样品元素浓度确定方法、装置、设备及存储介质与流程

本发明涉及数据处理，尤其涉及一种样品元素浓度确定方法、装置、设备及存储介质。

背景技术：

1、二次离子质谱(sims，secondary ion mass spectroscopy)是一种利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表面，使之激发和溅射二次离子，经过加速和质谱分析进行样品表面成分分析的手段。尽管二次离子质谱检测灵敏度很高，但二次离子质谱对芯片样品元素的不同深度下的浓度定量分析仍存在精确度不够的问题，样品元素的浓度无法用离子强度来进行客观比较。

2、现有技术在进行样品元素在不同溅射深度下的浓度确定方式通常是基于元素在不同溅射时间下的离子强度数据，再不考虑样品元素自身结构特性的基础上进行溅射深度与元素浓度的关系转换。然而，这种方式确定得到的样品元素在不同溅射深度下的元素浓度的精确度较低，从而导致计算结果与实际结果之间存在较大的偏差。

技术实现思路

1、本发明提供了一种样品元素浓度确定方法、装置、设备及存储介质，以提高样品元素在不同溅射深度下的元素浓度的确定精准度。

2、根据本发明的一方面，提供了一种样品元素浓度确定法，所述方法包括：

3、确定待测样品的待测元素；

4、对所述待测样品进行样品结构分层，得到至少一个样品分层结构；

5、确定各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子；

6、根据待测元素在各所述样品分层结构下的元素离子信号强度，基于各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，确定待测元素在各所述样品分层结构所在溅射深度下的元素浓度。

7、根据本发明的另一方面，提供了一种样品元素浓度确定装置，所述装置包括：

8、待测元素确定模块，用于确定待测样品的待测元素；

9、结构分层模块，用于对所述待测样品进行样品结构分层，得到至少一个样品分层结构；

10、灵敏度因子确定模块，用于确定各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子；

11、元素浓度确定模块，用于根据待测元素在各所述样品分层结构下的元素离子信号强度，基于各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，确定待测元素在各所述样品分层结构所在溅射深度下的元素浓度。

12、根据本发明的另一方面，提供了一种电子设备，所述电子设备包括：

13、至少一个处理器；以及

14、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

15、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行本发明任一实施例所述的样品元素浓度确定方法。

16、根据本发明的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本发明任一实施例所述的样品元素浓度确定方法。

17、根据本发明的另一方面，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现本发明任一实施例所述的样品元素浓度确定方法。

18、本发明实施例技术方案通过确定待测样品的待测元素；对待测样品进行样品结构分层，得到至少一个样品分层结构；确定各样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子；根据待测元素在各样品分层结构下的元素离子信号强度，基于各样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，确定待测元素在各样品分层结构所在溅射深度下的元素浓度。上述技术方案通过在确定相对灵敏度因子的过程中考虑待测样品的样品分层结构，从而基于不同样品分层结构下的相对灵敏度因子确定待测元素在相应样品分层结构所在溅射深度下的元素浓度的方式，提高了对待测元素在不同溅射深度下的元素浓度的确定精准度，从而使得其测试结果与实际结果之间存在较小的偏差。

19、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种样品元素浓度确定方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述确定各所述样品分层结构分别对应的参考标样，包括：

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述标样元素参数信息包括：标样元素离子信号强度和标样元素浓度；所述标样元素离子信号强度信息包括标样待测元素离子信号强度和基质元素离子信号强度。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据各所述参考标样的标样元素参数信息，确定各所述样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，包括：

6.一种样品元素浓度确定装置，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述灵敏度因子确定模块，包括：

8.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：

9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-5中任一项所述的样品元素浓度确定方法。

10.一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序在被处理器执行时实现根据权利要求1-5中任一项所述的样品元素浓度确定方法。

技术总结本发明公开了一种样品元素浓度确定方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：确定待测样品的待测元素；对待测样品进行样品结构分层，得到至少一个样品分层结构；确定各样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子；根据待测元素在各样品分层结构下的元素离子信号强度，基于各样品分层结构分别对应的相对灵敏度因子，确定待测元素在各样品分层结构所在溅射深度下的元素浓度。本发明实施例技术方案提高了样品元素在不同溅射深度下的元素浓度的确定精准度。技术研发人员：陈向阳,蒋军浩受保护的技术使用者：武汉天工芯测科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/5