一种用于石英管棒的检测仪的制作方法

本技术涉及石英管棒检测设备，特别涉及一种用于石英管棒的检测仪。

背景技术：

1、随着半导体产业景气向上，对于石英管的需求大幅度增长，从而对于这类半导体管件类产品的质量要求也变得越来越高，尤其是一些半导体大型石英管的需求越来越大，密封性的技术指标越来越高。

2、在现有技术中，中国专利公开号cn213274731u公开了一种检测石英管密封性的装置，包括待检测的石英管，待检测的石英管一端封闭，并设置有多个支管，支管和石英管相连通，另一端开口设置，还包括有密封塞和密封垫，密封塞设在支管内，密封塞内插设有通气管，通气管另一端连接在真空抽气机中，密封垫覆盖在待检测的石英管的另一端；随着抽真空机的工作，石英管内逐渐真空将密封垫进行吸附，当吸附到一定程度时，密封垫不需要人工的扶持，吸附在石英管上，抽真空机停止工作，这时密封垫就不会脱落，证明石英管的密封性良好，如密封垫很难吸附或者短时间内脱落就证明石英管的密封性不够，需要进一步的检测。本实用新型结构简单，操作更加的快捷，可以独立操作，提高了检测的效率。

3、上述专利虽然能够对石英管进行气密性检测，但是通过抽真空机达到检测效果增加检测成本，同时检测效果仍存在可靠性低的可能，因此如何提升检测可靠性且降低检测成本是一项急需解决的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种用于石英管棒的检测仪，具有能够提升检测可靠性且降低检测成本的效果。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于石英管棒的检测仪，包括支撑板和石英管，所述支撑板的顶部固定连接有检测箱，所述支撑板的底部固定连接有水箱，所述水箱的内部开设有进水槽，所述水箱的内部设置有水泵，所述水泵的内部固定连接有进水管，所述进水管延伸至检测箱的内部，所述检测箱内部的两侧均固定连接有夹持座，所述夹持座的内部固定连接有弹簧，所述弹簧的一端固定连接有限位球头，所述石英管设置在夹持座的内部，所述石英管的内部设置有颜料，所述石英管的两端均插接有密封塞，所述密封塞的中部套接有密封环。

3、通过采用上述技术方案，在对石英管的气密性进行检测时，工作人员将颜料装填至石英管的内部，之后通过密封塞插接至石英管的两端，密封环对密封塞与石英管之间的间隙进行密封，之后工作人员将石英管延伸至夹持座的内部，限位球头延伸至夹持座的内部，当石英管与限位球头进行接触之后，弹簧被压缩，石英管延伸至夹持座的内部之后，通过两个限位球头进行限位，之后启动水泵，使得水泵将水箱内部的水抽入检测箱的内部，当水进入检测箱的内部之后，观察检测箱的内部是否有气泡冒出，当有气泡冒出时，则证明石英管有破损之处，同时工作人员观察检测箱内部的颜色，当检测箱内部的水与颜料接触之后，水将水变色，当水变色之后则证明石英管的气密效果不佳，因此本装置既能够对石英管进行气密性检测，且检测可靠性极高，同时本装置通过简易的技术手段达到检测效果，降低了检测成本。

4、本实用新型的进一步设置为：所述密封塞的数量为两个，且两个所述密封塞的一端均固定连接有手柄。

5、通过采用上述技术方案，手握手柄，将密封塞插接至石英管的内部，较为便捷。

6、本实用新型的进一步设置为：所述水箱的内部固定安装有水泵支架，所水泵活动安装在水泵支架的内部。

7、通过采用上述技术方案，将水泵安装至水泵支架的内部，进而能够将水泵固定在水箱的内部。

8、本实用新型的进一步设置为：所述检测箱的内部开设有进水口，所述进水口的内部固定连接有底板，所述底板的底部固定连接有进水斗，所述进水管固定连接在进水斗的内部。

9、通过采用上述技术方案，水泵内部的进水管与进水斗固定连接，底板设置在检测箱的内部，进而能够将水抽入检测箱的内部。

10、本实用新型的进一步设置为：所述底板的内部固定连接有格栅，所述格栅的内部固定连接有滤网。

11、通过采用上述技术方案，底板的内部连接有多条格栅，且多条格栅之间的间隙处通过滤网填充，进而使得进水管内部的水进入检测箱的内部之后，通过格栅和滤网对流进行缓冲，防止水因进入的湍急造成水出现大幅度的波动。

