探头的制作方法

本发明涉及探头。

背景技术：

1、为了检查集成电路等检查对象物，有时经由探头将检查对象物与检查基板电连接。例如，如专利文献1所述，探头具有探针、和设有供探针穿插的贯穿孔的绝缘支承体。探针具有与检查对象物的第1电极接触的第1柱塞、与检查基板的第2电极接触的第2柱塞、和弹簧。在检查对象物的检查中，使第2柱塞与检查基板的第2电极接触，通过弹簧将第1柱塞朝向上方施力，然后，使第1柱塞与检查对象物的第1电极接触。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2006－308486号公报

技术实现思路

1、为了使探针在绝缘支承体的贯穿孔内滑动，在探针的外侧面与贯穿孔的内侧面之间设有间隙。在检查对象物的检查中，有时在使第2柱塞与检查基板的第2电极接触之后，在第1柱塞的前端开放的状态下，第1柱塞朝向上方被施力。在第1柱塞的前端开放的状态下，对于第1柱塞的前端没有施加从第1柱塞的前端朝向第1柱塞的前端的相反侧即基端的方向上的外力。但是，该情况下，有时第1柱塞会倾斜，导致第1柱塞的前端的位置精度恶化。

2、本发明的目的一例为，使探针的前端的位置精度良好。本发明的其他目的根据本说明书的记载而明晰。

3、本发明的一个方式为探头，其具有：

4、探针；和

5、设有锥孔的绝缘支承体，该锥孔支承所述探针的多个部分。

6、根据本发明的上述方式，能够使探针的前端的位置精度良好。

1.一种探头，其中，具有：

2.如权利要求1所述的探头，其中，

3.如权利要求2所述的探头，其中，

4.如权利要求3所述的探头，其中，