一种光伏电池镀膜装置的制作方法

本发明属于光伏电池生产领域，具体的说是一种光伏电池镀膜装置。

背景技术：

1、光伏电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，只要被满足一定照度条件的光照度，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流；光伏镀膜是制作光伏电池的重要步骤，蒸发是光伏镀膜的核心步骤，主要是将金属、合金等材料蒸发，形成薄膜沉积在基板上。

2、公开号为cn111916530a的一项专利申请公开了量产型高效光伏电池三合一镀膜设备，通过一个镀膜设备就可完成上述镀膜，设计有炉管，炉管两端安装有法兰，所有气体均通过法兰上的进气孔进入石英管内，并且密封石英管内与外界，有冷却水可在法兰内部流通，给法兰降温，避免橡胶密封圈融化，所述法兰四周均匀分布进气孔，保证气源通入均匀。使镀膜工艺更简单，降低了生产成本，镀膜过程不用多次周转，减少污染风险工艺稳定性更高，缩短了氧化时间，极大的提升了产能。

3、传统的镀膜设备功能较为简单，镀膜过程需要操作员进行辅助操作，不仅占用了较多的人力成本，且失误概率较高，同时镀膜过程需要保持真空环境，传统设备的密封结构很难保证镀膜全过程处于真空环境，容易导致镀膜质量降低。

4、为此，本发明提供一种光伏电池镀膜装置。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

2、本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种光伏电池镀膜装置，包括防护箱，所述防护箱的外侧固接有传输管，所述传输管与防护箱内部连通，所述传输管的顶部安装有与传输管内部连通的真空泵一，所述传输管中设置有用于运输基材板的托盘器，所述防护箱的外侧安装有电子束发生器，所述电子束发生器的输出端贯穿至防护箱的内侧，所述防护箱的内侧顶部设置有抓取组件，所述抓取组件用于抓取从传输管中运输而来的基材板，所述防护箱设置有多个坩埚；

3、从传输管的一端将光伏电池的基材板放在托盘器上，将传输管的一端封闭，启动真空泵一对传输管进行抽真空处理，之后托盘器移动，将基材板移动至防护箱的内部，通过抓取组件抓取基材板，电子束发生器发射高能量电子束，将坩埚中放置的原料进行加热气化，气化后的粒子向上移动，在接触到基材板后，由于物质表面对粒子自身具备吸附作用，所以基材板可以捕捉到上升的粒子，同时由于粒子在表面具备扩散性质，所以会在基材板底部形成一层均匀的膜，进而完成了镀膜工艺，整体工艺流程操作简单、失误率低，且防护箱的内部设置有真空泵二，始终保持防护箱内部真空，减少外环境影响，且传输管的设置，同时基材板在进入前也被真空处理过，进一步保证镀膜质量。

4、优选的，所述防护箱的顶部固接有分离框，所述抓取组件包括多个垂直设置的吸盘一，多个吸盘一的顶部之间固接有负压泵，所述负压泵的外侧固接有用于带动负压泵旋转的伺服电机一，所述分离框的内壁上固接有用于带动伺服电机一升降的电动伸缩杆一，所述分离框的底部设置有分离组件，所述分离组件用于分离框和防护箱，当托盘器将基材板运输到防护箱中后，多个吸盘一在电动伸缩杆一的带动下下沉，使用负压泵向吸盘一传递负压，将基材板吸住，归位后，开始镀膜工艺，镀膜结束后分离组件开启，闭合组件先开启，同时伺服电机一带动整体吸盘一旋转，将镀膜后的基材板转移至分离框中，之后分离组件闭合，这样基材板在转移出去的过程中，防护箱内部始终保持真空环境，减少外界环境对镀膜工艺造成影响。

5、优选的，所述防护箱的内侧设置有支撑台，所述支撑台的顶部转动卡接有切换盘，所述切换盘呈倾斜设置，所述切换盘的顶面上开设有多个凹槽，多个凹槽呈环形等距排布，多个坩埚位于凹槽中，所述切换盘的底部安装有用于带动切换盘旋转的驱动电机，在镀膜过程中会使用到多种材料，当一种材料镀膜完成后，启动驱动电机带动切换盘旋转，将其他坩埚转移到电子束的投射位置上，这样就能实现多种材料轮番镀膜的效果，倾斜的切换盘可以有更大的角度接收电子束，让电子束从侧面也能充分加热坩埚内部的原料。

6、优选的，所述支撑台的上方固接有密封台，所述密封台的前端和后端均开设有缺口，所述支撑台的下方固接有连接台，所述密封台的上方固接有弯折板，所述防护箱的外侧固接有供给泵，所述供给泵的输出端垂直朝向切换盘，密封台的设置，让其他坩埚在工作的时候，蒸发的粒子不会落入到其他坩埚中，减少不同材料之间的相互影响，弯折板以及密封台后方开口的设置，让旋转到后方的坩埚不与前方正在加热坩埚接触，同时后方的供给泵可以不断从外界将原料添加到坩埚中，方便了原料的添加过程。

7、优选的，所述分离框的底部边缘固接有两个呈对称设置的底层板，所述分离组件包括两个移动板，所述移动板滑动连接在底层板的顶面上，所述移动板的端部开设有与吸盘一外侧形状适配的缺口，所述移动板的顶部安装有丝杠螺母机构一，所述丝杠螺母机构一的驱动端与分离框固接，所述丝杠螺母机构一的移动端与移动板固接，所述分离框的上方转动连接有两个上盖，当一块基材板镀膜结束后，启动丝杠螺母机构一带动移动板分开，此时两个上盖处于闭合状态，之后伺服电机一带动基材板和吸盘一旋转至分离框中，之后两个移动板闭合，所述分离框的内侧设置有真空泵三，将上盖开启，将镀膜好的基材板取出，取出后关闭上盖，启动真空泵三将分离框内部抽真空，之后开启移动板，旋转吸盘一使其移动至防护箱中，通过此种设置，就能保证防护箱中始终保持不与外界接触，进一步减少外界环境影响。

