一种半导体石英环柔性测量设备的制作方法

本技术涉及一种测量设备，特别涉及一种半导体石英环柔性测量设备，属于半导体材料生产。

背景技术：

1、石英环用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器,光学仪器,实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业,应用十分广泛。石英检测厂家生产的石英环精度高,无气泡,表面平整光滑,耐腐蚀,透光性好,特别适用于光学、电子、化工、军工等领域，现有的石英环在进行生产时需要对石英环的各种参数进行检测，其中就包括圆形程度检测，然而现有的石英环圆形程度检测大多采用人工肉眼进行观察，但是人工看出石英环的为椭圆形状时说明圆形程度较差，细小的椭圆形状，人工肉眼不易观察，因此影响测量精度。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种半导体石英环柔性测量设备，用于解决背景技术中提出的问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

3、本实用新型一种半导体石英环柔性测量设备，包括测量底座，所述测量底座采用侧“l”型结构设计，所述测量底座上表面中心位置开设有横向滑槽，所述横向滑槽内通过轴承转动安装有横向螺杆，所述横向螺杆上螺纹连接有横向移动块，所述横向移动块上表面固定安装有一号测量件，所述一号测量件两侧外壁上均固定安装有随动标尺，所述测量底座一侧外壁上开设有纵向滑槽，所述纵向滑槽内通过轴承转动安装有纵向螺杆，所述纵向螺杆外表面设有对称的正反螺纹，所述纵向螺杆的正反螺纹上螺纹连接有测量夹爪。

4、进一步的，为了起到一定的移动限位导向作用，所述横向滑槽两侧内壁上均开设有内侧滑轨，所述横向移动块两端均固定安装有内置滑块，所述内置滑块与内侧滑轨滑动连接。

5、进一步的，为了方便对测量数据进行直观读取，所述测量底座上表面两侧均刻有横向刻度线，两组所述横向刻度线之间且位于测量底座上表面两侧设置有垂直标识线。

6、进一步的，为了提高测量的数值读取速度，所述纵向滑槽上方刻有纵向刻度线，所述纵向刻度线上方且位于测量底座侧壁上固定安装有led灯板。

7、进一步的，为了方便进行旋转，所述横向螺杆一端固定连接有一号旋钮，所述纵向螺杆一端固定连接有二号旋钮。

8、进一步的，为了提高测量底座工作时的稳定性，所述测量底座底端四角处均固定安装有支撑腿。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了，具备以下有益效果：

10、本实用新型的石英环测量设备，可同时对石英环的两组数值进行同时的测量工作，无需进行分次测量，大大提高了测量速度，且通过对两组数值进行对比即可了解石英环的圆形规整程度，既测量得出的两组数值相差越大则圆形越不规整，相反，若测得的两组数值近似则圆形越规整，且本实用新型不仅可以用于圆形规整程度的检测，也可应用于测量方形半导体材料的长宽测量，有效提高测量柔性，具有一定的测量多样性，使用范围较广，同时本实用新型结构简单，使用方便，采用纯机械传动原理，制造和维护成本低。

技术特征：

1.一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于，包括测量底座(1)，所述测量底座(1)采用侧“l”型结构设计，所述测量底座(1)上表面中心位置开设有横向滑槽(2)，所述横向滑槽(2)内通过轴承转动安装有横向螺杆(3)，所述横向螺杆(3)上螺纹连接有横向移动块(4)，所述横向移动块(4)上表面固定安装有一号测量件(5)，所述一号测量件(5)两侧外壁上均固定安装有随动标尺(6)，所述测量底座(1)一侧外壁上开设有纵向滑槽(11)，所述纵向滑槽(11)内通过轴承转动安装有纵向螺杆(12)，所述纵向螺杆(12)外表面设有对称的正反螺纹，所述纵向螺杆(12)的正反螺纹上螺纹连接有测量夹爪(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述横向滑槽(2)两侧内壁上均开设有内侧滑轨(7)，所述横向移动块(4)两端均固定安装有内置滑块(8)，所述内置滑块(8)与内侧滑轨(7)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述测量底座(1)上表面两侧均刻有横向刻度线(9)，两组所述横向刻度线(9)之间且位于测量底座(1)上表面两侧设置有垂直标识线(10)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述纵向滑槽(11)上方刻有纵向刻度线(14)，所述纵向刻度线(14)上方且位于测量底座(1)侧壁上固定安装有led灯板(15)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述横向螺杆(3)一端固定连接有一号旋钮(16)，所述纵向螺杆(12)一端固定连接有二号旋钮(17)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体石英环柔性测量设备，其特征在于：所述测量底座(1)底端四角处均固定安装有支撑腿(18)。

技术总结本技术公开了一种半导体石英环柔性测量设备，包括测量底座，测量底座采用侧“L”型结构设计，测量底座上表面中心位置开设有横向滑槽，横向滑槽内通过轴承转动安装有横向螺杆，横向螺杆上螺纹连接有横向移动块，横向移动块上表面固定安装有一号测量件，一号测量件两侧外壁上均固定安装有随动标尺，本技术的石英环测量设备，可同时对石英环的两组数值进行同时的测量工作，无需进行分次测量，大大提高了测量速度，且通过对两组数值进行对比即可了解石英环的圆形规整程度，且本技术不仅可以用于圆形规整程度的检测，也可应用于测量方形半导体材料的长宽测量，有效提高测量柔性，具有一定的测量多样性，使用范围较广。技术研发人员：汤永清受保护的技术使用者：福建钰辰微电子有限公司技术研发日：20231130技术公布日：2024/7/25