一种石英Dome辅助装夹取放工装的制作方法

本技术属于半导体生产设备，具体涉及一种石英dome辅助装夹取放工装。

背景技术：

1、半导体cvd设备一般使用石英作为反应内腔的材料，在设备的维护过程中需要设备工程师先破坏石英上dome与基础环base-r i ng之间的密封后，再小心地移除石英上盖(dome)并对腔体进行周期维护，考虑到石英材质的易碎性及破坏石英上dome与基础环base-r i ng之间密封的不方便，传统的方法是采用一般工具沿石英dome边缘翘的破坏密封并移除dome方式，存在极大的风险(石英dome的易碎性和密封圈的易被破坏性)，不便于使用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种石英dome辅助装夹取放工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种石英dome辅助装夹取放工装，包括：

4、提升连接板，所述提升连接板的内部通过连接安装件安装有真空吸盘件，用于将石英上dome吸起，所述真空吸盘件包括硅胶吸盘和手动气泵柱，所述手动气泵柱的下端连接有所述硅胶吸盘，便于将石英上dome吸起，所述提升连接板的两侧底端均设置有支架撑脚，起到支撑作用，所述支架撑脚的内部均设置有升降支撑轴，所述支架撑脚的内部开设有与所述升降支撑轴相配合的安装槽，所述提升连接板的两侧均螺纹连接有手拧螺栓，所述手拧螺栓的下端延伸至所述安装槽的内部，使用时，通过拧动手拧螺栓，使得手拧螺栓的端部向下转动并推动升降支撑轴的下端伸出支架撑脚的内部，通过作用力与反作用力进而能够将支架撑脚、提升连接板顶起，进而将硅胶吸盘吸住的石英上dome提起，便于石英dome能够安全脱离与基础环base-r i ng之间的密封，并缓慢提升至一处位置后，能够将石英dome与工装整体脱离设备。

5、优选的，所述升降支撑轴设置为t字形，进而使得升降支撑轴的端部与安装槽接触时，能够受到与其相配合的安装槽的限制作用，防止升降支撑轴脱离支架撑脚的内部，且在石英dome被提升的过程中，当支架撑脚安装槽下端面与升降支撑轴的上端表面接触时，此时产生机械限位，石英dome无法被继续提升，此处考虑在破坏密封提升dome过程中的位置保护，使dome被提升到机械限位处后无法继续上升以免和提升连接板接触碰撞造成危险，此外支架撑脚也可以采用非金属材料，以防止石英dome在提升过程中左右晃动产生碰撞风险。

6、优选的，所述升降支撑轴的上端设置有耐磨盖，所述耐磨盖的下端连接有螺柱，所述升降支撑轴的上端内部开设有与所述螺柱相配合的配合孔，便于耐磨盖安装，所述耐磨盖通过所述螺柱与所述升降支撑轴转动连接，考虑手拧螺栓转动，在其旋转向下旋转的过程中其下端底面若与升降支撑轴直接接触容易导致长期使用磨损损坏，故设计耐磨盖使其上端面与手拧螺栓的下端在向下旋转的过程中旋转摩擦，进而能够减少磨损。

7、优选的，所述支架撑脚的一侧开设有开口，所述开口的弦长小于所述升降支撑轴上端的直径。

8、优选的，所述升降支撑轴的底端安装有定位螺柱，便于与设备上对应的定位孔配合，实现安装定位作用。

9、优选的，所述连接安装件包括安装夹紧板，所述提升连接板的一侧开设有与所述安装夹紧板相配合的配合槽，所述安装夹紧板通过螺栓与所述提升连接板连接，所述安装夹紧板和所述提升连接板的相对应一侧均开设有若干组与所述手动气泵柱相配合的夹持槽，所述夹持槽设置为弧形，通过将手动气泵柱放置于安装夹紧板和所述提升连接板的夹持槽之间进而能够将手动气泵柱夹持固定，起到安装固定作用。

10、优选的，所述夹持槽设置为三组，所述手动气泵柱位于中间一组所述夹持槽的内部，中间一组所述夹持槽位于所述提升连接板的中部，即将真空吸盘件安装在提升连接板的中间位置，使用时，通过同时拧动两侧的手拧螺栓，使其向下转动，提升连接板和固装在两侧的支架撑脚会向上升起以抵抗手拧螺栓作用在耐磨盖的作用力和伸长段，而此时真空吸盘由于受安装夹紧板与提升连接板的夹紧力也会受到一个左右均匀向上的提升力，从而可以随着两侧手拧螺栓的转动，使石英dome可以安全脱离与基础环base-r i ng之间的密封，并缓慢提升至一处位置后，进而能够将石英dome与工装整体脱离设备。

11、优选的，所述夹持槽设置为三组，所述手动气泵柱位于外侧一组所述夹持槽的内部，中间一组所述夹持槽位于所述提升连接板的中部，外侧一组所述夹持槽位于中间一组所述夹持槽的外侧。

