裸片拾取方法及装置与流程

本发明涉及从切割后的晶圆拾取合格品裸片的裸片拾取方法及装置。

背景技术：

1、已知从切割后的晶圆拾取裸片（裸芯片）作为元件并安装于基板的元件安装装置。该元件安装装置内置有拾取裸片的裸片拾取装置。该裸片拾取装置具备能够单独地吸附裸片的头部、拍摄裸片的相机及控制头部及相机的动作的控制部。控制部基于针对成为吸附对象的晶圆预先制作的、表示各芯片是否合格的晶圆映射，使相机移动到接下来应拾取的合格品芯片的上方（移动处理）。然后，控制部根据由相机拍摄到的该合格品裸片的图像来识别合格品裸片的位置（识别处理）。基于该识别结果，控制部进行控制，使得头部向作为目标的合格品裸片的上方移动并吸附（吸附处理）。这样，为了拾取在晶圆映射中被指定为“合格品裸片”的多个裸片，对每个合格品裸片执行上述移动处理、上述识别处理及上述吸附处理。这些处理顺序是按照晶圆映射进行的，在本说明书中称为“基准顺序”。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本专利第7008124号

技术实现思路

1、发明所要解决的课题

2、另外，在制作晶圆时，有时包含未进行图案形成的裸片（镜面裸片）多个连续的所谓的镜面裸片区域。在该情况下，考虑镜面裸片区域来制作晶圆映射。而且，当以与该晶圆映射对应的基准顺序执行上述的一系列的动作（＝移动处理+识别处理+吸附处理）时，有时产生如下的问题。例如，有时在按照基准顺序（后面说明的图3中的单点划线）连续地拾取的两个合格品裸片（例如图3中的合格品裸片a、g）之间存在镜面裸片区域（图3中的阴影区域mr）。在该情况下，相机经由镜面裸片区域的上方朝向下一个合格品裸片移动。因此，在不执行识别处理的状态下移动的距离变长，产生映射偏差（晶圆映射上的裸片位置与实际的晶圆上的裸片位置的位置偏差），有时产生无法吸附期望的合格品裸片这样的不良情况。

3、本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够从包含未形成图案的镜面裸片的晶圆准确地拾取合格品裸片的裸片拾取方法及装置。

4、用于解决课题的技术方案

5、本发明的第一方式提供一种裸片拾取方法，在具有形成有图案的生产裸片和未形成图案的镜面裸片的晶圆中，参照预先制作的表示各个生产裸片是否合格的晶圆映射，针对生产裸片中的每个合格品裸片，执行拍摄生产裸片的拍摄部的移动、生产裸片的识别及基于识别的结果的头部对合格品裸片的吸附，由此依次拾取合格品裸片，裸片拾取方法的特征在于，包括如下工序：（a）将按照晶圆映射而进行的拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附的顺序作为基准顺序进行存储；（b）在拍摄部按照基准顺序而进行的移动中、每次拍摄部经由镜面裸片的上方进行移动时，判定拍摄部的移动距离是否超过使移动后的映射偏差量收敛于容许值以下所需的容许移动量；及（c）在工序（b）中判定为移动距离超过容许移动量时，从基准顺序变更拍摄部的移动、生产芯片的识别及吸附中的至少一部分的顺序，由此将移动距离抑制在容许移动量以下。

6、另外，本发明的第二方式提供一种裸片拾取装置，从具有形成有图案的生产裸片和未形成图案的镜面裸片的晶圆拾取生产裸片中的合格品裸片，所述裸片拾取装置的特征在于，具备：拍摄部，拍摄生产裸片；头部，吸附合格品裸片；移动部，使拍摄部及头部在晶圆的上方移动；存储部，将按照预先制作的表示各个生产裸片是否合格的晶圆映射而进行的拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附的顺序作为基准顺序进行存储；及控制部，对头部及拍摄部进行控制，控制部具有：移动距离判定部，在拍摄部按照基准顺序而进行的移动中、每次拍摄部经由镜面裸片的上方进行移动时，判定拍摄部的移动距离是否超过使移动后的映射偏差量处于容许值以下所需的容许移动量；及顺序变更部，在判定为移动距离超过容许移动量时，从基准顺序变更拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附中的至少一部分的顺序，由此将移动距离抑制在容许移动量以下。

7、在这样构成的发明中，基本上按照与晶圆映射对应的基准顺序执行拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附。由此，执行合格品裸片的拾取。然而，在拍摄部按照基准顺序经由镜面裸片的上方移动时，其移动距离有时会超过容许移动量。由此，有时产生映射偏差量超过容许值而无法适当地进行生产裸片的识别的不良情况。因此，在本发明中，在移动距离超过容许移动量时，从基准顺序变更拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附中的至少一部分的顺序。其结果，移动距离始终被抑制在容许移动量以下。

