一种基片的真空干燥装置及加工系统的制作方法

本申请涉及干燥，特别涉及一种基片的真空干燥装置及加工系统。

背景技术：

1、钙钛矿型太阳能电池由于高转换效率、低成本、环境友善等优点正在受到越来越广泛的关注。并且，钙钛矿太阳能的光电转换效率在短短几年内提升了数倍，表现出非常优异的光电性能。

2、钙钛矿太阳能电池成型时，需要在基片上成型多个膜层，一般地，采用刮涂、喷涂等形式形成膜层。随后需要将膜层进行真空干燥，以去除溶剂。

3、相关技术中，设置真空箱，并将覆盖有膜层的基片送至真空箱内，并利用负压装置对真空箱进行抽气，以在真空箱内完成对基片的干燥工艺。

4、一般地，真空箱具有一个上下料口，干燥时，需要将基片送至真空箱内，并关闭真空箱的门体，随后进行干燥工艺，干燥完成后，再将基片取出，随后再将下一基片上料至真空箱内。

5、在基片上下料的过程中，不仅需要外部机械手将基片送至真空箱内部，而且还需先将干燥后的基片取出后，再将需干燥的基片送至真空箱内。因此基片上下料时，需要的额外辅助设备较多，并且基片的上下料的工作效率较慢，难以满足大批量基片的加工需求。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种基片的真空干燥装置及加工系统，以解决相关技术中基片上下料时，需要的额外辅助设备较多，且上下料效率慢，难以满足大批量基片的加工需求的技术问题。

2、第一方面，提供了一种基片的真空干燥装置，其包括：

3、支撑件；

4、输送组件，所述输送组件安装于所述支撑件，且所述输送组件用于支撑并输送基片；

5、罩体，所述罩体位于所述支撑件上方，所述罩体下方开口设置；

6、升降驱动组件，所述升降驱动组件与所述支撑件，和/或，所述罩体驱动连接，以带动所述支撑件或所述罩体升降运动，以使所述罩体适于扣合于所述支撑件，所述罩体和所述支撑件适于形成密封腔，所述输送组件位于所述密封腔内；

7、负压装置，所述罩体，和/或，所述支撑件上开设有抽气口，所述负压装置的抽气端与所述抽气口连通。

8、一些实施例中，所述输送组件包括：

9、输送架，所述输送架安装于所述支撑件；

10、输送轮组，所述输送轮组包括多个输送杆和多个输送轮，多个所述输送杆均转动连接于所述输送架，且多个所述输送杆沿其径向间隔排列，每个所述输送杆上均同轴固定套设有多个所述输送轮，多个所述输送轮用于支撑所述基片；

11、输送驱动件，所述输送驱动件与多个所述输送杆驱动连接，以带动多个所述输送杆同步转动。

12、一些实施例中，所述输送驱动件包括：

13、多个第一磁力轮，多个所述第一磁力轮分别同轴固定于多个所述输送杆；

14、传动杆，所述传动杆转动连接于所述输送架；

15、多个第二磁力轮，多个所述第二磁力轮均同轴固定于所述传动杆，所述第二磁力轮的转动轴线与所述第一磁力轮的转动轴线正交，且多个所述第二磁力轮分别与多个所述第一磁力轮传动配合；

16、第三磁力轮，所述第三磁力轮转动连接于所述输送架，所述第三磁力轮的转动轴线与所述第二磁力轮的转动轴线正交，且所述第三磁力轮与一个所述第二磁力轮传动配合；

17、输送旋转驱动件，所述输送旋转驱动件安装于所述输送架，且所述输送旋转驱动件与所述第三磁力轮驱动连接，以带动所述第三磁力轮转动。

18、一些实施例中，该基片的真空干燥装置还包括定位组件，所述定位组件包括两组定位轮组，所述定位轮组安装于所述支撑件，所述定位轮组包括多个沿所述输送组件的输送方向排列的定位轮；

19、两组所述定位轮组在垂直于所述输送方向上间隔设置，且两组所述定位轮组分别用于接触所述基片的相对两侧边。

20、一些实施例中，所述升降驱动组件包括：

21、升降架；

22、升降驱动件，所述升降驱动件安装于所述升降架，所述升降驱动件与所述罩体，和/或，所述支撑件驱动连接，以带动所述罩体或所述支撑件升降运动。

23、一些实施例中，所述负压装置包括负压发生器、连通管和柔性管，所述连通管的两端分别与所述负压发生器的抽气端和所述柔性管连通，所述柔性管背离所述连通管的一端与所述抽气口连通。

