排气装置以及真空设备的制作方法

专利名称：排气装置以及真空设备的制作方法技术领域：本实用新型涉及真空排气技术领域，特别是涉及一种排气装置以及真空设备。背景技术：目前，在干法刻蚀等真空设备中，刻蚀前，需要通过真空泵先对真空设备进行抽真空，并通过排气管路将气体排出。在现有技术中，如图1所示，在真空设备100中，所述真空泵Iio用于抽真空，所述真空泵110位于所述排气管路120的下方，所述排气管路120为直管型，所述真空泵110将抽出的气体从所述排气管路120排出。但是，在干法刻蚀过程中，反应腔中的反应气体会使用到六氟化硫(SF6)等特殊气体，以对待刻膜层进行刻蚀工艺。在所述反应腔中，六氟化硫(SF6)等特殊气体会解离为F+等离子体，以对待刻膜层进行刻蚀反应。然而，所述反应腔中通入的六氟化硫是过量的，所以，未反应F+等离子体被所述真空泵110抽出后，会顺着所述排气管路120排出，图1中的虚线箭头方向为气体的排出方向。但在F+从所述排气管路120的上方的排气口排出前，F+会和所述排气管路120中水汽反应产生氢氟酸液体121。因为现有的所述排气管路120为直管型，所述氢氟酸液体121由于重力作用，会直接回流进入所述真空泵110，图1中的实线箭头方向为所述氢氟酸液体121的回流方向。由于所述氢氟酸液体121具有强酸性，会对所述真空泵110产生腐蚀作用，从而导致所述真空泵110使用寿命的降低。因此，如何提供一种排气装置，可以防止氢氟酸等液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理，已成为本领域技术人员需要解决的问题。实用新型内容本实用新型的目的在于，提供一种排气装置以及真空设备，可以防止液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通 ，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空栗。进一步的，在所述排气装置中，所述缓存区为一端开口的直管，所述缓存区的开口正对所述第一口，所述气体传输管为一弯管，所述气体传输管的一端从所述缓存区的侧壁引出并连通所述缓存区的内腔，所述第二口与所述第一口的开口方向相反。进一步的，在所述排气装置中，所述气体传输管为U形。进一步的，在所述排气装置中，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上。进一步的，在所述排气装置中，所述排气装置还包括可拆卸的波纹管，所述气体传输管包括第一部分和第二部分，所述波纹管的两端连接分别连接所述气体传输管的第一部分和第二部分，与所述气体传输管共同形成一个管道整体。根据本实用新型的另一面，本实用新型还提供一种真空设备，包括真空泵和与所述真空泵相连通的排气管路，所述真空设备还包括所述的排气装置。进一步的，在所述真空设备中，所述缓存区为一端开口的直管，所述缓存区的开口正对所述第一口，所述气体传输管为一弯管，所述气体传输管的一端从所述缓存区的侧壁引出并连通所述缓存区的内腔，所述第二口与所述第一口的开口方向相反。进一步的，在所述真空设备中，所述气体传输管为U形。进一步的，在所述真空设备中，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上。进一步的，在所述真空设备中，所述排气装置还包括可拆卸的波纹管，所述气体传输管包括第一部分和第二部分，所述波纹管的两端连接分别连接所述气体传输管的第一部分和第二部分，与所述气体传输管共同形成一个管道整体。与现有技术相比，本实用新型提供的排气装置以及真空设备具有以下优点:1、本实用新型提供一种排气装置以及真空设备，该排气装置的所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵，与现有技术相比，在所述排气管路中形成的液体回流时，由于重力作用，所述液体会直接回流进入所述缓存区，可以防止所述液体回流进入真空泵，并且，所述排气装置安装于所述真空泵与排气管路之间，可以通过拆卸所述排气装置对液体进行收集和处理，方便易实施。2、本实用新型提供一种排气装置以及真空设备，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上，使得该排气装置可以与现有的真空设备整合在一起，改造成本低，应用范围 广。3、本实用新型提供一种排气装置以及真空设备，该排气装置还包括可拆卸的波纹管，使得所述排气装置的安装拆卸快捷简单，进一步地方便对液体的收集和处理，避免液体的泄露。图1为现有技术中的真空设备的示意图；图2为本实用新型一实施例的排气装置的示意图；图3为本实用新型一实施例的排气装置中气体传输管的示意图；图4为本实用新型又一实施例的排气装置的示意图；图5为本实用新型另一实施例的排气装置的示意图；图6为本实用新型一实施例的真空设备的示意图。