一种用于制备间隔墙上具有纳米通孔的微通道结构的方法

1.本发明涉及微纳加工技术领域，具体涉及一种用于制备间隔墙上具有纳米通孔的微通道结构的方法。背景技术：2.近年来，随着微电子技术的发展，电子芯片的集成度得到了极大的提升，但高集成度带来的芯片发热问题也......

2024-07-27 85

#间隔#纳米#墙上