12、本实用新型的进一步设置为：所述检测箱的外部固定连接有排水管，所述排水管的内部设置有阀门。

13、通过采用上述技术方案，在对检测箱内部的水进行排放时，打开阀门，水通过排水管排出。

14、本实用新型的有益效果是：

15、1、本实用新型，通过支撑板、石英管、检测箱、水箱、水泵、进水管、夹持座、弹簧、限位球头、颜料、密封塞和密封环之间的设置，在对石英管的气密性进行检测时，工作人员将颜料装填至石英管的内部，之后通过密封塞插接至石英管的两端，密封环对密封塞与石英管之间的间隙进行密封，之后工作人员将石英管延伸至夹持座的内部，限位球头延伸至夹持座的内部，当石英管与限位球头进行接触之后，弹簧被压缩，石英管延伸至夹持座的内部之后，通过两个限位球头进行限位，之后启动水泵，使得水泵将水箱内部的水抽入检测箱的内部，当水进入检测箱的内部之后，观察检测箱的内部是否有气泡冒出，当有气泡冒出时，则证明石英管有破损之处，同时工作人员观察检测箱内部的颜色，当检测箱内部的水与颜料接触之后，水将水变色，当水变色之后则证明石英管的气密效果不佳，因此本装置既能够对石英管进行气密性检测，且检测可靠性极高，同时本装置通过简易的技术手段达到检测效果，降低了检测成本。

16、2、本实用新型，通过底板、进水斗、格栅和滤网之间的设置，水泵内部的进水管与进水斗固定连接，底板设置在检测箱的内部，进而能够将水抽入检测箱的内部，底板的内部连接有多条格栅，且多条格栅之间的间隙处通过滤网填充，进而使得进水管内部的水进入检测箱的内部之后，通过格栅和滤网对流进行缓冲，防止水因进入的湍急造成水出现大幅度的波动。

技术特征：

1.一种用于石英管棒的检测仪，包括支撑板(1)和石英管(2)，其特征在于：所述支撑板(1)的顶部固定连接有检测箱(3)，所述支撑板(1)的底部固定连接有水箱(4)，所述水箱(4)的内部开设有进水槽，所述水箱(4)的内部设置有水泵(5)，所述水泵(5)的内部固定连接有进水管(6)，所述进水管(6)延伸至检测箱(3)的内部，所述检测箱(3)内部的两侧均固定连接有夹持座(7)，所述夹持座(7)的内部固定连接有弹簧(8)，所述弹簧(8)的一端固定连接有限位球头(9)，所述石英管(2)设置在夹持座(7)的内部，所述石英管(2)的内部设置有颜料(10)，所述石英管(2)的两端均插接有密封塞(11)，所述密封塞(11)的中部套接有密封环(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪，其特征在于：所述密封塞(11)的数量为两个，且两个所述密封塞(11)的一端均固定连接有手柄(13)。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪，其特征在于：所述水箱(4)的内部固定安装有水泵支架(14)，所水泵(5)活动安装在水泵支架(14)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪，其特征在于：所述检测箱(3)的内部开设有进水口，所述进水口的内部固定连接有底板(15)，所述底板(15)的底部固定连接有进水斗(16)，所述进水管(6)固定连接在进水斗(16)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种用于石英管棒的检测仪，其特征在于：所述底板(15)的内部固定连接有格栅(17)，所述格栅(17)的内部固定连接有滤网(18)。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英管棒的检测仪，其特征在于：所述检测箱(3)的外部固定连接有排水管(19)，所述排水管(19)的内部设置有阀门(20)。

技术总结本技术涉及石英管棒检测设备技术领域，公开了一种用于石英管棒的检测仪，包括支撑板和石英管，所述支撑板的顶部固定连接有检测箱，所述支撑板的底部固定连接有水箱，所述水箱的内部开设有进水槽，所述水箱的内部设置有水泵，所述水泵的内部固定连接有进水管，所述进水管延伸至检测箱的内部，所述检测箱内部的两侧均固定连接有夹持座。本技术具有以下优点和效果：工作人员观察检测箱内部的颜色，当检测箱内部的水与颜料接触之后，水将水变色，当水变色之后则证明石英管的气密效果不佳，因此本装置既能够对石英管进行气密性检测，且检测可靠性极高，同时本装置通过简易的技术手段达到检测效果，降低了检测成本。技术研发人员：陈林受保护的技术使用者：湖北石创半导体科技有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/7/23