一种紧固组装式垂直探针卡的制作方法

本技术属于探针卡，具体涉及一种紧固组装式垂直探针卡。

背景技术：

1、探针卡是电子测试系统和半导体晶圆之间的接口。通常，探针卡与探针机械对接并与测试仪电连接。其目的是在测试系统和晶圆上的电路之间提供一条电气路径，从而允许在晶圆级对电路进行测试和验证，通常是在它们被切割和封装之前。它通常由印刷电路板和某种形式的接触元件组成，通常是金属的，但也可能由其他材料制成。半导体制造商通常需要为每个新设备晶片和设备缩小使用新的探针卡，因为探针卡实际上是一个定制连接器，采用通用模式给定测试仪并转换信号以连接到晶圆上的电焊盘。为了测试dram和闪存设备，这些焊盘通常由铝制成，每边40–90微米。其他设备可能具有由铜、铜合金或多种类型的焊料制成的平焊盘或凸起的凸块或柱。

2、现有的探卡针通常是用胶粘剂粘合安装的，胶粘剂粘着后无法将探卡针从探针盖板上拆卸下，即使拆下后探卡针和探针盖板也会损坏，并且在探卡针安装和拆卸时，不便快速对探卡针进行安装和拆卸，降低了垂直探卡针本体的安装和拆卸效率。

3、因此，需要一种紧固组装式垂直探针卡，解决现有技术中存在的不便快速对探卡针进行安装和拆卸，降低了垂直探卡针本体的安装和拆卸效率的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种紧固组装式垂直探针卡，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种紧固组装式垂直探针卡，包括探针盖板，所述探针盖板内部设置有连接板，所述连接板顶面固定有垂直探卡针本体，所述连接板外侧壁对立两侧面分别固定有两个对称分布的第一齿条，所述探针盖板内部开设有若干与所述第一齿条相配合的第一内槽，所述第一内槽内顶部一侧转动连接有半型齿杆，所述半型齿杆的一端为倒斜角设置，所述探针盖板内部开设有若干第三内槽，所述第三内槽与所述第一内槽内顶部相连通，所述第三内槽内设置有卡合组件。

3、方案中需要说明的是,所述卡合组件包括安装板，所述安装板活动设置于所述第三内槽内，所述安装板一端固定有与所述半型齿杆一端倒斜角处相配合的限位块，所述安装板底面固定有套管，所述第三内槽内中部固定有挡板，所述挡板靠近套管一侧面固定有第一限位柱，所述第一限位柱外围设置有第一弹簧，所述第一弹簧一端与所述挡板一侧面固定，所述第一弹簧另一端位于所述套管内。

4、进一步值得说明的是，所述安装板顶面固定有第二齿条，所述探针盖板内顶部两侧分别开设有第二内槽，所述第二内槽内侧壁底面两端分别转动连接有转动杆，所述转动杆底端固定有齿轮，所述齿轮对应与所述第二齿条啮合。

5、更进一步需要说明的是，所述转动杆外侧壁顶部固定有带轮，相邻两个所述带轮间转动连接有皮带，一侧两个所述转动杆顶端分别贯穿所述探针盖板，一侧两个所述转动杆顶端分别固定有旋钮。

6、作为一种优选的实施方式，所述探针盖板内侧壁底部四个拐角处分别固定有安装块，所述安装块顶面固定有第二限位柱，所述第二限位柱外围设置有第二弹簧，所述第二弹簧底端与所述安装块顶面固定，所述第一齿条底面开设有与所述第二限位柱相配合的安装孔。

7、作为一种优选的实施方式，所述第三内槽内侧壁底面开设有卡合槽，所述安装板底面固定有限位架，所述限位架与所述卡合槽活动卡合。

8、作为一种优选的实施方式，所述探针盖板内侧壁对立两侧面中部分别固定有定位条，所述连接板外侧壁对立两侧面中部分别固定有与所述定位条活动卡合的定位槽。

9、作为一种优选的实施方式，所述探针盖板底面固定有四个均匀分布的导电柱，所述探针盖板内侧壁底面固定有四个均匀分布且与所述导电柱相卡合的导电管。

10、与现有技术相比，本实用新型提供的一种紧固组装式垂直探针卡，至少包括如下有益效果：

11、(1)通过设置的第一齿条、半型齿杆、限位块和第一弹簧，使得第一齿条下移，半型齿杆能够进行转动，并通过限位块，从而能够快速对垂直探卡针本体进行安装，提高了垂直探卡针本体的安装效率。

