一种晶圆低温键合收容器

本技术涉及低温键合，具体是一种晶圆低温键合收容器。

背景技术：

1、键合温度是晶圆键合技术最重要的指标，高温键合技术并不适用含有温度敏感材料器件的键合，因此，降低键合温度实现低温晶圆键合具有十分重要的意义。表面等离子体激活技术可以使晶圆表面产生悬挂键，实现表面活性，进而实现晶圆低温键合。晶圆表面悬挂键只能在真空中保持，即低温键合工艺过程中晶圆表面键的激活以及键合都必须在同一真空环境中完成，比如专利公告号为cn209641643u的专利中记载的低温键合夹具，由第一硅片托盘、第二硅片托盘能组成硅片收容器，通过第一硅片托盘、第二硅片托盘能分别收容一个待键合的硅片，通过容器开闭连接机构能驱动第一硅片托盘、第二硅片托盘同步运动，从而能使得硅片收容器处于张开状态或闭合状态，硅片收容器处于张开状态，且在旋转电机的作用下转动时，能使得硅片的键合膜被激活的更加均匀，而第一硅片托盘与第二硅片托盘接触使得硅片收容器处于闭合状态时，能使得硅片收容器内的硅片贴合。

2、该键合盘对晶圆的固定效果不好，将晶圆放置在第一硅片托盘和第二硅片托盘不能够使其固定，同时晶圆键合过程中，不能对间隙内部存在的气体进行充分抽吸，使得抽真空压合后容易在连接位置产生气泡，降低键合质量。

3、基于此，现在提供一种晶圆低温键合收容器，可以消除现有装置存在的弊端。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆低温键合收容器，以解决固定效果不好和连接位置产生气泡的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种晶圆低温键合收容器，包括箱体，所述箱体的内顶部固定设有固定座，所述固定座的底部固定设有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有夹具，所述夹具的顶端固定设有收容器本体，所述收容器本体内固定设有吸附晶圆使晶圆固定的吸附机构，所述收容器本体内连接有使收容器本体处于真空的抽吸机构。

4、在上述技术方案的基础上，本实用新型还提供以下可选技术方案：

5、在一种可选方案中：所述收容器本体包括托盘，所述托盘的表面固定设有吸附盘。

6、在一种可选方案中：所述吸附机构包括吸附孔，所述吸附孔开设在吸附盘的表面，所述吸附盘的表面边缘处固定设有使晶圆夹持固定的定位夹。

7、在一种可选方案中：所述吸附机构还包括凸环，所述凸环固定设在托盘的表面，所述凸环之间形成吸附通道，所述托盘的表面开设有气孔，所述托盘的侧面设有与气孔连通的抽气孔。

8、在一种可选方案中：所述抽吸机构包括齿条，所述齿条固定设在夹具的侧面，所述齿条与齿轮啮合，所述齿轮转动套设在固定杆上，所述固定杆固定设在箱体的内底部，所述齿轮的上表面固定设有螺杆，所述螺杆上套设有用于抽吸收容器本体内空气的活塞件。

9、在一种可选方案中：所述活塞件包括螺纹块，所述螺纹块螺纹套设在螺杆上，所述螺纹块的上表面固定设有连接杆，所述连接杆的顶端固定设有活塞块，所述活塞块滑动设在活塞箱的内壁，所述活塞箱固定设在箱体的内顶部，所述活塞箱的侧面固定连接有抽吸件。

10、在一种可选方案中：所述抽吸件包括进气管，所述进气管的一端固定连接在活塞箱的侧壁，所述进气管的另一端与抽气孔连接，所述箱体的顶面固定连接有出气管，所述出气管与活塞箱连通。

11、在一种可选方案中：所述进气管和出气管的内部分别固定设有第一阀门和第二阀门。

12、相较于现有技术，本实用新型的有益效果如下：

13、1、本实用新型通过设置抽吸机构，能够在两个晶圆靠近过程中，通过两个夹具之间的靠近，配合活塞箱、活塞块以及连接杆之间的拉动，能够对两个晶圆之间的空气进行抽吸，达到了尽量避免晶圆键合时内部存在气泡的效果。