12、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

13、1、相比于用工具沿石英dome边沿翘从而破坏与设备的基础环base-r i ng的密封的方式，考虑到石英的易碎性和密封圈的易被破坏性等方面，本申请的此工装能够更安全、更便利地将石英dome从设备上移开，从而便于进行设备维护；

14、2、从支架撑脚侧壁的开口位置，能够调整定位螺柱的安装位置，使其能够更顺利快速的被按压安装在设备上的对应定位孔的内部，且开口的弦长小于升降支撑轴上端的直径，因此耐磨盖、升降支撑轴和定位螺柱所固装成的整体也不会从开口位置掉出，充分考虑工装设计的便利性和完整性；

15、3、真空吸盘件位置安装的多样性，能够在破坏真空和提升石英dome脱离设备的工作过程中灵活使用，能够使该工装能适应多种应用场景，考虑使用的多样性特点；

16、4、在石英dome被提升的过程中，设置的安装槽能够对升降支撑轴6起到限位作用，此时产生机械限位，石英dome无法被继续提升，此处考虑在破坏密封提升石英dome过程中的位置保护，使石英dome被提升到机械限位处后无法继续上升以免和提升连接板接触碰撞造成危险，此处充分考虑工装使用的安全性特点；

17、5、通过设置的耐磨盖能够起到减小磨损作用，避免手拧螺栓与升降支撑轴直接接触导致磨损损坏，此处考虑工装的使用寿命，耐用性，有利于使用。

技术特征：

1.一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于，包括：提升连接板(1)，所述提升连接板(1)的内部通过连接安装件安装有真空吸盘件(3)，所述真空吸盘件(3)包括硅胶吸盘(32)和手动气泵柱(31)，所述手动气泵柱(31)的下端连接有所述硅胶吸盘(32)，所述提升连接板(1)的两侧底端均设置有支架撑脚(7)，所述支架撑脚(7)的内部均设置有升降支撑轴(6)，所述支架撑脚(7)的内部开设有与所述升降支撑轴(6)相配合的安装槽，所述提升连接板(1)的两侧均螺纹连接有手拧螺栓(4)，所述手拧螺栓(4)的下端延伸至所述安装槽的内部。

2.根据权利要求1所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述升降支撑轴(6)设置为t字形，所述安装槽设置为与所述升降支撑轴(6)相配合的t字形。

3.根据权利要求2所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述升降支撑轴(6)的上端设置有耐磨盖(5)，所述耐磨盖(5)的下端连接有螺柱，所述升降支撑轴(6)的上端内部开设有与所述螺柱相配合的配合孔，所述耐磨盖(5)通过所述螺柱与所述升降支撑轴(6)转动连接。

4.根据权利要求3所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述支架撑脚(7)的一侧开设有开口，所述开口的弦长小于所述升降支撑轴(6)上端的直径。

5.根据权利要求4所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述升降支撑轴(6)的底端安装有定位螺柱(8)。

6.根据权利要求1所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述连接安装件包括安装夹紧板(2)，所述提升连接板(1)的一侧开设有与所述安装夹紧板(2)相配合的配合槽，所述安装夹紧板(2)通过螺栓与所述提升连接板(1)连接，所述安装夹紧板(2)和所述提升连接板(1)的相对应一侧均开设有若干组与所述手动气泵柱(31)相配合的夹持槽，所述夹持槽设置为弧形。

7.根据权利要求6所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述夹持槽设置为三组，所述手动气泵柱(31)位于中间一组所述夹持槽的内部，中间一组所述夹持槽位于所述提升连接板(1)的中部。

8.根据权利要求6所述的一种石英dome辅助装夹取放工装，其特征在于：所述夹持槽设置为三组，所述手动气泵柱(31)位于外侧一组所述夹持槽的内部，中间一组所述夹持槽位于所述提升连接板(1)的中部，外侧一组所述夹持槽位于中间一组所述夹持槽的外侧。

技术总结本技术涉及半导体生产设备技术领域，具体公开了一种石英Dome辅助装夹取放工装，包括：提升连接板，提升连接板的内部通过连接安装件安装有真空吸盘件，真空吸盘件包括硅胶吸盘和手动气泵柱，支架撑脚的内部均设置有升降支撑轴，提升连接板的两侧均螺纹连接有手拧螺栓；本技术设置的此工装能够更安全、更便利地将石英Dome从设备上移开；从支架撑脚侧壁的开口位置，能够调整定位螺柱的安装位置，使其能够更顺利快速的被按压安装在设备上的对应定位孔的内部；真空吸盘件位置安装的多样性，能够在破坏真空和提升石英Dome脱离设备的工作过程中灵活使用；安装槽能够对升降支撑轴起到限位作用；设置的耐磨盖能够起到减小磨损作用，有利于使用。技术研发人员：陈浩,郑锦,汪永松受保护的技术使用者：南京原磊纳米材料有限公司技术研发日：20240426技术公布日：2024/12/12