12、(2)通过设置的第二限位柱、第二弹簧和安装孔，从而能够使得半型齿杆的位置被取消限定后，第二弹簧能够释放弹力，推动连接板从探针盖板内弹出，从而能够快速将垂直探卡针本体拆卸取出，提高了垂直探卡针本体的拆卸效率。

技术特征：

1.一种紧固组装式垂直探针卡，包括探针盖板(100)，其特征在于，所述探针盖板(100)内部设置有连接板(102)，所述连接板(102)顶面固定有垂直探卡针本体(101)，所述连接板(102)外侧壁对立两侧面分别固定有两个对称分布的第一齿条(400)，所述探针盖板(100)内部开设有若干与所述第一齿条(400)相配合的第一内槽(401)，所述第一内槽(401)内顶部一侧转动连接有半型齿杆(402)，所述半型齿杆(402)的一端为倒斜角设置，所述探针盖板(100)内部开设有若干第三内槽(607)，所述第三内槽(607)与所述第一内槽(401)内顶部相连通，所述第三内槽(607)内设置有卡合组件。

2.根据权利要求1所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述卡合组件包括安装板(404)，所述安装板(404)活动设置于所述第三内槽(607)内，所述安装板(404)一端固定有与所述半型齿杆(402)一端倒斜角处相配合的限位块(403)，所述安装板(404)底面固定有套管(405)，所述第三内槽(607)内中部固定有挡板(408)，所述挡板(408)靠近套管(405)一侧面固定有第一限位柱(407)，所述第一限位柱(407)外围设置有第一弹簧(406)，所述第一弹簧(406)一端与所述挡板(408)一侧面固定，所述第一弹簧(406)另一端位于所述套管(405)内。

3.根据权利要求2所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述安装板(404)顶面固定有第二齿条(601)，所述探针盖板(100)内顶部两侧分别开设有第二内槽(606)，所述第二内槽(606)内侧壁底面两端分别转动连接有转动杆(603)，所述转动杆(603)底端固定有齿轮(600)，所述齿轮(600)对应与所述第二齿条(601)啮合。

4.根据权利要求3所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述转动杆(603)外侧壁顶部固定有带轮(604)，相邻两个所述带轮(604)间转动连接有皮带(605)，一侧两个所述转动杆(603)顶端分别贯穿所述探针盖板(100)，一侧两个所述转动杆(603)顶端分别固定有旋钮(602)。

5.根据权利要求4所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述探针盖板(100)内侧壁底部四个拐角处分别固定有安装块(700)，所述安装块(700)顶面固定有第二限位柱(701)，所述第二限位柱(701)外围设置有第二弹簧(702)，所述第二弹簧(702)底端与所述安装块(700)顶面固定，所述第一齿条(400)底面开设有与所述第二限位柱(701)相配合的安装孔。

6.根据权利要求5所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述第三内槽(607)内侧壁底面开设有卡合槽(501)，所述安装板(404)底面固定有限位架(500)，所述限位架(500)与所述卡合槽(501)活动卡合。

7.根据权利要求1所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述探针盖板(100)内侧壁对立两侧面中部分别固定有定位条(300)，所述连接板(102)外侧壁对立两侧面中部分别固定有与所述定位条(300)活动卡合的定位槽(301)。

8.根据权利要求6所述的一种紧固组装式垂直探针卡，其特征在于：所述探针盖板(100)底面固定有四个均匀分布的导电柱(200)，所述探针盖板(100)内侧壁底面固定有四个均匀分布且与所述导电柱(200)相卡合的导电管(201)。

技术总结本技术公开了一种紧固组装式垂直探针卡，属于探针卡技术领域，针对了不便快速对探卡针进行安装和拆卸，降低了垂直探卡针本体的安装和拆卸效率的问题，包括探针盖板，探针盖板内部设置有连接板，连接板顶面固定有垂直探卡针本体，连接板外侧壁对立两侧面分别固定有两个对称分布的第一齿条，探针盖板内部开设有若干与第一齿条相配合的第一内槽，第一内槽内顶部一侧转动连接有半型齿杆，半型齿杆的一端为倒斜角设置；本技术通过设置的第一齿条、半型齿杆、限位块和第一弹簧，使得第一齿条下移，半型齿杆能够进行转动，并通过限位块，从而能够快速对垂直探卡针本体进行安装，提高了垂直探卡针本体的安装效率。技术研发人员：孙波波受保护的技术使用者：江苏鹏利芝达恩半导体有限公司技术研发日：20231205技术公布日：2024/7/23