一种二氯硅烷储瓶堵漏装置的制作方法

本技术属于防堵漏，特别是涉及一种二氯硅烷储瓶堵漏装置。

背景技术：

1、用于制造半导体,尤其是在外延法工艺中作为硅源。二氯二氢硅主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,二氯二氢硅沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低。采用二氯二氢硅在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间。由于二氯二氢硅的沉积速率与采用其他氯硅烷相比对温度敏感性小,因此可以采用调节氢气流中二氯二氢硅浓度的方法来控制沉积速率,而且不会出现鼓泡所带来的不准确性和机械问题。

2、现有技术公开了申请号为：cn202220631713.8 一种多晶硅氯硅烷物料堵漏装置，包括堵漏模具、第一碳纤维胶布、第二碳纤维胶布、引流管、阀门4和接料机构，上述通过该组件对有破损的储瓶进行封口，使气体保存在容器内，但是该装置在被运输时就需要连同有破损的容器以及该装置一起运输，无法使容器与该装置分离，而且当容器与外界气压不一致，通过破损处可能会产生爆炸等意想不到的危害，从而对人员造成危害。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，通过增加组件使该装置进行分离，从而避免了该装置无法与容器分离，提高该装置的运输成本，解决了该装置无法与容器分离等的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型为一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，包括螺纹管，所述螺纹管的外壁固定连接有固定块，所述固定块远离螺纹管的一端固定连接有黏贴软板，所述固定块的内部设置有阀门机构，还包括，所述阀门机构包括螺纹连接在螺纹管外壁的螺纹外壳，所述黏贴软板的外壁开设有排气口，所述螺纹外壳的外壁转动连接有连接管，所述连接管远离螺纹外壳的一端固定连接有连接圆管，所述连接管的内部设置有引导组件。

4、进一步地，所述引导组件包括固定连接在连接管顶端的第二固定块，所述第二固定块的内壁固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有转动轴。

5、进一步地，所述转动轴远离电机的一端固定连接有齿轮柱，所述齿轮柱的外壁啮合连接有竖向齿轮柱，所述竖向齿轮柱的外壁固定连接有连接轴。

6、进一步地，所述连接轴远离竖向齿轮柱的一端固定连接有扇叶，所述齿轮柱的外壁与连接管的内壁转动连接。

7、进一步地，所述阀门机构的内壁固定连接有第二固定柱，所述第二固定柱的顶端固定连接有固定柱。

8、进一步地，所述固定柱远离第二固定柱的一端固定连接有转动块，所述转动块的内壁固定连接有转动柱。

9、进一步地，所述转动柱的底端固定连接有挡半球，所述第二固定柱的内壁与转动柱的外壁转动连接。

10、本实用新型具有以下有益效果：

11、本实用新型，将黏贴软板与破损的地方进行黏贴，使排气口与破损的地方重合，通过该装置将有破损的容器中的气提输送到新的容器内，从而避免了容器内外压力不一致，通过破损处爆炸等可能，通过拧动转动块带动转动柱进行转动，转动柱带动挡半球进行转动，通过挡半球控制气体的输送的开关，将气体转移到完好的容器内，转移完成后，通过转动螺纹外壳与螺纹管进行脱离后，从而将该装置从破损的容器取下，完成循环利用，从而完成与脱离，也可以有效的对破损的容器进行堵漏。

12、本实用新型，启动电机带动转动轴进行转动，转动轴带动齿轮柱进行转动，齿轮柱带动竖向齿轮柱进行转动，竖向齿轮柱同时带动连接轴与扇叶进行转动，在气体转动中，利用连接圆管与完好的容器相通，再通过扇叶使气体转移的更快，也可以避免通过该组件避免气体留存在该装置中，也避免了留存在该装置中的气体对人员身体造成危害。

13、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，包括螺纹管（1），所述螺纹管（1）的外壁固定连接有固定块（2），所述固定块（2）远离螺纹管（1）的一端固定连接有黏贴软板（3），所述固定块（2）的内部设置有阀门机构（4），其特征在于：还包括；

2.根据权利要求1所述的一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，其特征在于，所述引导组件（7）包括固定连接在连接管（6）顶端的第二固定块（702），所述第二固定块（702）的内壁固定连接有电机（701），所述电机（701）的输出端固定连接有转动轴（703）。

3.根据权利要求2所述的一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，其特征在于，所述转动轴（703）远离电机（701）的一端固定连接有齿轮柱（704），所述齿轮柱（704）的外壁啮合连接有竖向齿轮柱（705），所述竖向齿轮柱（705）的外壁固定连接有连接轴（706）。

4.根据权利要求3所述的一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，其特征在于，所述连接轴（706）远离竖向齿轮柱（705）的一端固定连接有扇叶（707），所述齿轮柱（704）的外壁与连接管（6）的内壁转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，其特征在于，所述阀门机构（4）的内壁固定连接有第二固定柱（404），所述第二固定柱（404）的顶端固定连接有固定柱（403）。

6.根据权利要求5所述的一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，其特征在于，所述固定柱（403）远离第二固定柱（404）的一端固定连接有转动块（401），所述转动块（401）的内壁固定连接有转动柱（402）。

7.根据权利要求6所述的一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，其特征在于，所述转动柱（402）的底端固定连接有挡半球（405），所述第二固定柱（404）的内壁与转动柱（402）的外壁转动连接。

技术总结本技术公开了一种二氯硅烷储瓶堵漏装置，涉及防堵漏技术领域，包括螺纹管，所述螺纹管的外壁固定连接有固定块，所述固定块远离螺纹管的一端固定连接有黏贴软板，将黏贴软板与破损的地方进行黏贴，使排气口与破损的地方重合，通过该装置将有破损的容器中的气提输送到新的容器内，从而避免了容器内外压力不一致，通过破损处爆炸等可能，通过拧动转动块带动转动柱进行转动，转动柱带动挡半球进行转动，通过挡半球控制气体的输送的开关，将气体转移到完好的容器内，转移完成后，通过转动螺纹外壳与螺纹管进行脱离后，从而将该装置从破损的容器取下，完成循环利用，从而完成与脱离，也可以有效的对破损的容器进行堵漏。技术研发人员：史隽涛,樊丽红,赵铁,秦小川受保护的技术使用者：沁阳国顺硅源光电气体有限公司技术研发日：20231013技术公布日：2024/6/18