8、镜面裸片例如形成于晶圆的周缘部、中央部。因此，作为拍摄部按照基准顺序经由镜面裸片的上方移动而产生映射偏差的模式，能够举出以下3个。即，存在如下模式：第一产生模式，设置有沿着拍摄部按照基准顺序从晶圆的中央部在周缘部折返而移动的折返路径的后半部分连续地形成有多个镜面裸片的镜面裸片区域，通过在该镜面裸片区域的上方移动而产生映射偏差；第二产生模式，设置有沿着拍摄部按照基准顺序从晶圆的中央部在周缘部折返而移动的折返路径的前半部分连续地形成有多个镜面裸片的镜面裸片区域，通过在该镜面裸片区域的上方移动而产生映射偏差；及第三产生模式，设置有沿着拍摄部按照基准顺序在晶圆的中央部移动的中央路径连续地形成有多个镜面裸片的镜面裸片区域，通过在该镜面裸片区域的上方移动而产生映射偏差。

9、在此，也可以构成为，在第一产生模式中，将工序（b）中的移动距离设为拍摄部按照基准顺序即将移动到镜面裸片区域之前吸附的第一合格裸片与拍摄部刚通过镜面裸片区域之后吸附的第二合格裸片之间的距离，工序（c）具有如下工序：（c-1）作为基准顺序的变更，变更折返路径的前半部分的拍摄部的移动、生产裸片的识别及吸附的顺序。由此，从折返路径的前半部分完成的时刻起拍摄部向第二合格品裸片的上方的移动距离被缩短，被抑制在容许移动量以下。

10、作为具体的变更方式，例如也可以构成为，在将沿着折返路径的前半部分存在并且与镜面裸片区域相邻的多个合格品裸片作为变更对象裸片时，工序（c-1）具有如下工序：（c-1-1）在变更对象裸片的识别及吸附之前，使拍摄部沿着折返路径的前半部分移动到晶圆的周缘部，由此使拍摄部位于多个变更对象裸片中的最接近折返位置的变更对象裸片的上方；（c-1-2）在工序（c-1-1）后执行识别及吸附；及（c-1-3）接着工序（c-1-2），在与折返路径的前半部分相反的路径中执行拍摄部的移动、变更对象裸片的识别及吸附。由此，使从变更对象裸片中的最终顺位的合格品裸片的上方到第二合格品裸片的上方的距离、即拍摄部经由镜面裸片区域的上方移动的距离最小化，可靠地抑制为容许移动量以下。

11、当工序（c-1-1）构成为包括以容许移动量进行至少一次以上的拍摄部的移动和识别的工序时，不进行吸附而进行拍摄部的移动和识别的次数变少。其结果，能够缩短裸片拾取所需的时间。

12、另外，也可以构成为，在第二产生模式中，将工序（b）中的拍摄部的移动距离设为拍摄部按照基准顺序即将移动到镜面裸片区域之前吸附的第一合格品裸片与拍摄部刚通过镜面裸片区域之后吸附的第二合格品裸片之间的距离，工序（c）具有如下工序：（c-2）作为基准顺序的变更，变更折返路径的前半部分的拍摄部的移动及识别的顺序。由此，在折返路径的前半部分，拍摄部经由镜面裸片区域的上方移动的距离被可靠地抑制在容许移动量以下。

13、作为具体的变更方式，例如也可以构成为，在将沿着折返路径的后半部分存在的与镜面裸片区域相邻的多个合格品裸片作为变更对象裸片时，工序（c-2）具有如下工序：（c-2-1）使拍摄部沿着与折返路径的后半部分相反的路径移动到晶圆的周缘部，由此使拍摄部位于多个变更对象裸片中的最接近折返位置的变更对象裸片的上方；（c-2-2）在工序（c-2-1）后执行识别及吸附；及（c-2-3）接着工序（c-2-2），在折返路径的后半部分执行拍摄部的移动、变更对象裸片的识别及吸附。由此，使从第一合格品裸片到变更对象裸片中的最先顺位的合格品裸片的上方的距离、即拍摄部经由镜面裸片区域的上方移动的距离最小化，可靠地抑制为容许移动量以下。

14、若工序（c-2-1）构成为包括以容许移动量进行至少一次以上的拍摄部的移动和识别的工序，则不进行吸附而进行拍摄部的移动和识别的次数变少。其结果，能够缩短裸片拾取所需的时间。

15、并且，也可以构成为，在第三产生模式中，将工序（b）中的拍摄部的移动距离设为拍摄部按照基准顺序即将移动到镜面裸片区域之前吸附的第一合格品裸片与拍摄部刚通过镜面裸片区域之后吸附的第二合格品裸片之间的距离，工序（c）具有如下工序：（c-3）作为基准顺序的变更，变更拍摄部的移动和识别的顺序，以使拍摄部沿着从第一合格品裸片经由镜面裸片区域的周围到达第二合格品裸片的迂回路径移动。由此，经由镜面裸片区域的上方的拍摄部的移动距离被抑制在容许移动量以下。

16、若工序（c-3）构成为包括以容许移动量进行至少一次以上的拍摄部的移动和识别的工序，则不进行吸附而进行拍摄部的移动和识别的次数变少。其结果，能够缩短裸片拾取所需的时间。

17、发明效果

18、如上所述，根据本发明，能够从包含未形成图案的镜面裸片的晶圆准确地拾取合格品裸片。