显示装置及显示装置的制造方法与流程

本发明的一个方式涉及一种显示装置、显示模块及电子设备。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本发明的一个方式的的一个例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、照明装置、输入装置(例如，触摸传感器)、输入输出装置(例如，触摸面板)、包括这些装置的显示模块、包括该显示模块的电子设备、上述装置的驱动方法或上述装置的制造方法。

背景技术：

1、近年来，显示装置被期待应用于各种用途。例如，作为大型显示装置的用途，可以举出家用电视装置(也称为电视或电视接收器)、数字标牌(digital signage)及pid(public informationdisplay：公共信息显示器)等。此外，作为便携式信息终端，对具备触摸面板的智能手机或平板终端等已在进行研发。

2、另外，有显示装置的高清晰化的需求。作为需要高清晰显示装置的设备，例如面向虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmented reality)、替代现实(sr：substitutional reality)以及混合现实(mr：mixedreality)的设备的开发很活跃。

3、作为显示装置，例如对包括发光器件(也称为发光元件)的发光装置已在进行研发。利用电致发光(electroluminescence，以下称为el)现象的发光器件(也称为el器件、el元件)具有如下特征：容易实现薄型轻量；能够高速地响应输入信号；以及能够使用直流恒压电源而驱动等，并已将其应用于显示装置。

4、专利文献1公开了使用有机el器件(也称为有机el元件)的面向vr的显示装置。

5、[先行技术文献]

6、[专利文献]

7、[专利文献1]国际专利申请公开第2018/087625号

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、本发明的一个方式的目的之一是提供一种能够以高亮度显示的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。

3、本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

4、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。

5、解决技术问题的手段

6、本发明的一个方式是一种显示装置，该显示装置包括第一发光器件、第二发光器件、第一侧壁绝缘层、第二侧壁绝缘层、第三侧壁绝缘层及绝缘层，第一发光器件包括第一导电层、第一导电层上的第一层及第一层上的公共电极，第二发光器件包括第二导电层、第二导电层上的第二层及第二层上的公共电极，第一导电层的端部与第一层的端部重叠，第一侧壁绝缘层与第一导电层的侧面及第一层的侧面接触，第二导电层的端部与第二层的端部重叠，第二侧壁绝缘层与第二导电层的侧面及第二层的侧面接触，第三侧壁绝缘层接触于第二侧壁绝缘层的与第二导电层的侧面及第二层的侧面所接触的侧面相反一侧的侧面，绝缘层与第一导电层、第一层、第二导电层及第二层的各顶面的一部分及侧面重叠，并且，公共电极设置在第一层、第二层及绝缘层上。

7、另外，在上述显示装置中，第一导电层及第二导电层优选分别包含对可见光具有反射性的材料。

8、另外，上述显示装置优选还包括由第二侧壁绝缘层及第三侧壁绝缘层构成的第四侧壁绝缘层，第四侧壁绝缘层的厚度优选比第一侧壁绝缘层的厚度厚。

9、另外，在上述显示装置中，第一侧壁绝缘层、第二侧壁绝缘层及第三侧壁绝缘层优选分别包含无机绝缘材料。

10、在上述显示装置中，绝缘层的侧面优选具有锥形形状。

11、在上述显示装置中，绝缘层优选包含有机绝缘材料。

12、此外，本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一导电膜；在第一导电膜上形成包含第一发光物质的第一膜；在第一膜上形成第一掩模膜；加工第一导电膜、第一膜及第一掩模膜来以各侧面大致对齐的方式形成第一导电层、第一层及第一掩模层；在第一掩模层上形成第二导电膜；在第二导电膜上形成包含第二发光物质的第二膜；在第二膜上形成第二掩模膜；以及加工第二导电膜、第二膜及第二掩模膜来以各侧面大致对齐的方式形成第二导电层、第二层及第二掩模层且使第一掩模层的顶面露出。

13、另外，在上述显示装置的制造方法中，第一导电膜及第二导电膜优选分别使用对可见光具有反射性的材料形成。

14、另外，在上述显示装置的制造方法中，优选的是，第一膜使用包含发射蓝色光的第一发光物质的材料形成，第二膜使用发射比蓝色波长长的可见光的第二材料形成。

15、在上述显示装置的制造方法中，优选的是，在形成第二导电层、第二层及第二掩模层之后在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜，在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜，加工第二绝缘膜来在第一导电层与第二导电层夹持的区域中形成绝缘层，通过以绝缘层为掩模进行蚀刻处理，加工第一绝缘膜、第一掩模层及第二掩模层并使第一层的顶面及第二层的顶面露出，并且以覆盖第一层、第二层及绝缘层的方式形成公共电极。

16、在上述显示装置的制造方法中，优选的是，作为第一绝缘膜利用ald法形成氧化铝膜，作为第一掩模膜及第二掩模膜分别利用ald法形成氧化铝膜。

17、在上述显示装置的制造方法中，第二绝缘膜优选使用感光性的丙烯酸树脂形成。

18、在上述显示装置的制造方法中，优选的是，蚀刻处理分为第一蚀刻处理及第二蚀刻处理来进行，在以绝缘层为掩模的第一蚀刻处理中加工第一绝缘膜、第一掩模层及第二掩模层进行加工来去除第一绝缘膜的一部分且使第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分的厚度薄，在进行加热处理之后，在以绝缘层为掩模的第二蚀刻处理中去除第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分，来使第一层的顶面及第二层的顶面露出。

19、在上述显示装置的制造方法中，优选利用湿蚀刻进行第一蚀刻处理及第二蚀刻处理。

20、另外，在上述显示装置的制造方法中，优选的是，在形成第一导电层、第一层及第一掩模层之后，以与第一导电层的侧面、第一层的侧面以及第一掩模层的侧面及顶面接触的方式形成第一侧壁绝缘膜，利用各向异性蚀刻加工第一侧壁绝缘膜形成与第一导电层的侧面及第一层的侧面接触的第一侧壁绝缘层，在形成第二导电膜、第二膜及第二掩模层之后，以与第二导电层的侧面、第二层的侧面以及第二掩模层的侧面及顶面接触的方式形成第二侧壁绝缘膜，并且利用各向异性蚀刻加工第二侧壁绝缘膜分别形成接触于第二导电层的侧面及第二层的侧面的第二侧壁绝缘层以及接触于第一侧壁绝缘层的与第一导电层、第一层及第一掩模层相反一侧的侧面的第三侧壁绝缘层。

21、另外，在上述显示装置的制造方法中，作为第一侧壁绝缘膜及第二侧壁绝缘膜优选分别利用ald法形成氧化铝膜。

22、发明效果

23、根据本发明的一个方式，可以提供一种能够以高亮度显示的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置。

24、根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

25、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。