一种具有面内止挡的MEMS可动结构的制作方法

一种具有面内止挡的mems可动结构技术领域1.本发明属于微机电系统(mems)制造技术领域，具体涉及一种mems器件结构。背景技术：2.mems器件是近二十年来发展起来的一种新型微机械仪表，其利用半导......

2024-07-27 61

#制作方法#结构#面内止挡