24、一些实施例中，该基片的真空干燥装置还包括导流组件，所述导流组件安装于所述支撑件或所述罩体的内侧，且所述导流组件正对于所述抽气口设置，所述导流组件包括：

25、多个导流板，所述导流板上均开设有多个导流孔，多个所述导流板间隔设置，且多个所述导流板上的多个所述导流孔错开设置。

26、一些实施例中，所述支撑件包括支撑箱，所述支撑箱顶部开口设置，且所述输送组件的输送端高于所述支撑箱的顶部。

27、一些实施例中，该基片的真空干燥装置还包括防护罩，所述支撑件、所述罩体、所述升降驱动组件均位于所述防护罩内，且所述防护罩的相对两侧面均开设有料口，两个所述料口的连线方向与所述输送组件的输送方向一致。

28、本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：

29、本申请实施例提供了一种基片的真空干燥装置，基片干燥处理时，罩体与支撑件分离，将基片送至输送组件的起始端，由输送组件将基片转移至支撑件的正上方，再由升降驱动组件使得罩体和支撑件扣合，以将基片置于密封腔内，随后负压装置对密封腔内抽真空，以对基片进行干燥处理。基片干燥处理结束后，升降驱动组件将支撑件和罩体分离，随后输送组件将干燥后基片输送至末尾端以下料基片，同时输送组件的起始段可同步将基片输送至支撑件的正上方，以准备对基片进行干燥处理。因此，基片上下料时，无需额外的机械手将基片从支撑件上进行取送，批量基片上下料衔接更合理，加工节拍更好，加工效率更高，适应于大批量基片的干燥处理需求。

30、第二方面，提供了一种基片的加工系统，包括如上所述的基片的真空干燥装置。

31、本申请另一实施例提供了一种基片的加工系统，由于该基片的加工系统包括上述基片的真空干燥装置，因此该基片的加工系统的有益效果与上述基片的真空干燥装置的有益效果一致，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种基片的真空干燥装置，其特征在于，其包括：

2.根据权利要求1所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，所述输送组件包括：

3.根据权利要求2所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，所述输送驱动件包括：

4.根据权利要求1所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，还包括定位组件，所述定位组件包括两组定位轮组，所述定位轮组安装于所述支撑件，所述定位轮组包括多个沿所述输送组件的输送方向排列的定位轮；

5.根据权利要求1中所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括：

6.根据权利要求1所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，所述负压装置包括负压发生器、连通管和柔性管，所述连通管的两端分别与所述负压发生器的抽气端和所述柔性管连通，所述柔性管背离所述连通管的一端与所述抽气口连通。

7.根据权利要求1或6所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，还包括导流组件，所述导流组件安装于所述支撑件或所述罩体的内侧，且所述导流组件正对于所述抽气口设置，所述导流组件包括：

8.根据权利要求1-6中任一项所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，所述支撑件包括支撑箱，所述支撑箱顶部开口设置，且所述输送组件的输送端高于所述支撑箱的顶部。

9.根据权利要求1所述的基片的真空干燥装置，其特征在于，还包括防护罩，所述支撑件、所述罩体、所述升降驱动组件均位于所述防护罩内，且所述防护罩的相对两侧面均开设有料口，两个所述料口的连线方向与所述输送组件的输送方向一致。

10.一种基片的加工系统，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的基片的真空干燥装置。

技术总结本申请涉及一种基片的真空干燥装置及加工系统，该基片的真空干燥装置包括：支撑件；输送组件，输送组件安装于支撑件，且输送组件用于支撑并输送基片；罩体，罩体位于支撑件上方，罩体下方开口设置；升降驱动组件，升降驱动组件与支撑件，和/或，罩体驱动连接，以带动支撑件或罩体升降运动，以使罩体适于扣合于支撑件，罩体和支撑件适于形成密封腔，输送组件位于密封腔内；负压装置，罩体，和/或，支撑件上开设有抽气口，负压装置的抽气端与抽气口连通。本申请利用输送组件对基片进行上下料，且设置升降驱动组件分离或扣合支撑件和罩体，优化了基片的上下料流程，提高了干燥加工效率，适用于基片的大批量干燥处理。技术研发人员：危银长,付宇,张友志,唐伟受保护的技术使用者：武汉国创科光电装备有限公司技术研发日：20240429技术公布日：2024/12/12