一种LEM工艺稳定性的检测系统及其使用方法与流程

本发明涉及，具体涉及一种lem工艺稳定性的检测系统及其使用方法。

背景技术：

1、lem工艺(英文全称laser enhanced metallization)是一种能改善太阳能电池中金属电极与硅片之间接触的工艺技术，该工艺原理是由局部激光束形成感应载流子，结合施加的反向电压，形成局部电流；局部电流选择的优先路径是低电阻路径，该路径必须已经存在于栅线下方的发射极与ag之间，并导致高电流密度，高电流密度导致发热点(温度800～1000℃)对应处发生局部烧结，引发银与硅的互相扩散，形成良好的欧姆接触。

2、现有技术的核心工艺是激光功率和施加的反向电压，机台工作过程中激光功率和反向电压必须达到设定的参数才能输出稳定的电池片效率和良率，但是实际生产过程中无法检测施加在电池片上的激光功率和反向电压，无法确保每一片电池片获得稳定的激光功率和反向电压，从而无法保证电池片的效率和良率。

技术实现思路

1、(一)本发明提供的一种lem工艺稳定性的检测系统及其使用方法，缓解现有技术中实际生产过程中无法检测施加在电池片上的激光功率和反向电压的技术问题。

2、(二)技术方案

3、为了解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种lem工艺稳定性的检测系统，包括控制端、第一检测模块和第二检测模块；

4、所述第一检测模块和所述第二检测模块均安装于lem工作台面上，且与所述控制端信号连接，所述第一检测模块用于检测所述lem工作台面上的电池片的反向电压数据，生成第一检测信号传输至所述控制端，所述第二检测模块用于检测lem工作台面上的所述电池片的激光功率数据，生成第二检测信号传输至所述控制端。

5、进一步的，所述lem工作台面上设有检测位，所述电池片固定在所述检测位内，所述检测位上方安装有所述第一检测模块和所述第二检测模块。

6、进一步的，还包括检测件，所述检测件与所述控制端电连接，用于检测所述电池片的位置。

7、进一步的，所述第一检测模块包括反向电压探针排，所述反向电压探针排安装于所述检测位上方，所述电压探针排的正极与所述lem工作台面相连，所述电压探针排的负极与所述电池片的主栅线相连。

8、进一步的，所述第一检测模块还包括连接杆，所述连接杆的一端安装于所述lem工作台面上，且与所述检测位相互垂直，所述反向电压探针排可滑动安装于所述连接杆上，所述反向电压探针排与所述控制端电连接。

9、进一步的，所述第一检测模块还包括电流电压表，所述电流电压表的正极与所述lem工作台面电连接，所述电流电压表的负极与所述反向电压探针排电连接。

10、进一步的，所述第二检测模还包括激光功率计，所述激光功率计安装于所述检测位的上方，且与所述控制端电连接。

11、进一步的，所述第二检测模块还包括激光灯，所述激光灯安装于所述激光功率计的上方，用于照射所述激光功率计上。

12、进一步的，所述第二检测模块还包括伸缩杆，所述伸缩杆的一端与lem工作台面相连，所述激光功率计设于所述伸缩杆远离所述lem工作台面的另一端，所述伸缩杆与所述控制端电连接。

13、本发明的实施例还提供了一种lem工艺稳定性的检测系统的使用方法，利用上述lem工艺稳定性的检测系统对lem工作台面的工艺稳定性进行检测，包括如下步骤：

14、s1，在所述控制端输入反向电压数据范围和激光功率数据范围，将所述电池片传输至所述lem工作台面；

15、s2，所述第一检测模块对所述电池片进行反向电压的数据检测，并通过控制端进行判断是否与输入反向电压数据范围一致，不一致则调整第一检测模块再次检测，直至数据范围一致；

16、s3，所述第二检测模块对所述电池片进行激光功率的数据检测，并通过控制端进行判断是否与输入激光功率数据范围一致，不一致则调整第二检测模块再次检测，直至数据范围一致；

