及涡轮叶片,尤其涉及一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构。
背景技术:
1、真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上,而涡轮分子泵是真空镀膜设备中的重要组成部分,它是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
2、现有的涡轮分子泵中的叶片和转轴大多是通过焊接固定在一起的,当其中一个叶片损坏时无法更换,这会导致整个叶轮的废弃,造成资源的浪费,为此我们提出一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构来解决上述问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是为了解决背景技术中涉及的现有技术存在的缺点,而提出的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构。
2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
3、一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,包括涡轮本体,所述涡轮本体内设有转轴,所述转轴上设有叶片结构,所述叶片结构包括叶片部件和固定部件,且固定部件与叶片部件相对应,所述叶片部件包括与转轴固定连接的安装套,所述安装套上设有多个叶片组件,所述固定部件包括与转轴固定连接的圆环,所述圆环上设有多个固定组件,且固定组件与叶片组件相对应。
4、优选的,所述安装套上设有多个限位槽,且限位槽倾斜设置。
5、安装套用于叶片组件的安装。
6、优选的,叶片组件包括与限位槽滑动连接的限位块,所述限位块一端设有插孔,所述限位块一侧固定连接有叶片。
7、优选的,所述限位块的外径与安装套的外径相同,且限位块的长度和安装套的长度相同。
8、优选的,圆环侧面设有滑槽,所述圆环的外径小于限位块的内径。
9、圆环用于固定组件的安装。
10、优选的,固定组件包括与滑槽滑动连接的滑块,所述滑块的一侧固定连接有两个弹性片,所述弹性片另一端固定连接有连接板,所述连接板另一侧固定连接有插杆,且插杆与插孔相对应。
11、固定组件可以对叶片组件进行固定。
12、优选的,两个所述弹性片均为v型并对称设置。
13、本实用新型至少具备以下有益效果:
14、1、一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,通过叶片部件和固定部件的设置,可以对任意叶片单独进行拆装,从而避免整个叶轮的废气,减少资源的浪费。
15、2、一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,通过固定组件的设置,便于叶片组件的拆装,从而加快叶片组件的拆装效率。
技术特征:1.一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,包括涡轮本体(1),其特征在于,所述涡轮本体(1)内设有转轴(101),所述转轴(101)上设有叶片结构(2),所述叶片结构(2)包括叶片部件(3)和固定部件(4),且固定部件(4)与叶片部件(3)相对应,所述叶片部件(3)包括与转轴(101)固定连接的安装套(301),所述安装套(301)上设有多个叶片组件(302),所述固定部件(4)包括与转轴(101)固定连接的圆环(401),所述圆环(401)上设有多个固定组件(402),且固定组件(402)与叶片组件(302)相对应。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,其特征在于,所述安装套(301)上设有多个限位槽(3011),且限位槽(3011)倾斜设置。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,其特征在于,叶片组件(302)包括与限位槽(3011)滑动连接的限位块(3021),所述限位块(3021)一端设有插孔(3022),所述限位块(3021)一侧固定连接有叶片(3023)。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,其特征在于,所述限位块(3021)的外径与安装套(301)的外径相同,且限位块(3021)的长度和安装套(301)的长度相同。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,其特征在于,圆环(401)侧面设有滑槽(4011),所述圆环(401)的外径小于限位块(3021)的内径。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,其特征在于,固定组件(402)包括与滑槽(4011)滑动连接的滑块(4021),所述滑块(4021)的一侧固定连接有两个弹性片(4022),所述弹性片(4022)另一端固定连接有连接板(4023),所述连接板(4023)另一侧固定连接有插杆(4024),且插杆(4024)与插孔(3022)相对应。
7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,其特征在于,两个所述弹性片(4022)均为v型并对称设置。
技术总结本技术公开了一种真空镀膜设备涡轮叶片快拆机构,涉及涡轮叶片技术领域,包括涡轮本体,涡轮本体内设有转轴,转轴上设有叶片结构,叶片结构包括叶片部件和固定部件,且固定部件与叶片部件相对应,叶片部件包括与转轴固定连接的安装套,安装套上设有多个叶片组件,固定部件包括与转轴固定连接的圆环,圆环上设有多个固定组件,且固定组件与叶片组件相对应,安装套上设有多个限位槽,且限位槽倾斜设置,叶片组件包括与限位槽滑动连接的限位块,限位块一端设有插孔,限位块一侧固定连接有叶片。本技术中,可以对任意叶片单独进行拆装,从而避免整个叶轮的废气,减少资源的浪费,同时便于叶片组件的拆装,从而加快叶片组件的拆装效率。技术研发人员:张华静,尹刚受保护的技术使用者:肇庆市龙泽真空设备有限公司技术研发日:20231214技术公布日:2024/7/25本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240729/169537.html
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