具体实施方式下面将结合示意图对本实用新型的排气装置以及真空设备进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。[0027]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。本实用新型的核心思想在于，本实用新型提供一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵，当气体流经所述排气管路时，形成的液体回流，由于重力作用，所述液体直接回流进入所述缓存区，可以防止所述液体回流进入真空泵。进一步，结合上述排气装置，本实用新型还提供了一种真空设备，包括真空泵和与所述真空泵相连通的排气管路，所述真空设备还包括所述的排气装置。以下结合图2具体说明本实施例的排气装置，图2为本实用新型一实施例的排气装置的示意图。如图2所示，所述排气装置200包括用于连接排气管路的第一口 210、用于连接真空泵的第二口 220、用于存储液体的缓存区230以及气体传输管240。所述缓存区230正对所述第一口 210，使得通过所述第一口 210进入的回流液体能够通过重力作用直接进入所述缓存区230，而不会通过所述气体传输管240流到所述第二口 220，从而避免所述液体回流至所述真空泵。所述气体传输管240的一端与所述第一口 210连通，所述气体传输管240的另一端与所述第二口 220连通，以使得气体可以通过所述气体传输管240从所述真空泵流入所述排气管路，所述气体传输管240的结构参见图3。所述排气装置200安装于所述真空泵与排气管路之间，可以通过拆卸所述排气装置200对液体进行收集和处理，方便易实施。较佳的，所述缓存区230为一端开口的直管，所述缓存区230的开口正对所述第一口 210，所述气体传输管240为一弯管，所述气体传输管240的一端从所述缓存区230的侧壁引出并连通所述缓存区230的内腔，所述第二口 220与所述第一口 210的开口方向相反，如图2所示，该结构的排气装置200结构简单，方便制造，可以达到避免所述液体回流至所述真空泵的有益效果。但所述排气装置200的结构并不限于上述结构，如所述缓存区230还可以为一侧开口的球体，可以增大所述液体的存储量。并且，所述第二口 220与所述第一口 210的开口方向并不限于相反，具体根据真空泵和排气管路的位置和方向进行设置。较佳的，所述气体传输管240为U形，如图3所示，U形的气体传输管240可以很好的绕过所述缓存区230所在位置，并实现气体的传输，但所述气体传输管240并不限于为U形，如所述气体传输管240还可以为弧形(如图4所示)、V形(如图5所示)等结构，亦可以实现绕过所述缓存区230的功能，亦在本实用新型的思想范围之内。由于在现有的所述排气管路为直通型结构，所述真空泵的出气口与所述排气管路直线排列，所以，为了使所述排气装置200可以与现有的真空设备整合在一起，所述第二口220的中心轴线与所述缓存区230的中心轴线位于同一条直线上。当然，作为一般的情况，也可以如图4所示， 所述第二口 220的中心轴线与所述缓存区230的中心轴线不在同一直线上。[0036]进一步较佳的，参见图2，所述排气装置200还包括可拆卸的波纹管250，所述气体传输管240包括第一部分241和第二部分242，所述波纹管250的两端连接分别连接所述气体传输管240的第一部分241和第二部分242，与所述气体传输管240共同形成一个管道整体，以实现气体的传输。所述波纹管250使得所述排气装置200的安装拆卸快捷简单，进一步地方便对液体的收集和处理，避免液体的泄露。其中，所述波纹管250处于所述气体传输管240中的具体位置不做限制，在图2中，所述波纹管250位于所述气体传输管240的中间位置(也即第一部分241的长度和第二部分242的长度等距离)，但所述波纹管250还可以位于所述气体传输管240的任一端部位置，亦可以实现方便安装的有益效果，亦在本实用新型的思想范围之内。在本实施例中，所述排气装置200可用于制备真空设备，以防止由排气管路回流的液体进入真空泵。如图6所示，图6为本实用新型一实施例的真空设备的示意图。在图6中，所述真空设备300包括真空泵310和排气管路320，所述真空泵310和排气管路320之间还具有所述排气装置200。其中，所述第一口 210连接于所述排气管路320的下方，所述第二口 220连接所述真空泵310。本实施例的所述真空设备300为干法刻蚀设备，所述真空设备300在使用时，在所述反应腔中，六氟化硫(SF6)等特殊气体会解离为F+等离子体，以对待刻膜层进行刻蚀反应。由于所述反应腔中通入的六氟化硫是过量的，所以，未反应F+等离子体被所述真空泵310抽出后，会顺着所述气体传输管240进入所述排气管路320，图5中的虚线箭头方向为气体的排出方向。在F+等离子体从所述排气管路320的上方的排气口排出前，F+会和所述排气管路320中水汽反应产生氢氟酸液体321。