一种玻璃基板在线曝光吸附平台的制作方法

本技术属于玻璃基板曝光，尤其涉及一种玻璃基板在线曝光吸附平台。

背景技术：

1、平板显示器(fpd)基板已被广泛用于电脑、电视机、手机等领域，这种液晶显示基板是在一个感光基板上通过光刻制备透明薄膜电极而制造出来的。当前，随着技术的发展与市场的需求，平板显示行业的玻璃基板尺寸不断扩大，厚度不断变薄，因此对生产线的制作技术要求更高。这种大尺寸玻璃基板，在产线内通常是通过输送滚轮实现在不同工艺线体之间的传输。

2、现有曝光工艺，通常使用机械手从输送线上拾取玻璃基板，将玻璃基板放置到曝光平台的顶升平台上，使玻璃基板定位到曝光平台上。随后，曝光平台启动真空，吸附玻璃基板，开始曝光。曝光完成后，再通过顶升平台顶起玻璃，机械手拾取玻璃放回输送线上。

3、例如公开号为cn110426921a的中国发明专利申请公开了一种曝光机，该曝光机用于将电路绘制于玻璃基板上，该曝光机包括：壳体、机械手、保护罩和导流组件，壳体用于为玻璃基板提供密闭的工作环境，机械手固定在壳体内，机械手用于将玻璃基板传递至壳体中的曝光区域处。该专利申请就需要配合机械手实现玻璃基板的输送。

4、上述方案存在以下的不足之处：

5、首先，为保证长尺寸机械手臂的强度和刚度，机械手臂的材质通常采用碳纤维，造价很高，同时大型机械手本体的成本也很高；

6、其次，鉴于玻璃基板本身尺寸很大，机械手为适配玻璃基板，其尺寸也会随着增大，导致曝光工位会占用很大的洁净室空间。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决现有曝光工艺存在的机械臂造价高、占用空间大的问题，而提出的一种玻璃基板在线曝光吸附平台。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种玻璃基板在线曝光吸附平台，包括：

4、吸盘组件，所述吸盘组件包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘；

5、曝光单元，设置在所述吸盘组件的上方；

6、z轴组件，用于驱动所述吸盘组件升降；以及

7、固定设置的滚轮输送组件，所述滚轮输送组件包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮；

8、所述z轴组件驱动所述吸盘升高至高位时，所述输送滚轮顶端的高度低于所述吸盘上表面的高度，所述z轴组件驱动所述吸盘下降至低位时，所述输送滚轮顶端的高度高于所述吸盘上表面的高度。

9、优选的，所述吸盘上开设有上下贯通的若干避让孔，所述输送滚轮与所述避让孔一一对应。

10、优选的，所述滚轮输送组件还包括多个横轴，所述输送滚轮同心固定在所述横轴上。

11、优选的，所述z轴组件包括z轴以及固定在z轴顶端的升降板，所述输送滚轮设置在吸盘和升降板之间。

12、优选的，所述吸盘组件还包括多个安装柱，所述升降板通过安装柱固定连接在吸盘的底部。

13、优选的，所述吸盘包括水平并排布置的若干条状吸盘部。

14、优选的，还包括对准组件，所述对准组件包括对准相机和照明光源，所述对准相机和所述照明光源分别设置在玻璃基板的上下两侧。

15、优选的，还包括规整组件，所述规整组件包括固定设置的升降气缸、设置在升降气缸活塞杆上的横移气缸以及与横移气缸活塞杆相连接的规整导轮。

16、优选的，所述规整组件还包括与横移气缸活塞杆固接的横架以及固定在横架两端的竖轴，所述规整导轮转动连接在竖轴的顶部。

17、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

18、本实用新型中，利用z轴组件对吸盘和输送滚轮之间的相对位置进行调整，当需要输送玻璃基板时，可通过z轴组件将吸盘降低至低位，使得输送滚轮的顶端从吸盘的上表面凸出，以便利用输送滚轮输送玻璃基板；而当需要对玻璃基板进行吸附固定时，则可通过z轴组件将吸盘上升至高位，使得输送滚轮收纳到吸盘和升降板之间，此时玻璃基板与吸盘上表面接触，启动负压设备即可对玻璃基板进行吸附固定，整个过程中，无需利用机械手臂移动玻璃基板，一方面，降低了实际的曝光成本，另一方面，可以节省曝光设备的占地空间，同时也能很好地融入到玻璃基板的生产线内。

技术特征：

1.一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，所述吸盘(11)上开设有上下贯通的若干避让孔(12)，所述输送滚轮(41)与所述避让孔(12)一一对应。

3.根据权利要求1所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，所述滚轮输送组件(4)还包括多个横轴(42)，所述输送滚轮(41)同心固定在所述横轴(42)上。

4.根据权利要求1所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，所述z轴组件(3)包括z轴(31)以及固定在z轴(31)顶端的升降板(32)，所述输送滚轮(41)设置在吸盘(11)和升降板(32)之间。

5.根据权利要求4所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，所述吸盘组件(1)还包括多个安装柱(13)，所述升降板(32)通过安装柱(13)固定连接在吸盘(11)的底部。

6.根据权利要求1所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，所述吸盘(11)包括水平并排布置的若干条状吸盘部(111)。

7.根据权利要求1所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，还包括对准组件(5)，所述对准组件(5)包括对准相机(51)和照明光源(52)，所述对准相机(51)和所述照明光源(52)分别设置在玻璃基板的上下两侧。

8.根据权利要求1所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，还包括规整组件(6)，所述规整组件(6)包括固定设置的升降气缸(61)、设置在升降气缸(61)活塞杆上的横移气缸(62)以及与横移气缸(62)活塞杆相连接的规整导轮(65)。

9.根据权利要求8所述的一种玻璃基板在线曝光吸附平台，其特征在于，所述规整组件(6)还包括与横移气缸(62)活塞杆固接的横架(63)以及固定在横架(63)两端的竖轴(64)，所述规整导轮(65)转动连接在竖轴(64)的顶部。

技术总结本技术公开了一种玻璃基板在线曝光吸附平台，属于玻璃基板曝光技术领域，包括吸盘组件、曝光单元、Z轴组件和固定设置的滚轮输送组件，所述吸盘组件包括与负压设备连通且用于吸附玻璃基板的吸盘；曝光单元设置在所述吸盘组件的上方；Z轴组件用于驱动所述吸盘组件升降；所述滚轮输送组件包括用于输送玻璃基板的若干输送滚轮；所述Z轴组件驱动所述吸盘升高至高位时，所述输送滚轮顶端的高度低于所述吸盘上表面的高度，所述Z轴组件驱动所述吸盘下降至低位时，所述输送滚轮顶端的高度高于所述吸盘上表面的高度。本技术一方面，降低了实际的曝光成本，另一方面，可以节省曝光设备的占地空间，同时也能很好地融入到玻璃基板的生产线内。技术研发人员：程强受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司技术研发日：20231019技术公布日：2024/9/17