一种提高ALD工序中硅片洁净度的结构的制作方法

本技术涉及光伏电池片生产，更具体的说是涉及一种提高ald工序中硅片洁净度的结构。

背景技术：

1、太阳能电池薄片化发展必然需要优异的表面钝化，以降低少数载流子的表面复合速率(srv)，提高太阳能电池的短路电流和开路电压，进而使光电转换效率提高。硅太阳能电池背面钝化技术是目前光伏电池高效化的有效手段。局域化背电场结构中al掺杂只存在于局部区域，其他区域被钝化膜覆盖，一方面既保证了有效的背场效果，另一方面降低了载流子复合，可以大幅度提高太阳能电池的效率。

2、电池片通过花篮承载进行钝化处理，通过电池片花篮由上一个工序流通至下一个工序，以减少因人为接触而造成对电池片表面的污染和划伤。然而由于传送带两侧的限位结构与花篮的接触，导致摩擦粉尘较多，严重影响了后工序的处理，导致了电池片效率的降低。

3、因此，如何提供一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，旨在解决上述技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，包括基架，和安装于所述基架上的传送带本体；还包括：第一限位梁和除尘吸附板；

4、所述第一限位梁的数量为两根，两根所述第一限位梁分别设于所述传送带本体进入端的两侧，两根所述第一限位梁均固定在所述基架上，且沿所述传送带本体的传送方向布置，所述第一限位梁的顶面高于所述传送带本体的顶面，两根所述第一限位梁之间的间距大于被输送花篮的底盘宽度；

5、所述除尘吸附板固定在所述基架上，且位于所述传送带本体进入端的下方，所述除尘吸附板的顶面贴附有除尘贴。

6、通过上述技术方案，本实用新型对第一限位梁的间距进行调整，使其减少与花篮之间的摩擦接触，降低摩擦粉尘的产生，同时通过除尘吸附板上的除尘贴对摩擦粉尘进行吸附收集，降低了粉尘对于洁净度的影响，提高了电池片的钝化效果。

7、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述第一限位梁和所述除尘吸附板均通过螺栓紧固在所述基架上。通过螺栓进行紧固连接，简单方便，稳定可靠。

8、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述传送带本体的两侧还设有第二限位梁，所述第二限位梁位于所述第一限位梁的后方，两根所述第二限位梁均固定在所述基架上，且顶面高于所述传送带本体的顶面，两根所述第二限位梁之间的间距大于被输送花篮的底盘宽度，且小于两根所述第一限位梁之间的间距；同侧的所述第一限位梁和所述第二限位梁的端头之间连接有楔形过渡板。本实用新型为了进一步提高对花篮的导向效果，利用楔形过渡板对花篮进行导向，一方面减少了花篮与限位梁的接触，另一方面还使得花篮能够导向正位。

9、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述楔形过渡板两端对应的所述第一限位梁和所述第二限位梁的端头分别开设有第一插口和第二插口，所述楔形过渡板的两端分别插入所述第一插口和所述第二插口内，并通过连接所述第一限位梁和所述第二限位梁的螺栓紧固。采用插接形式可以快速对楔形过渡板进行定位，同时采用既有的螺栓进行紧固，连接方便快捷。

10、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述楔形过渡板朝向所述传送带本体的一侧为斜面，且由所述第一限位梁向所述第二限位梁的方向倾斜，两个所述楔形过渡板的间距逐渐减小。采用斜面结构可以实现两个限位梁之间的过渡，且能够减少与花篮的接触面积。

11、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，两个所述楔形过渡板的最小间距等于被输送花篮的底盘宽度。能够使得花篮能够被导正限位。

12、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述楔形过渡板为橡胶材质。橡胶材质具有一定的弹性效果，能够减小与花篮之间的硬性摩擦，减少粉尘。

13、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述楔形过渡板的两端开设有定位紧固孔。通过设置定位紧固孔，能够方便楔形过渡板的快速连接。