所述氢氟酸液体321由于重力作用，直接回流进入所述缓存区230，从而防止氢氟酸液体321回流进入真空泵310，并且可以方便地对氢氟酸液体321进行收集和处理，图6中的实线箭头方向为所述氢氟酸液体321的回流方向。经实验发现，现有技术的真空设备中，真空泵的维护周期为I次/5000小时，但采用本实用新型的所述真空设备中，真空泵的维护周期延长至I次/10000小时，可见，本实用新型的所述排气装置能有·效得防止所述液体回流进入真空泵。本实用新型的所述真空设备并不限于为干法刻蚀设备，还可以用于其他各种真空设备上，其具体实施结构与思路和本实用新型的上述实施例相似，在本实用新型实施例的启示下，这一应用的延伸对本领域普通技术人员而言是易于理解和实现的，在此不再赘述；同理，所述液体也并不限于为氢氟酸液体。综上所述，本实用新型提供一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵，当气体流经所述排气管路时，形成的液体回流，由于重力作用，所述液体直接回流进入所述缓存区，可以防止所述液体回流进入真空泵。与现有技术相比，本实用新型提供的排气装置以及真空设备具有以下优点:1、本实用新型提供一种排气装置以及真空设备，该排气装置的所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵，与现有技术相比，在所述排气管路中形成的液体回流时，由于重力作用，所述液体会直接回流进入所述缓存区，可以防止所述液体回流进入真空泵，并且，所述排气装置安装于所述真空泵与排气管路之间，可以通过拆卸所述排气装置对液体进行收集和处理，方便易实施。2、本实用新型提供一种排气装置以及真空设备，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上，使得该排气装置可以与现有的真空设备整合在一起，改造成本低，应用范围广。3、本实用新型提供一种排气装置以及真空设备，该排气装置还包括可拆卸的波纹管，使得所述排气装置的安装拆卸快捷简单，进一步地方便对液体的收集和处理，避免液体的泄露。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内 ，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，其特征在于，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵。2.如权利要求1所述排气装置，其特征在于，所述缓存区为一端开口的直管，所述缓存区的开口正对所述第一口，所述气体传输管为一弯管，所述气体传输管的一端从所述缓存区的侧壁引出并连通所述缓存区的内腔，所述第二口与所述第一口的开口方向相反。3.如权利要求2所述排气装置，其特征在于，所述气体传输管为U形。4.如权利要求2所述排气装置，其特征在于，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上。5.如权利要求1-4中任意一项所述排气装置，其特征在于，所述排气装置还包括可拆卸的波纹管，所述气体传输管包括第一部分和第二部分，所述波纹管的两端连接分别连接所述气体传输管的第一部分和第二部分，与所述气体传输管共同形成一个管道整体。6.一种真空设备，包括真空泵和与所述真空泵相连通的排气管路，其特征在于，所述真空设备还包括如权利要求1所述的排气装置。7.如权利要求6所述真空设备，其特征在于，所述缓存区为一端开口的直管，所述缓存区的开口正对所述第一口，所述气体传输管为一弯管，所述气体传输管的一端从所述缓存区的侧壁引出并连通所述缓存区的内腔，所述第二口与所述第一口的开口方向相反。8.如权利要求7所述真空设备，其特征在于，所述气体传输管为U形。9.如权利要求7所述真 空设备，其特征在于，所述第二口的中心轴线与所述缓存区的中心轴线位于同一条直线上。10.如权利要求6-9中任意一项所述真空设备，其特征在于，所述排气装置还包括可拆卸的波纹管，所述气体传输管包括第一部分和第二部分，所述波纹管的两端连接分别连接所述气体传输管的第一部分和第二部分，与所述气体传输管共同形成一个管道整体。专利摘要本实用新型揭示了一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵。本实用新型还揭示了一种真空设备，包括真空泵、与所述真空泵相连通的排气管路以及所述的排气装置。本实用新型中的所述排气装置可以防止液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理。文档编号F04B39/00GK203130418SQ201320120568公开日2013年8月14日 申请日期2013年3月15日 优先权日2013年3月15日发明者申劲浩, 李建兴, 何宁 申请人:成都天马微电子有限公司, 天马微电子股份有限公司