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一种LPCVD工艺腔室用法兰的制作方法
本技术涉及一种lpcvd工艺腔室用法兰。背景技术：1、lpcvd工艺炉在生产过程中由于温度较高，与室温温差较大，通常在生产一段时间后，工艺炉的炉口炉尾会出现结晶。2、现有技术方案是人工定期拆卸下炉口以......
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一种LPCVD工艺腔室用法兰的制作方法
本技术涉及一种lpcvd工艺腔室用法兰。背景技术：1、lpcvd工艺炉在生产过程中由于温度较高，与室温温差较大，通常在生产一段时间后，工艺炉的炉口炉尾会出现结晶。2、现有技术方案是人工定期拆卸下炉口以......
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