热电堆红外探测器制作过程释放薄膜的工艺的制作方法

[0001]本发明涉及传感器制备技术领域，特别是涉及一种热电堆红外探测器制作过程释放薄膜的工艺。背景技术：[0002]热电堆红外传感器是一种非常优秀的红外探测器，跟热释电红外传感器比，输出信号干净，配......

2024-07-27 79

#制作方法#薄膜#制作过程