8、优选的，所述传输管的竖截面呈椭圆形设置，所述传输管靠近防护箱的一端安装有密封阀门，所述传输管的另一端转动连接有密封盖，所述传输管的内侧地面开设有卡槽，所述托盘器的底部与卡槽滑动卡接，所述卡槽中设置有丝杠螺母机构二，所述丝杠螺母机构结构二的移动端与托盘器固接，开启密封盖将基材板放入托盘器上，之后关闭密封盖并将传输管内部抽真空，抽真空结束后，开启密封阀门，通过丝杠螺母机构二带动托盘器，将基材板移动至防护箱中，并被吸盘一抓取，吸盘一可以进行升降用来抓取基材板。

9、优选的，所述托盘器包括旋转盘二和旋转盘一，所述旋转盘二位于旋转盘一的下方，所述旋转盘二的两端均固接有伺服电机二，其中一个伺服电机二的输出端与丝杠螺母机构二的移动端固接，另一个伺服电机二的输出端与旋转盘一固接，旋转盘二上的两个伺服电机二，可以控制旋转盘二围绕中心旋转，同时也可以带动旋转盘一进行旋转，此种设置，让旋转盘一的端部可以向外伸出较大的空间，不仅方便接收基材板，同时方便基材板送入吸盘一的下方，且在托盘器在传输管的移动过程中，可以相互重叠，让托盘器的宽度可以经过传输管，整个托盘器足够灵活，可以适用于各种情况。

10、优选的，所述旋转盘一的端部固接有托板，所述托板的顶面上设置有清洗组件，所述清洗组件用于清洗基材板，托板用来接收基材板，在转移基材板的过程中，清洗组件可以清洗基材板的底面，这样在基材板被吸盘一固定后，底面就是被镀膜的一面，保证了镀膜的质量。

11、优选的，所述传输管的外侧固接有交换箱，贯穿所述传输管的顶部固接有伸缩管，所述伸缩管位于传输管内部的外侧连接有电动伸缩杆二，所述交换箱和伸缩管连通，所述旋转盘一的顶面上开设有与伸缩管适配的对接孔，所述托板的顶面上开设有多个回收孔和多个喷孔，多个喷孔呈环形排布，多个回收孔位于多个喷孔围成的环形区域中，当基材板放置在托板上时，之后随着托盘器移动至伸缩管的下方，通过电动伸缩杆二带动伸缩管底部伸长，让伸缩管的底部插入对接孔中，将交换箱中的清洗液输送到多个喷孔中，从外侧底部清洗基材板的底面，清洗过程中，使用后的清洗液会被回收孔回收，回收的清洗液顺着旋转盘一被交换箱回收，交换箱中设有两个空间和两个水泵，伸缩管分为两个独立管道，用来供给和回收清洗液，通过此种设置，实现了对基材板的清洗效果，且占用的时间和抽真空的时间重合，不会影响工艺的流程时间。

12、优选的，所述托板的顶面靠边缘安装有三个悬浮器，所述悬浮器由电动伸缩杆三、步进电机、支架和吸盘二组成，所述电动伸缩杆三与托板固接，所述电动伸缩杆三的顶部与步进电机固接，步进电机的输出端与支架固接，所述支架的端部与吸盘二固接，所述吸盘二垂直朝下，当基材板放置在托板上时，步进电机带动支架和吸盘二旋转，电动伸缩杆三下沉，让吸盘二与基材板接触并抓取，之后将基材板上提，让下方喷射的清洗液，可以更有效的清洗基材板的底部，托板的外边缘开设有槽口，减少清洗液从托板外侧漏出，清洗结束后，将基材板放下，同时悬浮器归位。

13、本发明的有益效果如下：

14、1.本发明所述的一种光伏电池镀膜装置，通过传输管和防护箱的设置，从传输管的一端将光伏电池的基材板放在托盘器上，将传输管的一端封闭，启动真空泵一对传输管进行抽真空处理，之后托盘器移动，将基材板移动至防护箱的内部，通过抓取组件抓取基材板，电子束发生器发射高能量电子束，将坩埚中放置的原料进行加热气化，气化后的粒子向上移动，在接触到基材板后，由于物质表面对粒子自身具备吸附作用，所以基材板可以捕捉到上升的粒子，同时由于粒子在表面具备扩散性质，所以会在基材板底部形成一层均匀的膜，进而完成了镀膜工艺，整体工艺流程操作简单、失误率低，且防护箱的内部设置有真空泵二，始终保持防护箱内部真空，减少外环境影响，且传输管的设置，同时基材板在进入前也被真空处理过，进一步保证镀膜质量。

15、2.本发明所述的一种光伏电池镀膜装置，当托盘器将基材板运输到防护箱中后，多个吸盘一在电动伸缩杆一的带动下下沉，使用负压泵向吸盘一传递负压，将基材板吸住，归位后，开始镀膜工艺，镀膜结束后分离组件开启，闭合组件先开启，同时伺服电机一带动整体吸盘一旋转，将镀膜后的基材板转移至分离框中，之后分离组件闭合，这样基材板在转移出去的过程中，防护箱内部始终保持真空环境，减少外界环境对镀膜工艺造成影响。