液体反灌检测方法、系统、机台及存储介质与流程

本发明涉及半导体制作，尤其涉及一种液体反灌检测方法、系统、机台及存储介质。

背景技术：

1、在半导体材料制作过程中，通常需要对晶圆进行一系列的处理。该处理过程包括液体刻蚀、液体清洗等步骤。在需要利用液体处理进行晶圆的步骤中，往往需要预先按照一定的比例调配晶圆处理液体。通常半导体器件的加工机台上包括用于调配晶圆处理液体的结构。在该结构中，涉及混液腔以及多个进液管道。在半导体器件处理过程中，可能存在进液管道内的液体不足、进液管道存在异常等特殊情况；在这些特殊情况下，可能存在混液腔内的液体反灌至进液管道，此时混液腔内的混合液并不是按照设定的比例进行混合，混合液满足晶圆处理需求。通常可以在进液管道内加装止回阀，利用该止回阀避免混液腔内的液体反灌，但是该方式无法对混液腔和进液管道内是否发生反灌进行检测。

2、上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种液体反灌检测方法、系统、机台及存储介质，旨在解决现有技术中无法对混液腔和进液管道内是否发生反灌进行检测的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提供一种液体反灌检测方法，应用于包括混液腔和进液管路的机台，所述液体反灌检测方法包括：

3、检测所述混液腔一侧的第一压力值，以及各所述进液管路输出端的第二压力值；

4、将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，得到压力比较结果；

5、在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌。

6、可选地，所述在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌之后，包括：

7、定位存在反灌的异常进液管路；

8、控制所述异常进液管路上的阀门停止导通，并对所述异常进液管路进行报警。

9、可选地，所述控制所述异常进液管路上的阀门停止导通，并对所述异常进液管路进行报警之后，还包括

10、在所述异常进液管路上的阀门重新导通时，检测所述异常进液管路输出端的第二压力值；

11、在所述第二压力值小于所述第一压力值时，返回所述控制所述异常进液管路上的阀门停止导通，并对所述异常进液管路进行报警的步骤。

12、可选地，所述在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌之后，包括：

13、控制各所述进液管路上的阀门停止导通，并进行反灌报警。

14、可选地，所述控制各所述进液管路上的阀门停止导通，并进行反灌报警之后，还包括：

15、在所述阀门停止导通时，启动计时；

16、在计时时长达到预设处理时长时，控制所述阀门重新导通，并执行所述检测所述混液腔一侧的第一压力值，以及各所述进液管路输出端的第二压力值的步骤。

17、可选地，所述将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，得到压力比较结果之后，包括：

18、在所述压力比较结果内不存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间不存在液体反灌。

19、可选地，所述将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，得到压力比较结果，包括：

20、检测所述第一压力值与各所述第二压力值的数据准确性；

21、在所述数据准确性满足测试需求时，将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，得到压力比较结果。

22、此外，为实现上述目的，本发明还提出一种存储介质，所述存储介质上存储有液体反灌检测程序，所述液体反灌检测程序被处理器执行时实现所述的液体反灌检测方法的步骤。

23、此外，为实现上述目的，本发明还提出一种液体反灌检测系统，所述液体反灌检测系统包括：

24、设置于混液腔一侧的第一压力传感器；

25、设置于各进液管路输出端的第二压力传感器；

26、分别与所述第一压力传感器以及各所述第二压力传感器连接的控制器。

27、此外，为实现上述目的，本发明还提出一种机台，所述机台包括：混液腔、多个进液管路、晶圆处理腔以及所述的液体反灌检测系统，所述混液腔的输入端与各所述进液管路的输出端连接，所述混液腔的输出端与所述晶圆处理腔连接；

28、所述机台还包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的液体反灌检测程序，所述液体反灌检测程序被所述处理器执行时实现所述的液体反灌检测方法的步骤。

29、本发明中记载了一种液体反灌检测方法、系统、机台及存储介质，该方法通过检测所述混液腔一侧的第一压力值，以及各所述进液管路输出端的第二压力值；将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌。本发明通过压力值检测与压力值比较的方式确定是否发生液体反灌，从而解决了现有技术中无法对混液腔和进液管道内是否发生反灌进行检测的问题。

技术特征：

1.一种液体反灌检测方法，其特征在于，应用于包括混液腔和进液管路的机台，所述液体反灌检测方法包括：

2.如权利要求1所述的液体反灌检测方法，其特征在于，所述在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌之后，包括：

3.如权利要求2所述的液体反灌检测方法，其特征在于，所述控制所述异常进液管路上的阀门停止导通，并对所述异常进液管路进行报警之后，还包括

4.如权利要求1所述的液体反灌检测方法，其特征在于，所述在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌之后，包括：

5.如权利要求4所述的液体反灌检测方法，其特征在于，所述控制各所述进液管路上的阀门停止导通，并进行反灌报警之后，还包括：

6.如权利要求1所述的液体反灌检测方法，其特征在于，所述将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，得到压力比较结果之后，包括：

7.如权利要求1-6任一项所述的液体反灌检测方法，其特征在于，所述将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，得到压力比较结果，包括：

8.一种液体反灌检测系统，其特征在于，所述液体反灌检测系统包括：

9.一种机台，其特征在于，所述机台包括：混液腔、多个进液管路、晶圆处理腔以及权利要求8所述的液体反灌检测系统，所述混液腔的输入端与各所述进液管路的输出端连接，所述混液腔的输出端与所述晶圆处理腔连接；

10.一种存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有液体反灌检测程序，所述液体反灌检测程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的液体反灌检测方法的步骤。

技术总结本发明公开了一种液体反灌检测方法、系统、机台及存储介质，该方法通过检测所述混液腔一侧的第一压力值，以及各所述进液管路输出端的第二压力值；将各所述第二压力值分别与所述第一压力值进行比较，在所述压力比较结果内存在所述第二压力值小于第一压力值时，认定混液腔与进液管路之间存在液体反灌。本发明通过压力值检测与压力值比较的方式确定是否发生液体反灌，从而解决了现有技术中无法对混液腔和进液管道内是否发生反灌进行检测的问题。技术研发人员：徐程铭受保护的技术使用者：江苏卓胜微电子股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25