14、2、本实用新型通过抽吸机构配合吸附孔，使得晶圆吸附孔内形成负压，方便对晶圆进行吸附固定，方便对收容器本体吸附盘上安装的晶圆进行固定。

技术特征：

1.一种晶圆低温键合收容器，包括箱体(100)，所述箱体(100)的内顶部固定设有固定座(101)，所述固定座(101)的底部固定设有液压杆(102)，所述液压杆(102)的输出端固定连接有夹具(103)，所述夹具(103)的顶端固定设有收容器本体(104)，其特征在于，所述收容器本体(104)内固定设有吸附晶圆使晶圆固定的吸附机构(300)，所述收容器本体(104)内连接有使收容器本体(104)处于真空的抽吸机构(200)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述收容器本体(104)包括托盘(105)，所述托盘(105)的表面固定设有吸附盘(106)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述吸附机构(300)包括吸附孔(301)，所述吸附孔(301)开设在吸附盘(106)的表面，所述吸附盘(106)的表面边缘处固定设有使晶圆夹持固定的定位夹(303)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述吸附机构(300)还包括凸环(304)，所述凸环(304)固定设在托盘(105)的表面，所述凸环(304)之间形成吸附通道(305)，所述托盘(105)的表面开设有气孔(306)，所述托盘(105)的侧面设有与气孔(306)连通的抽气孔(302)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述抽吸机构(200)包括齿条(201)，所述齿条(201)固定设在夹具(103)的侧面，所述齿条(201)与齿轮(203)啮合，所述齿轮(203)转动套设在固定杆(202)上，所述固定杆(202)固定设在箱体(100)的内底部，所述齿轮(203)的上表面固定设有螺杆(204)，所述螺杆(204)上套设有用于抽吸收容器本体(104)内空气的活塞件。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述活塞件包括螺纹块(208)，所述螺纹块(208)螺纹套设在螺杆(204)上，所述螺纹块(208)的上表面固定设有连接杆(209)，所述连接杆(209)的顶端固定设有活塞块(210)，所述活塞块(210)滑动设在活塞箱(207)的内壁，所述活塞箱(207)固定设在箱体(100)的内顶部，所述活塞箱(207)的侧面固定连接有抽吸件。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述抽吸件包括进气管(205)，所述进气管(205)的一端固定连接在活塞箱(207)的侧壁，所述进气管(205)的另一端与抽气孔(302)连接，所述箱体(100)的顶面固定连接有出气管(211)，所述出气管(211)与活塞箱(207)连通。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆低温键合收容器，其特征在于，所述进气管(205)和出气管(211)的内部分别固定设有第一阀门(206)和第二阀门(212)。

技术总结本技术公开了一种晶圆低温键合收容器，涉及低温键合技术领域，该收容器包括箱体，所述箱体的内顶部固定设有固定座，所述固定座的底部固定设有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有夹具，所述夹具的顶端固定设有收容器本体，通过液压杆控制夹具的收缩能够使得收容器本体相互靠近或远离，实现对两个晶圆的键合，所述收容器本体内固定设有吸附晶圆使晶圆固定的吸附机构，所述吸附机构使得收容器本体内形成负压，方便对收容器本体上安装的晶圆进行固定，所述收容器本体内连接有使收容器本体处于真空的抽吸机构，所述抽吸机构能够对两个收容器本体内的空气进行抽吸，尽量避免晶圆键合时内部存在气泡。技术研发人员：朱逸舟,鲁琨,蔡昊辰,冒薇,杨恒宇,张泽凡,贾旭东,宋凌冰,宋宇恒,梁孟齐,顾佳佳,王晓蓉,吴姝,董改花,郭秀华受保护的技术使用者：苏州经贸职业技术学院技术研发日：20231225技术公布日：2024/7/29