纳米压印模板胶及其制备方法与流程
- 国知局
- 2025-01-10 13:30:53
本申请涉及纳米压印,尤其涉及一种纳米压印模板胶及其制备方法。
背景技术:
1、纳米压印技术是一个将母版上的微结构转印至晶圆上面的过程。具体的,是在母版上涂敷模板胶,而后固化成型得到带有印有母版图案的软膜,之后再将软膜转印至晶圆。在此过程中,软膜作为带有压印特征的载体直接决定着晶圆压印图型的质量,要实现高质量的压印复型,必须要有高质量的压印模板。
2、现有的纳米压印模板胶在固化成型的过程中会出现固化不完全的现象,固化后形成的聚合物膜层也存在机械性能较差、强度较低的现象,因此在制备软膜的过程中,容易出现软膜在脱模过程中发生破损、母版上残留残胶、母版难以清洗的情况。
技术实现思路
1、本申请提供了一种纳米压印模板胶及其制备方法,旨在解决现有的模板胶在转印过程时容易出现母版残胶且难以清洗母版残胶的情况,以及在压印后存在难以脱模的问题。
2、第一方面,本申请提供一种纳米压印模板胶,所述纳米压印模板胶由以下原料制得:聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂。
3、第二方面,本申请提供一种纳米压印模板胶的制备方法,所述制备方法包括:
4、提供聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂;
5、利用所述聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂,制备得到所述纳米压印模板胶。
6、本申请提供了一种纳米压印模板胶及其制备方法,以聚氨酯改性丙烯酸酯树脂和全氟聚醚丙烯酸酯树脂为主体制备得到纳米压印模板胶,利用了聚氨酯改性丙烯酸酯树脂和全氟聚醚丙烯酸酯树脂形成交联单体,使得纳米压印模板胶固化后形成牢固的三维交联网络,从而能够大大改善固化不完全的现象。全氟聚醚丙烯酸酯树脂的引入还可以提高膜层的弹性和强度,并降低膜层的表面能,在成膜后可以整体剥离或用溶剂清洗掉,使得膜层具有较好的剥离和去胶效果,还可以实现去除母版残胶,利于进行多次精密压印。
技术特征:1.一种纳米压印模板胶,其特征在于,所述纳米压印模板胶由以下原料制得:聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂。
2.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,以重量百分比计,所述聚氨酯改性丙烯酸酯树脂的含量为40%-55%,所述全氟聚醚丙烯酸酯树脂的含量为20%-35%,所述氟碳稀释剂的含量为15%-25%,所述多官能团交联剂的含量为5%-10%,所述助剂的含量为1%-3%,所述阳离子引发剂的含量为1%-5%,所述自由基引发剂的含量为1%-2%。
3.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,固化后的所述纳米压印模板胶包括主链和多个支链,所述主链包括多个氟醚链段和聚氨酯链段,所述支链为含氟支链。
4.根据权利要求3所述的纳米压印模板胶,其特征在于,至少两条所述含氟支链的长度不同。
5.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述聚氨酯改性丙烯酸酯树脂为广州精图环材的改性二官聚氨酯丙烯酸酯p-2012、广州精图环材的改性二官聚氨酯丙烯酸酯p-2018、dic的聚氨酯改性丙烯酸酯zhu-1998、dic的聚氨酯改性丙烯酸酯zhu-2047、广州三旺化工的聚氨酯改性丙烯酸酯sw201中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述全氟聚醚丙烯酸酯树脂为苏州仓慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-1000、苏州仓慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-1500、苏州仓慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-2000、苏州仓慕新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯pfpe-maa-3000、索尔维fluorolink ad1700和福州泰普达新材料的全氟聚醚甲基丙烯酸酯中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述氟碳稀释剂为丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸六氟丁酯、丙烯酸八氟戊酯、丙烯酸十二氟庚酯、甲基丙烯酸三氟乙酯、甲基丙烯酸六氟丁酯、甲基丙烯酸八氟戊酯、甲基丙烯酸十二氟庚酯中的至少一种。
8.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述多官能团交联剂为二丙二醇二丙烯酸酯、三丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯中的至少一种。
9.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述助剂为广州市精图环材的2061、广州市精图环材的2063、上海荟研新材料的hy-rc902、上海荟研新材料的hy-1203中的至少一种。
10.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述阳离子引发剂为anthracureuvs-1331、anthracureuvs-1101、easepi 6992、easepi 1176、easepi 250中的至少一种。
11.根据权利要求1所述的纳米压印模板胶,其特征在于,所述自由基引发剂为1173、184、tpo、tpo-l、127、369、itx、bdk、819、754、380、bmf中的至少一种。
12.一种纳米压印模板胶的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
13.根据权利要求12所述的制备方法,其特征在于,所述利用所述聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂,制备得到所述纳米压印模板胶,包括:
14.根据权利要求13所述的制备方法,其特征在于,所述第一搅拌参数包括第一搅拌温度、第一搅拌速度和第一搅拌时长,所述第一搅拌温度为21°-25°,所述第一搅拌速度为500-1000r/min,所述第一搅拌时长为60分钟;第二搅拌参数包括第二搅拌温度、第二搅拌速度和第二搅拌时长,所述第二搅拌温度为21°-25°,所述第二搅拌速度为1000r/min,所述第二搅拌时长为30-120分钟。
技术总结本申请公开了一种纳米压印模板胶及其制备方法,涉及纳米压印技术领域。该制备方法包括:提供聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂;利用所述聚氨酯改性丙烯酸酯树脂、全氟聚醚丙烯酸酯树脂、氟碳稀释剂、多官能团交联剂、助剂、阳离子引发剂以及自由基引发剂,制备得到所述纳米压印模板胶。本申请旨在解决现有的模板胶在转印过程时容易出现母版残胶且难以清洗母版残胶的情况,以及在压印后存在难以脱模的问题。技术研发人员:陈廷忠,周兴,王兆民受保护的技术使用者:珠海莫界科技有限公司技术研发日:技术公布日:2025/1/6本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20250110/353616.html
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