信号传输结构以及存储器的制作方法

本公开实施例涉及半导体，特别涉及一种信号传输结构以及存储器。

背景技术：

1、在存储器应用中，随着信号传输速率越来越快以及存储器尺寸的进一步缩减，距离较近的一些信号传输线之间的耦合影响增大，容易对信号产生不容忽视的干扰。

2、例如，在常规的动态随机存取存储器(dram，dynamic random access memory)中，用于存储阵列的多组传输线与互补传输线均在同一水平金属层中，并且彼此平行且并排地延伸，由于这种设置，这些传输线与互补传输线通过这些传输线之间的耦合电容相互串扰，对信号传输造成影响。

技术实现思路

1、本公开实施例提供一种信号传输结构以及存储器，至少有利于降低干扰线对第一传输线和第二传输线的干扰。

2、根据本公开一些实施例，本公开实施例一方面提供一种信号传输结构，包括：第一传输线，所述第一传输线具有沿第一行间隔排布的n个第一部分，沿第二行间隔排布的m个第二部分，以及连接相邻所述第一部分和所述第二部分的第三部分，且所述第一部分和所述第二部分间隔且交替排布，所述第一行和所述第二行均沿第一方向延伸，所述n和所述m均为正整数；第二传输线，所述第二传输线具有沿所述第二行间隔排布的n个第四部分，沿所述第一行间隔排布的m个第五部分，以及连接相邻所述第四部分和所述第五部分的第六部分，且所述第四部分和所述第五部分间隔且交替排布；其中，沿第二方向上，所述第一部分和所述第四部分一一正对且同层设置，所述第二部分和所述第五部分一一正对且同层设置，且所述第三部分和所述第六部分相互绝缘，所述第二方向垂直于所述第一方向；至少一条干扰线，位于所述第一传输线和所述第二传输线构成的组合结构的周围。

3、在一些实施例中，所述第一部分和所述第五部分同层设置。

4、在一些实施例中，一个所述第三部分和一个所述第六部分共同构成一个交叠区，所述第一传输线在所述第一方向上的长度为第一长度，所述交叠区在所述第一方向的长度为第二长度，所述第二长度与所述第一长度的比值范围小于等于1/100。

5、在一些实施例中，所述第三部分和所述第六部分中的一者包括：第一连接层，与所述第一部分位于不同层；两个第一导电插塞，所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第一部分和所述第二部分电连接，或者所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第四部分和所述第五部分电连接；所述第三部分和所述第六部分中的另一者包括：第二连接层，与所述第一部分同层设置，所述第二连接层的两端分别与相邻的所述第一部分和所述第二部分接触连接，或者所述第二连接层的两端分别与相邻的所述第四部分和所述第五部分接触连接。

6、在一些实施例中，所述第二连接层的延伸方向与所述第一方向和所述第二方向均相交。

7、在一些实施例中，所述第三部分和所述第六部分中的一者包括：第一连接层，与所述第一部分位于不同层；两个第一导电插塞，所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第一部分和所述第二部分电连接，或者所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第四部分和所述第五部分电连接；所述第三部分和所述第六部分中的另一者包括：第二连接层，与所述第一部分位于不同层；两个第二导电插塞，所述第二连接层的两端通过所述第二导电插塞分别与相邻的所述第一部分和所述第二部分电连接，或者所述第二连接层的两端通过所述第二导电插塞分别与相邻的所述第四部分和所述第五部分电连接；其中，所述第一连接层和所述第二连接层也位于不同层。

8、在一些实施例中，所述n为2，所述m为2。

9、在一些实施例中，所述第一传输线在所述第一方向上的长度为第一长度，其中，处于所述第一传输线一端的所述第一部分的长度与所述第一长度的比值为1/3，处于所述第一传输线另一端的所述第二部分的长度与所述第一长度的比值为1/3，剩余所述第一部分的长度与所述第一长度的比值为1/6，剩余所述第二部分的长度与所述第一长度的比值为1/6；或者，处于所述第一传输线一端的所述第一部分的长度与所述第一长度的比值为1/6，处于所述第一传输线另一端的所述第二部分的长度与所述第一长度的比值为1/6，剩余所述第一部分的长度与所述第一长度的比值为1/3，剩余所述第二部分的长度与所述第一长度的比值为1/3。

10、在一些实施例中，所述至少一条干扰线包括：第一干扰线，位于所述第一传输线远离所述第二传输线的一侧；和/或，第二干扰线，位于所述第二传输线远离所述第一传输线的一侧。

11、在一些实施例中，所述第一干扰线和所述第二干扰线同层设置，且所述第一干扰线与所述第一部分同层设置；或者，所述第一干扰线和所述第二干扰线同层设置，且所述第一干扰线与所述第一部分位于不同层。

12、在一些实施例中，所述第一干扰线和所述第二干扰线均沿所述第一方向延伸的，所述第一干扰线在所述第一方向上的长度大于等于所述第一长度，所述第二干扰线在所述第一方向上的长度大于等于所述第一长度。

13、在一些实施例中，所述第一方向和所述第二方向构成参考面，所述第一传输线在所述参考面上的正投影为第一正投影，所述第二传输线在所述参考面上的正投影为第二正投影，所述第一干扰线在所述参考面上的正投影为第三正投影，所述第二干扰线在所述参考面上的正投影为第四正投影；所述信号传输结构还包括：第三干扰线，所述第三干扰线在所述参考面上的正投影位于所述第一正投影与所述第三正投影之间；和/或，第四干扰线，所述第四干扰线在所述参考面上的正投影位于所述第二正投影与所述第四正投影之间。

