一种微测辐射热计及其制备方法与流程

本发明涉及一种微测辐射热计及其制备方法，更具体的说是涉及一种利用可编程晶态纳米线阵列连接和悬空非晶硅氮化硅叠层薄膜的方法，尤其涉及利用悬空纳米线表面对热传导的限制，以及非晶硅的高热阻系数制备新型微测辐......

2024-07-27 74

#制备方法#流程#辐射热