14、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述楔形过渡板外露的边角倒圆角。通过倒圆角处理能够防止磕碰损伤。

15、优选的，在上述一种提高ald工序中硅片洁净度的结构中，所述除尘吸附板的顶面贴附有多层除尘贴。可以逐层撕掉除尘贴，进行更换。

16、经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，具有以下有益效果：

17、1、本实用新型对第一限位梁的间距进行调整，使其减少与花篮之间的摩擦接触，降低摩擦粉尘的产生，同时通过除尘吸附板上的除尘贴对摩擦粉尘进行吸附收集，降低了粉尘对于洁净度的影响，提高了电池片的钝化效果。

18、2、本实用新型为了进一步提高对花篮的导向效果，利用楔形过渡板对花篮进行导向，一方面减少了花篮与限位梁的接触，另一方面还使得花篮能够导向正位。

技术特征：

1.一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，包括基架(1)，和安装于所述基架(1)上的传送带本体(2)；其特征在于，还包括：第一限位梁(3)和除尘吸附板(4)；

2.根据权利要求1所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述第一限位梁(3)和所述除尘吸附板(4)均通过螺栓(5)紧固在所述基架(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述传送带本体(2)的两侧还设有第二限位梁(6)，所述第二限位梁(6)位于所述第一限位梁(3)的后方，两根所述第二限位梁(6)均固定在所述基架(1)上，且顶面高于所述传送带本体(2)的顶面，两根所述第二限位梁(6)之间的间距大于被输送花篮的底盘宽度，且小于两根所述第一限位梁(3)之间的间距；同侧的所述第一限位梁(3)和所述第二限位梁(6)的端头之间连接有楔形过渡板(7)。

4.根据权利要求3所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述楔形过渡板(7)两端对应的所述第一限位梁(3)和所述第二限位梁(6)的端头分别开设有第一插口(31)和第二插口(61)，所述楔形过渡板(7)的两端分别插入所述第一插口(31)和所述第二插口(61)内，并通过连接所述第一限位梁(3)和所述第二限位梁(6)的螺栓紧固。

5.根据权利要求4所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述楔形过渡板(7)朝向所述传送带本体(2)的一侧为斜面，且由所述第一限位梁(3)向所述第二限位梁(6)的方向倾斜，两个所述楔形过渡板(7)的间距逐渐减小。

6.根据权利要求5所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，两个所述楔形过渡板(7)的最小间距等于被输送花篮的底盘宽度。

7.根据权利要求3-6中任一项所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述楔形过渡板(7)为橡胶材质。

8.根据权利要求7所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述楔形过渡板(7)的两端开设有定位紧固孔(71)。

9.根据权利要求7所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述楔形过渡板(7)外露的边角倒圆角。

10.根据权利要求7所述的一种提高ald工序中硅片洁净度的结构，其特征在于，所述除尘吸附板(4)的顶面贴附有多层除尘贴。

技术总结本技术公开了一种提高ALD工序中硅片洁净度的结构，涉及光伏电池片生产技术领域，包括基架和安装于基架上的传送带本体；还包括第一限位梁和除尘吸附板；两根第一限位梁分别设于传送带本体进入端的两侧，且沿传送带本体的传送方向布置，第一限位梁的顶面高于传送带本体的顶面，两根第一限位梁之间的间距大于被输送花篮的底盘宽度；除尘吸附板固定在基架上，且位于传送带本体进入端的下方，除尘吸附板的顶面贴附有除尘贴。本技术对第一限位梁的间距进行调整，使其减少与花篮之间的摩擦接触，降低摩擦粉尘的产生，同时通过除尘吸附板上的除尘贴对摩擦粉尘进行吸附收集，降低了粉尘对于洁净度的影响，提高了电池片的钝化效果。技术研发人员：孙鹏,徐振航受保护的技术使用者：中润新能源（徐州）有限公司技术研发日：20231129技术公布日：2024/7/25