14、在一些实施例中，所述第三干扰线和所述第四干扰线同层设置，且所述第三干扰线与所述第一部分同层设置；或者，所述第三干扰线和所述第四干扰线同层设置，且所述第三干扰线与所述第一部分位于不同层。

15、在一些实施例中，所述第三干扰线和所述第四干扰线均沿所述第一方向延伸，所述第三干扰线在所述第一方向上的长度小于所述第一长度，所述第四干扰线在所述第一方向上的长度小于所述第一长度。

16、根据本公开一些实施例，本公开实施例另一方面还提供一种存储器，包括如上述任一项所述的信号传输结构。

17、本公开实施例提供的技术方案至少具有以下优点：

18、可以理解的是，将第一传输线设计为第一部分、第三部分和第二部分三者依次交替接触连接，第二传输线设计为第四部分、第六部分和第五部分三者依次交替接触连接，且第一传输线中第一部分和第二部分分别位于不同行，第二传输线中第四部分和第五部分分别位于不同行，沿第二方向上，第一部分和第四部分一一正对且同层设置，第二部分和第五部分一一正对且同层设置，第三部分和第六部分相互绝缘，如此，实现第一传输线的传输路径与第二传输线的传输路径之间相互扭转，且第一传输线与第二传输线相互绝缘，从而有利于降低干扰线对第一传输线和第二传输线的干扰，提高第一传输线和第二传输线传输的信号的准确率。

技术特征：

1.一种信号传输结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的信号传输结构，其特征在于，所述第一部分和所述第五部分同层设置。

3.如权利要求2所述的信号传输结构，其特征在于，一个所述第三部分和一个所述第六部分共同构成一个交叠区，所述第一传输线在所述第一方向上的长度为第一长度，所述交叠区在所述第一方向的长度为第二长度，所述第二长度与所述第一长度的比值范围小于等于1/100。

4.如权利要求1所述的信号传输结构，其特征在于，所述第三部分和所述第六部分中的一者包括：第一连接层，与所述第一部分位于不同层；两个第一导电插塞，所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第一部分和所述第二部分电连接，或者所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第四部分和所述第五部分电连接；

5.如权利要求4所述的信号传输结构，其特征在于，所述第二连接层的延伸方向与所述第一方向和所述第二方向均相交。

6.如权利要求1所述的信号传输结构，其特征在于，所述第三部分和所述第六部分中的一者包括：第一连接层，与所述第一部分位于不同层；两个第一导电插塞，所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第一部分和所述第二部分电连接，或者所述第一连接层的两端通过所述第一导电插塞分别与相邻的所述第四部分和所述第五部分电连接；

7.如权利要求1至6任一项所述的信号传输结构，其特征在于，所述n为2，所述m为2。

8.如权利要求7所述的信号传输结构，其特征在于，所述第一传输线在所述第一方向上的长度为第一长度；

9.如权利要求8所述的信号传输结构，其特征在于，所述至少一条干扰线包括：

10.如权利要求9所述的信号传输结构，其特征在于，所述第一干扰线和所述第二干扰线同层设置，且所述第一干扰线与所述第一部分同层设置；或者，所述第一干扰线和所述第二干扰线同层设置，且所述第一干扰线与所述第一部分位于不同层。

11.如权利要求9所述的信号传输结构，其特征在于，所述第一干扰线和所述第二干扰线均沿所述第一方向延伸的，所述第一干扰线在所述第一方向上的长度大于等于所述第一长度，所述第二干扰线在所述第一方向上的长度大于等于所述第一长度。

12.如权利要求9所述的信号传输结构，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向构成参考面，所述第一传输线在所述参考面上的正投影为第一正投影，所述第二传输线在所述参考面上的正投影为第二正投影，所述第一干扰线在所述参考面上的正投影为第三正投影，所述第二干扰线在所述参考面上的正投影为第四正投影；

13.如权利要求12所述的信号传输结构，其特征在于，所述第三干扰线和所述第四干扰线同层设置，且所述第三干扰线与所述第一部分同层设置；或者，所述第三干扰线和所述第四干扰线同层设置，且所述第三干扰线与所述第一部分位于不同层。

14.如权利要求12所述的信号传输结构，其特征在于，所述第三干扰线和所述第四干扰线均沿所述第一方向延伸，所述第三干扰线在所述第一方向上的长度小于所述第一长度，所述第四干扰线在所述第一方向上的长度小于所述第一长度。

15.一种存储器，其特征在于，包括如权利要求1至14任一项所述的信号传输结构。

技术总结本公开实施例涉及半导体技术领域，提供一种信号传输结构以及存储器，信号传输结构包括：第一传输线，具有沿第一行间隔排布的N个第一部分，沿第二行间隔排布的M个第二部分，连接相邻第一部分和第二部分的第三部分；第二传输线，具有沿第二行间隔排布的N个第四部分，沿第一行间隔排布的M个第五部分，连接相邻第四部分和第五部分的第六部分；沿第二方向上，第一部分和第四部分正对且同层设置，第二部分和第五部分正对且同层设置，第三部分和第六部分相互绝缘；至少一条干扰线，位于第一传输线和第二传输线构成的组合结构的周围。本公开实施例至少有利于降低干扰线对第一传输线和第二传输线的干扰。技术研发人员：汪配焕受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17