一种基于可纺性材料的微纳结构直写方法与流程

本发明涉及微纳制造技术领域，具体涉及一种基于可纺性材料的微纳结构直写方法。背景技术：具有特定功能的微纳结构或图案已经逐渐成为微纳器件或微机电系统的重要组成部分之一。目前，转印技术和直写技术是制作微纳结......

2024-07-27 52

#可纺性#流程#结构