17、s4，经步骤s2和步骤s3处理后，所述lem工作台面对所述电池片进行处理，并传输至下一道工序。

18、本发明的有益效果：本发明提供的一种lem工艺稳定性的检测系统，通过安装在lem工作台面上的第一检测模块和第二检测模块对输出至lem工作台面上的电池片进行反向电压数据和激光功率数据的检测，并生成第一检测信号和第二检测信号传输至控制端，控制端进行判断电压数据和激光功率数据是否符合要求，从而能够在线检测lem工作台面的反向电压和激光功率的稳定性，使得每一片电池片都能获得稳定的反向电压和激光功率，有效提升电池片的生产效率和良率。

19、本发明还提供了一种lem工艺稳定性的检测系统的使用方法，该使用方法能够实时在线检测lem工作台面反向电压和激光功率的实际数据，并通过控制端进行判断，不符合数据范围要求的能够及时进行调整，从而保证每一片电池片都能获得稳定的反向电压和激光功率，有效提升电池片的生产效率和良率。

技术特征：

1.一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，包括控制端(100)、第一检测模块和第二检测模块；

2.根据权利要求1所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述lem工作台面上设有检测位(200)，所述电池片固定在所述检测位(200)内，所述检测位(200)上方安装有所述第一检测模块和所述第二检测模块。

3.根据权利要求2所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，还包括检测件(300)，所述检测件(300)与所述控制端(100)电连接，用于检测所述电池片的位置。

4.根据权利要求2所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述第一检测模块包括反向电压探针排(400)，所述反向电压探针排(400)安装于所述检测位(200)上方，所述电压探针排的正极与所述lem工作台面相连，所述电压探针排的负极与所述电池片的主栅线相连。

5.根据权利要求4所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述第一检测模块还包括连接杆，所述连接杆的一端安装于所述lem工作台面上，且与所述检测位(200)相互垂直，所述反向电压探针排(400)可滑动安装于所述连接杆上，所述反向电压探针排(400)与所述控制端(100)电连接。

6.根据权利要求4所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述第一检测模块还包括电流电压表(500)，所述电流电压表(500)的正极与所述lem工作台面电连接，所述电流电压表(500)的负极与所述反向电压探针排(400)电连接。

7.根据权利要求2所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述第二检测模块包括激光功率计(600)，所述激光功率计(600)安装于所述检测位(200)的上方，且与所述控制端(100)电连接。

8.根据权利要求7所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述第二检测模块还包括激光灯(700)，所述激光灯(700)安装于所述激光功率计(600)的上方，用于照射所述激光功率计(600)上。

9.根据权利要求8所述的一种lem工艺稳定性的检测系统，其特征在于，所述第二检测模块还包括伸缩杆，所述伸缩杆的一端与lem工作台面相连，所述激光功率计(600)设于所述伸缩杆远离所述lem工作台面的另一端，所述伸缩杆与所述控制端(100)电连接。

10.一种lem工艺稳定性的检测系统的使用方法，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的一种lem工艺稳定性的检测系统对lem工作台面的工艺稳定性进行检测，具体包括如下步骤：

技术总结本发明涉及技术领域，具体涉及一种LEM工艺稳定性的检测系统及其使用方法，该检测系统包括控制端、第一检测模块和第二检测模块；所述第一检测模块和所述第二检测模块均安装于LEM工作台面上，且与所述控制端信号连接，所述第一检测模块用于检测所述LEM工作台面上的电池片的反向电压数据，生成第一检测信号传输至所述控制端，所述第二检测模块用于检测LEM工作台面上的所述电池片的激光功率数据，生成第二检测信号传输至所述控制端。本发明提供的检测系统及其使用方法能够在线检测LEM工作台面的反向电压和激光功率的稳定性，使得每一片电池片都能获得稳定的反向电压和激光功率，有效提升电池片的生产效率和良率。技术研发人员：季勇健,伏进文,杜文轩受保护的技术使用者：环晟光伏（江苏）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29